本技术涉及光学领域，尤其涉及一种紫外偏振片、偏光显微镜及光刻机。
背景技术：
1、紫外偏振片的现有工艺为采用镀膜机在镜片上镀多层膜的方法，其中要进行多层膜系设计，其工艺比较复杂，并且能实现的偏振度不高。
2、因此，若对偏振度提出高的要求，则当前的镀膜工艺尚存在较高的技术壁垒。
3、以上背景技术内容的公开仅用于辅助理解本实用新型的实用新型构思及技术方案，其并不必然属于本专利申请的现有技术，也不必然会给出技术教导；在没有明确的证据表明上述内容在本专利申请的申请日之前已经公开的情况下，上述背景技术不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是提供一种紫外偏振片、偏光显微镜及光刻机，其中，偏振片的结构简单、易于加工，并且具有较高的偏振度。
2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
3、一种紫外偏振片，包括依序层叠设置的第一紫外玻璃、聚乙烯醇膜和第二紫外玻璃，其中，所述聚乙烯醇膜的面密度范围介于0.002925g/cm2至0.004445g/cm2；
4、所述第一紫外玻璃与第二紫外玻璃的表面均大于所述聚乙烯醇膜，所述第一紫外玻璃、聚乙烯醇膜和第二紫外玻璃的侧面设有胶层，所述胶层的厚度范围为450至550μm。
5、进一步地，承前所述的任一技术方案或多个技术方案的组合，所述聚乙烯醇膜的厚度范围介于25μm至35μm。
6、进一步地，承前所述的任一技术方案或多个技术方案的组合，所述聚乙烯醇膜的密度范围介于1.17g/cm3至1.27g/cm3。
7、进一步地，承前所述的任一技术方案或多个技术方案的组合，所述聚乙烯醇膜的面积与所述第一紫外玻璃的面积的比值大于0.95且不大于1，所述聚乙烯醇膜的面积与所述第二紫外玻璃的面积的比值大于0.95且不大于1。
8、进一步地，承前所述的任一技术方案或多个技术方案的组合，所述第一紫外玻璃和/或第二紫外玻璃采用石英玻璃材质。
9、进一步地，承前所述的任一技术方案或多个技术方案的组合，所述第一紫外玻璃、聚乙烯醇膜和第二紫外玻璃均为圆形。
10、进一步地，承前所述的任一技术方案或多个技术方案的组合，所述第一紫外玻璃、聚乙烯醇膜和第二紫外玻璃的圆心重合，所述聚乙烯醇膜的半径与所述第一紫外玻璃的半径的比值大于0.95且不大于1，所述聚乙烯醇膜的半径与所述第二紫外玻璃的半径的比值大于0.95且不大于1。
11、进一步地，承前所述的任一技术方案或多个技术方案的组合，所述第一紫外玻璃和第二紫外玻璃为平面结构。
12、根据本实用新型的另一方面，本实用新型提供了一种偏光显微镜，包括如上任一技术方案或多个技术方案的组合所述的紫外偏振片。
13、根据本实用新型的另一方面，本实用新型提供了一种光刻机，包括如上任一技术方案或多个技术方案的组合所述的紫外偏振片。
14、本实用新型提供的技术方案带来的有益效果如下：
15、本实用新型提供的紫外偏振片采用依序层叠设置的第一紫外玻璃、聚乙烯醇膜和第二紫外玻璃结构替代传统的多层膜镜片结构，并在第一紫外玻璃与第二紫外玻璃相对的侧面上的周边区域之间设有胶层，使得本紫外偏振片结构简单、容易制得，并且能够保证偏振片的偏振度。
1.一种紫外偏振片，其特征在于，包括依序层叠设置的第一紫外玻璃(1)、聚乙烯醇膜(2)和第二紫外玻璃(3)，其中，所述聚乙烯醇膜(2)的面密度范围介于0.002925g/cm2至0.004445g/cm2；
2.根据权利要求1所述的紫外偏振片，其特征在于，所述聚乙烯醇膜(2)的厚度范围介于25μm至35μm。
3.根据权利要求1所述的紫外偏振片，其特征在于，所述聚乙烯醇膜(2)的密度范围介于1.17g/cm3至1.27g/cm3。
4.根据权利要求1所述的紫外偏振片，其特征在于，所述聚乙烯醇膜(2)的面积与所述第一紫外玻璃(1)的面积的比值大于0.95且不大于1，所述聚乙烯醇膜(2)的面积与所述第二紫外玻璃(3)的面积的比值大于0.95且不大于1。
5.根据权利要求1所述的紫外偏振片，其特征在于，所述第一紫外玻璃(1)和/或第二紫外玻璃(3)采用石英玻璃材质。
6.根据权利要求1所述的紫外偏振片，其特征在于，所述第一紫外玻璃(1)、聚乙烯醇膜(2)和第二紫外玻璃(3)均为圆形。
7.根据权利要求6所述的紫外偏振片，其特征在于，所述第一紫外玻璃(1)、聚乙烯醇膜(2)和第二紫外玻璃(3)的圆心重合，所述聚乙烯醇膜(2)的半径与所述第一紫外玻璃(1)的半径的比值大于0.95且不大于1，所述聚乙烯醇膜(2)的半径与所述第二紫外玻璃(3)的半径的比值大于0.95且不大于1。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的紫外偏振片，其特征在于，所述第一紫外玻璃(1)和第二紫外玻璃(3)为平面结构。
9.一种偏光显微镜，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的紫外偏振片。
10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的紫外偏振片。
