本技术涉及半导体，尤其涉及一种空气冷却型卡盘降温设备。
背景技术：
1、目前，在科技快速发展的时代背景下，人们对于不同领域的探索也越来越深入，在进行生产过程中，常常需要使用芯片等计算机设备进行控制，以保证生产的精确度，在计算机领域中，半导体为重要部件之一，在半导体的生产过程中，需要对半导体的性能等进行测试。
2、其中温控卡盘就可以实现对半导体实际性能进行测试，温控卡盘顶部设有沟槽可以绝对半导体晶片进行承载，同时还可以进行建模、工艺开发、设计缺陷等工作，而温控卡盘在使用时常常会产生高温，通常采用液氮或水进行冷却，在使用时水冷时，需要消耗大量的水进行热交换，通过水的比热容，对卡盘工作时产生的热量进行吸收，随后产生一定的蒸发，此种模式需要不断进行水的补充，不利于长期的使用，会产生较多的水消耗。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种空气冷却型卡盘降温设备。
2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
3、一种空气冷却型卡盘降温设备，包括卡盘、安装板、安装筒，所述安装板固定安装于卡盘外部侧壁，所述安装筒通过螺栓固定于安装板外部侧壁，所述安装筒内部设有风冷机构，所述风冷机构包括水箱、固定板一、固定栓，所述水箱放置于安装筒底部内壁，所述水箱内壁通过螺纹连接有封闭塞，所述固定板一焊接于水箱外部侧壁，所述固定板一底部外壁通过固定栓固定有固定板二，所述固定板二底部外壁焊接有筒状半导体散热板，所述筒状半导体散热板底部外壁固定安装有铜片散热器，所述铜片散热器底部外壁焊接有安装壳，所述安装壳内部转动连接有风扇，所述水箱内壁固定焊接有热交换管。
4、作为本实用新型再进一步的方案：所述水箱顶部设有排风组件，所述排风组件包括风盖、微型气泵，所述微型气泵通过螺栓固定于水箱顶部外壁。
5、作为本实用新型再进一步的方案：所述微型气泵输入端与水箱相连接，所述微型气泵输出端通过法兰连接有连管。
6、作为本实用新型再进一步的方案：所述连管另一端与风盖相连接。
7、作为本实用新型再进一步的方案：所述安装筒顶部设有快速固定组件，所述快速固定组件包括锁紧板、锁紧栓。
8、作为本实用新型再进一步的方案：所述锁紧板转动连接于安装筒顶部外壁，所述锁紧栓通过螺纹连接于安装筒内壁。
9、作为本实用新型再进一步的方案：所述锁紧栓外部侧壁焊接有卡板。
10、与现有技术相比，本实用新型提供了一种空气冷却型卡盘降温设备，具备以下有益效果：
11、本实用新型，通过将风力机构设置为水箱、筒状半导体散热板、铜片散热器、热交换管、微型气泵、风盖、风扇的组合，使用时可打开微型气泵，使得气体经过热交换管与水箱内的水进行热量交换，并打开筒状半导体散热板、风扇等对水箱进行冷却，通过风盖对卡盘外部进行风冷，减少对水的损耗。
12、本实用新型，通过将快速固定组件设置为锁紧板、锁紧栓、卡板，使用时可转动锁紧栓，使得锁紧板可进行转动，对安装筒进行压紧固定，便于拆装。
13、该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
1.一种空气冷却型卡盘降温设备，包括卡盘（1）、安装板（4）、安装筒（8），其特征在于，所述安装板（4）固定安装于卡盘（1）外部侧壁，所述安装筒（8）通过螺栓固定于安装板（4）外部侧壁，所述安装筒（8）内部设有风冷机构，所述风冷机构包括水箱（11）、固定板一（13）、固定栓（15），所述水箱（11）放置于安装筒（8）底部内壁，所述水箱（11）内壁通过螺纹连接有封闭塞（12），所述固定板一（13）焊接于水箱（11）外部侧壁，所述固定板一（13）底部外壁通过固定栓（15）固定有固定板二（14），所述固定板二（14）底部外壁焊接有筒状半导体散热板（16），所述筒状半导体散热板（16）底部外壁固定安装有铜片散热器（17），所述铜片散热器（17）底部外壁焊接有安装壳（18），所述安装壳（18）内部转动连接有风扇（19），所述水箱（11）内壁固定焊接有热交换管（10）。
2.根据权利要求1所述的一种空气冷却型卡盘降温设备，其特征在于，所述水箱（11）顶部设有排风组件，所述排风组件包括风盖（2）、微型气泵（5），所述微型气泵（5）通过螺栓固定于水箱（11）顶部外壁。
3.根据权利要求2所述的一种空气冷却型卡盘降温设备，其特征在于，所述微型气泵（5）输入端与水箱（11）相连接，所述微型气泵（5）输出端通过法兰连接有连管（3）。
4.根据权利要求3所述的一种空气冷却型卡盘降温设备，其特征在于，所述连管（3）另一端与风盖（2）相连接。
5.根据权利要求1所述的一种空气冷却型卡盘降温设备，其特征在于，所述安装筒（8）顶部设有快速固定组件，所述快速固定组件包括锁紧板（6）、锁紧栓（7）。
6.根据权利要求5所述的一种空气冷却型卡盘降温设备，其特征在于，所述锁紧板（6）转动连接于安装筒（8）顶部外壁，所述锁紧栓（7）通过螺纹连接于安装筒（8）内壁。
7.根据权利要求6所述的一种空气冷却型卡盘降温设备，其特征在于，所述锁紧栓（7）外部侧壁焊接有卡板（9）。
