本发明属于刀片,更具体地说,特别涉及一种wlcsp划割刀片。
背景技术:
1、在半导体器件的制造流程中,需要对晶圆进行切割,通常会采用金刚石刀片或其他硬质材料的刀片,借助高速旋转的力量来实现对晶圆的切割;并且,晶圆切割的质量直接影响到半导体器件的性能与可靠性。
2、如专利号为201621121129.9的中国实用新型专利,提供了金刚石轮毂型开槽晶圆划片刀,该划片刀通过圆环形刀身、多组刃口与多组开槽的设置,在使用时旋转圆环形刀身,来通过多组刃口对晶圆进行切割加工,再通过多组开槽使其更便于排屑;但是,传统的划割刀片通常仅为一层,刀片本身非常薄,机械强度较低,在进行wlcsp芯片划割加工时,刀片容易因外力发生弯曲变形,导致加工质量受到影响。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题,本发明提供了一种wlcsp划割刀片,以解决现有技术中,传统的传统的划割刀片通常仅为一层,刀片本身非常薄,机械强度较低,在进行wlcsp芯片划割加工时,刀片容易因外力发生弯曲变形,导致加工质量受到影响的技术问题。
2、本发明一种wlcsp划割刀片的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:
3、一种wlcsp划割刀片,包括有用于安装在晶圆切割机上的安装部,所述安装部一侧设置有刀片组件,所述安装部底部开设有凹槽,所述凹槽内穿设有转动轴,所述转动轴上套设有所述刀片组件,所述刀片组件包括有第一刀片与第二刀片,所述第一刀片与第二刀片上均开设有通孔,所述转动轴穿设在所述通孔内,所述转动轴的一端也与晶圆切割机连接。
4、上述技术方案进一步包括:所述刀片组件还包括有多组划割刃口,所述第一刀片与所述第二刀片的周侧均设置有多组所述划割刃口,多组所述划割刃口均匀分布。
5、上述技术方案进一步包括:多组所述划割刃口之间均设置有排屑槽,所述第二刀片的一侧设置有打磨件,所述打磨件也对应所述转动轴开设有通孔。
6、上述技术方案进一步包括:所述第一刀片与所述第二刀片及所述打磨件通过多组螺钉固定连接,所述打磨件的一侧设置有多组打磨刃口。
7、上述技术方案进一步包括:所述转动轴上设置有多组定位柱,所述第一刀片一侧设置有定位环,所述定位环对应多组所述定位柱开设有多组定位槽,多组所述定位柱分别卡设在多组所述定位槽内。
8、上述技术方案进一步包括:所述转动轴一端开设有固定孔,所述固定孔一侧设置有固定板,所述固定板通过固定螺钉与所述转动轴固定连接。
9、上述技术方案进一步包括:所述第二刀片一侧开设有两组固定槽,所述固定板一侧对应设置有两组固定件,两组所述固定件分别卡设在两组所述固定槽内。
10、上述技术方案进一步包括:所述安装部底部开设有安装槽,所述安装槽内设置有轴承,所述转动轴穿设在所述轴承内。
11、上述技术方案进一步包括:所述安装槽底部设置有固定座,所述固定座通过多组螺钉与所述安装部固定连接,所述轴承卡设在所述固定座与所述安装槽之间。
12、与现有技术相比,本发明具有如下有益效果:
13、1.通过刀片组件的设置,在使用该划割刀片时,通过第一刀片与第二刀片叠加结构,通过多组定位柱和定位环进行固定,实现了刀片的多层叠加;增强了整体刀片的机械强度,在加工过程中能有效抵御外力作用下的弯曲变形,保证刀片的稳定切割质量,解决了传统的划割刀片容易因外力发生弯曲变形的问题;同时,第一刀片与第二刀片之间设置有多组排屑槽,有利于切割时废屑的快速清除,提高了加工效率。
14、2.通过打磨件的设置,在使用该划割刀片时,能够通过打磨件上的多组打磨刃口,对切割完成的芯片进行精细打磨,有效去除切割余边,从而提高了加工面光洁度;与传统单层划割刀片结构简单,仅仅实现切割功能不同,该划割刀片在保证高效切割的基础上,额外完成了芯片表面打磨这一过程,提高了加工效率。
1.一种wlcsp划割刀片,其特征在于:包括有用于安装在晶圆切割机上的安装部(11),所述安装部(11)一侧设置有刀片组件,所述安装部(11)底部开设有凹槽,所述凹槽内穿设有转动轴(12),所述转动轴(12)上套设有所述刀片组件,所述刀片组件包括有第一刀片(21)与第二刀片(22),所述第一刀片(21)与第二刀片(22)上均开设有通孔,所述转动轴(12)穿设在所述通孔内,所述转动轴(12)的一端也与晶圆切割机连接。
2.如权利要求1所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:所述刀片组件还包括有多组划割刃口(23),所述第一刀片(21)与所述第二刀片(22)的周侧均设置有多组所述划割刃口(23),多组所述划割刃口(23)均匀分布。
3.如权利要求2所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:多组所述划割刃口(23)之间均设置有排屑槽(24),所述第二刀片(22)的一侧设置有打磨件(25),所述打磨件(25)也对应所述转动轴(12)开设有通孔。
4.如权利要求3所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:所述第一刀片(21)与所述第二刀片(22)及所述打磨件(25)通过多组螺钉固定连接,所述打磨件(25)的一侧设置有多组打磨刃口(26)。
5.如权利要求1所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:所述转动轴(12)上设置有多组定位柱(13),所述第一刀片(21)一侧设置有定位环(27),所述定位环(27)对应多组所述定位柱(13)开设有多组定位槽(28),多组所述定位柱(13)分别卡设在多组所述定位槽(28)内。
6.如权利要求5所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:所述转动轴(12)一端开设有固定孔(14),所述固定孔(14)一侧设置有固定板(15),所述固定板(15)通过固定螺钉(16)与所述转动轴(12)固定连接。
7.如权利要求6所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:所述第二刀片(22)一侧开设有两组固定槽(29),所述固定板(15)一侧对应设置有两组固定件(17),两组所述固定件(17)分别卡设在两组所述固定槽(29)内。
8.如权利要求1所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:所述安装部(11)底部开设有安装槽(31),所述安装槽(31)内设置有轴承(32),所述转动轴(12)穿设在所述轴承(32)内。
9.如权利要求8所述的一种wlcsp划割刀片,其特征在于:所述安装槽(31)底部设置有固定座(33),所述固定座(33)通过多组螺钉与所述安装部(11)固定连接,所述轴承(32)卡设在所述固定座(33)与所述安装槽(31)之间。
