一种称重式籽晶提拉机构的制作方法

专利2026-05-09  18


本发明涉及半导体,具体涉及籽晶提拉机构。


背景技术:

1、针对于大重量(500kg左右)半导体拉晶时,造成籽晶绳磨损、起毛刺,造成籽晶绳断裂,从而造成半导体拉晶损失严重。

2、如何精确的控制拉晶重量的检测,对拉晶质量有一定的影响关系。如何提高拉晶重量的检测也是在籽晶提拉机构中不断去升级改进的方向之一。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题,本发明提供一种称重式籽晶提拉机构,已解决上述至少一个技术问题。

2、本发明的技术方案是:一种称重式籽晶提拉机构,包括一壳体,所述壳体内安装有可转动设置的绕线轮,所述绕线轮上缠绕有籽晶绳,所述籽晶绳依次途径导向轮、第一压绳轮、第二压绳轮以及位于壳体外的绳套;

3、所述导向轮上开设有面接触所述籽晶绳的轮槽,所述轮槽的端面呈u形;

4、所述导向轮可转动的安装在支架上,所述支架通过支架螺栓与称重仪的下端相连,所述称重仪的上端螺纹连接有穿过所述壳体的连接螺栓,所述连接螺栓的头部与所述壳体之间夹设有垫圈;

5、所述导向轮通过深沟球轴承与固定轴转动连接;

6、所述固定轴的两端套设有从内至外设置的绝缘环以及绝缘压板,所述绝缘环的轴向内侧与所述深沟球轴承相抵,所述绝缘环的轴向外侧与所述绝缘压板相抵,所述绝缘压板与所述支架可拆卸连接;

7、所述绕线轮通过传动组件与花键轴传动连接;

8、所述传动组件包括与所述花键轴沿着轴向滑动连接的花键螺母,所述花键螺母通过绝缘材料制成的固定圈以及绝缘圈夹持固定,所述固定圈与所述中间法兰夹持所述绝缘圈的径向外围,所述花键轴与连接法兰螺纹连接,所述连接法兰与所述固定圈夹紧所述中间法兰;

9、所述绝缘圈与固定在所述壳体内的丝杆螺母螺纹连接。

10、本发明导向轮槽由原来v型结构改为u形结构,增大籽晶绳包围角度,减少对籽晶绳弯曲影响其疲劳损伤,从而提高籽晶绳使用拉晶炉数,减少运行成本和籽晶绳断裂造成巨大损失。本发明适用于大重量(500kg左右)半导体拉晶。

11、通过优化导向轮的安装结构,导向轮是垂直安装,减少由于有一定角度,造成磨擦力增加,从而影响称重精度的问题。籽晶绳是在导向轮切线方向向下,籽晶绳对中较准。并且通过第二压绳轮,可以调整对中位置,从而保证拉晶旋转晃动较小。

12、称重仪的安装结构,称重精度较高,其他零件安装不会对称重精度产生影响。

13、进一步优选的,所述绕线轮上开设有绕线槽,所述绕线槽的断面为u形。

14、增大籽晶绳包围角度,减少对籽晶绳弯曲影响其疲劳损伤。

15、进一步优选的,所述导向轮的相对侧分别与所述绕线轮上下对齐以及与所述第一压绳轮相切。

16、进一步优选的,所述第一压绳轮、所述第二压绳轮以及绳套从上至下设置;

17、所述绳套安装在所述壳体的底部。

18、进一步优选的,所述导向轮的中央开设有嵌入深沟球轴承的限位槽,所述限位槽的槽口可拆卸连接有导轮压板,所述导轮压板与所述导向轮围成容纳所述深沟球轴承的空间;

19、所述限位槽的槽底以及所述导轮压板上均开设有穿出所述固定轴的通孔。

20、便于导向轮的位置固定。

21、进一步优选的,所述第一压绳轮以及所述第二压绳轮可转动的安装在所述壳体内;

22、所述第一压绳轮以及所述第二压绳轮为非金属材料。

23、减少对籽晶绳磨损。

24、进一步优选的,所述第一压绳轮的中心轴线方向平行于所述导向轮的中心轴线方向;

25、所述第一压绳轮的中心轴线方向以及所述第二压绳轮的中心轴线方向。

26、便于籽晶绳位置的对中。

27、进一步优选的,所述花键轴上安装有提升磁流体。

28、进一步优选的,所述壳体的顶部通过合页转动连接有一盖板,所述盖板上安装有可视窗以及拉手;

29、所述盖板正对所述导向轮以及所述绕线轮。

30、进一步优选的,所述壳体位于所述盖板的相邻侧安装有可视窗。

31、进一步优选的,所述籽晶绳的端部通过压块可拆卸安装在所述绕线轮轴向上的一端;

32、所述绕线轮安装有所述压块的端部可拆卸连接有一挡板,所述挡板径向向外延伸出所述绕线轮的外围。

33、挡板安装到绕线轮挡住籽晶绳不会跳槽或脱槽,保证籽晶绳平稳的在绕线轮和导向轮旋转运动。

34、一种称重式籽晶提拉机构,包括一壳体,所述壳体内安装有可转动设置的绕线轮,所述绕线轮上缠绕有籽晶绳,所述籽晶绳依次途径导向轮、第一压绳轮、第二压绳轮以及位于壳体外的绳套;

35、所述导向轮上开设有面接触所述籽晶绳的轮槽,所述轮槽的端面呈u形;

36、所述导向轮可转动的安装在支架上,所述支架通过支架螺栓与称重仪的下端相连,所述称重仪的上端螺纹连接有穿过所述壳体的连接螺栓,所述连接螺栓的头部与所述壳体之间夹设有垫圈;

37、所述导向轮通过深沟球轴承与固定轴转动连接;

38、所述固定轴的两端套设有从内至外设置的绝缘环以及绝缘压板,所述绝缘环的轴向内侧与所述深沟球轴承相抵,所述绝缘环的轴向外侧与所述绝缘压板相抵,所述绝缘压板与所述支架可拆卸连接;

39、所述绕线轮通过传动组件与花键轴传动连接;

40、所述壳体内安装有轴承支架,所述轴承支架通过花键轴支撑轴承与所述花键轴的一端转动连接。

41、有益效果:

42、本发明导向轮槽由原来v型结构改为u形结构,增大籽晶绳包围角度,减少对籽晶绳弯曲影响其疲劳损伤,从而提高籽晶绳使用拉晶炉数,减少运行成本和籽晶绳断裂造成巨大损失。

43、通过优化导向轮的安装结构,导向轮是垂直安装,减少由于有一定角度,造成磨擦力增加,从而影响称重精度的问题。籽晶绳是在导向轮切线方向向下,籽晶绳对中较准。并且通过第二压绳轮,可以调整对中位置,从而保证拉晶旋转晃动较小。

44、称重仪的安装结构,称重精度较高,其他零件安装不会对称重精度产生影响。



技术特征:

1.一种称重式籽晶提拉机构,包括一壳体,所述壳体内安装有可转动设置的绕线轮,所述绕线轮上缠绕有籽晶绳,其特征在于,所述籽晶绳依次途径导向轮、第一压绳轮、第二压绳轮以及位于壳体外的绳套;

2.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述绕线轮上开设有绕线槽,所述绕线槽的断面为u形。

3.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述导向轮的相对侧分别与所述绕线轮上下对齐以及与所述第一压绳轮相切。

4.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述第一压绳轮、所述第二压绳轮以及绳套从上至下设置;

5.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述导向轮的中央开设有嵌入深沟球轴承的限位槽,所述限位槽的槽口可拆卸连接有导轮压板,所述导轮压板与所述导向轮围成容纳所述深沟球轴承的空间;

6.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述第一压绳轮以及所述第二压绳轮可转动的安装在所述壳体内;

7.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述第一压绳轮的中心轴线方向平行于所述导向轮的中心轴线方向;

8.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述壳体的顶部通过合页转动连接有一盖板,所述盖板上安装有可视窗以及拉手;

9.根据权利要求1所述的一种称重式籽晶提拉机构,其特征在于:所述籽晶绳的端部通过压块可拆卸安装在所述绕线轮轴向上的一端;

10.一种称重式籽晶提拉机构,包括一壳体,所述壳体内安装有可转动设置的绕线轮,所述绕线轮上缠绕有籽晶绳,所述籽晶绳依次途径导向轮、第一压绳轮、第二压绳轮以及位于壳体外的绳套;


技术总结
本发明涉及半导体技术领域。一种称重式籽晶提拉机构,包括一壳体,壳体内安装有可转动设置的绕线轮,绕线轮上缠绕有籽晶绳,籽晶绳依次途径导向轮、第一压绳轮、第二压绳轮以及位于壳体外的绳套;导向轮上开设有面接触籽晶绳的轮槽,轮槽的端面呈U形;导向轮可转动的安装在支架上,支架通过支架螺栓与称重仪的下端相连,称重仪的上端螺纹连接有穿过壳体的连接螺栓,连接螺栓的头部与壳体之间夹设有垫圈;导向轮通过深沟球轴承与固定轴转动连接;固定轴的两端套设有从内至外设置的绝缘环以及绝缘压板,绝缘环的轴向内侧与深沟球轴承相抵,绝缘环的轴向外侧与绝缘压板相抵,绝缘压板与支架可拆卸连接;绕线轮通过传动组件与花键轴传动连接。通过优化导向轮的安装结构,导向轮是垂直安装,提高了称重精度的问题。

技术研发人员:夏孝平
受保护的技术使用者:上海汉虹精密机械有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/6/26
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