实施例涉及显示装置。更具体地,实施例涉及显示图像的显示装置和制造该显示装置的方法。
背景技术:
1、显示装置是显示图像以向用户提供视觉信息的装置。在显示装置当中,有机发光二极管显示器(oled显示器)最近吸引了关注。
2、显示装置可以包括显示面板和面板驱动器(例如,数据驱动器和栅驱动器等)。导电图案可以顺序形成在显示面板上,并且导电图案可以通过触点彼此接触。面板驱动器可以将信号和/或电压提供给显示面板的导电图案。导电图案可以被图案化以在平面图中具有重复的单位结构,并且具有单位结构中的一个的导电图案可以被限定为像素结构。
3、另一方面,为了减少显示面板中的死区,将显示面板和面板驱动器连接的线可以设置在显示区域中。线可以由导电图案形成,并且由于导电图案的重叠可能产生寄生电容。在这种情况下,由于寄生电容,在显示装置的显示面板中可能出现色斑,并且显示质量可能劣化。
4、应理解,本背景技术部分部分地旨在提供用于理解技术的有用背景。但是,本背景技术部分也可能包括不是本领域技术人员在本文公开的主题的对应的有效申请日之前已知或理解的一部分的想法、构思或认识。
技术实现思路
1、本公开可以提供具有提高的显示质量的显示装置。
2、本公开可以提供制造显示装置的方法。
3、本公开要实现的技术目的不限于在本文中描述的技术目的,并且本领域技术人员将从本公开的描述中清楚地理解在本文中没有提及的其他技术目的。
4、根据本公开的实施例的显示装置包括:发光区域和与发光区域邻近的非发光区域;第一导电层,设置在发光区域和非发光区域中、基板上;第二导电层,设置在第一导电层上并且设置在发光区域中;第一绝缘膜,设置在第一导电层上,在发光区域中与第一导电层和第二导电层重叠,并且具有第一介电常数;以及第二绝缘膜,设置在第一绝缘膜与第二导电层之间,设置在发光区域和非发光区域中,与第一绝缘膜和第一导电层重叠,并且具有大于第一介电常数的第二介电常数。
5、在实施例中,第一绝缘膜和第二绝缘膜可以包括不同的材料。
6、在实施例中,第一绝缘膜可以包括选自由丙烯酸酯和硅氧烷杂化物组成的组中的至少一种。
7、在实施例中,第二绝缘膜可以包括光敏聚酰亚胺类树脂。
8、在实施例中,在发光区域中,第一绝缘膜可以与第一导电层具有相同的形状。
9、在实施例中,第一导电层可以限定设置在发光区域中的至少一个第一开口,并且第一绝缘膜可以限定设置在发光区域中的至少一个第二开口。
10、在实施例中,第一开口和第二开口可以彼此重叠。
11、在实施例中,显示装置可以进一步包括设置在第一导电层上并且设置在发光区域中的发光二极管。
12、在实施例中,发光二极管可以包括第二导电层、设置在第二导电层上的发光层以及设置在发光层上的公共电极。
13、在实施例中,显示装置可以进一步包括:晶体管,设置在基板上并且设置在第一导电层之下。
14、在实施例中,晶体管可以包括:有源层,设置在基板上;栅电极,设置在有源层上;以及源电极和漏电极,在栅电极上、连接到有源层。
15、在实施例中,晶体管可以通过第一导电层电连接到发光二极管。
16、在实施例中,第一导电层可以包括数据线。
17、在实施例中,第一导电层和第二导电层中的每一个可以包括金属材料。
18、在实施例中,第二导电层可以包括选自由氧化铟锡(ito)、氧化铟锌(izo)、氧化锌(zno)、氧化铟(in2o3)、氧化铟镓(igo)和氧化铝锌(azo)组成的组中的至少一种。
19、一种制造显示装置的方法包括:在基板上形成第一导电层;在第一导电层上形成第一绝缘膜,第一绝缘膜在显示装置的发光区域中与第一导电层重叠,并且具有第一介电常数;在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜,第二绝缘膜与第一绝缘膜和第一导电层重叠,并且具有大于第一介电常数的第二介电常数;并且在第二绝缘膜上形成第二导电层,第二导电层在发光区域中与第一绝缘膜重叠。
20、在实施例中,第一导电层和第一绝缘膜的形成可以包括:在基板上形成第一预备导电层;在第一预备导电层上形成光致抗蚀剂层;通过图案化光致抗蚀剂层形成包括具有不同厚度的第一部分和第二部分的光致抗蚀剂图案;通过用光致抗蚀剂图案来图案化第一预备导电层来形成第一导电层;并且通过灰化光致抗蚀剂图案来形成第一绝缘膜。
21、在实施例中,第一部分的厚度可以小于第二部分的厚度。
22、在实施例中,光致抗蚀剂图案可以通过使用半色调掩模被图案化。
23、在实施例中,在光致抗蚀剂图案的灰化中,第一部分和第二部分可以被去除一致的厚度。
24、在实施例中,可以通过将光致抗蚀剂图案的第一部分和第二部分去除一致的厚度以去除第一部分的全部和第二部分的一部分来形成第一绝缘膜。
25、在实施例中,第一部分可以在显示装置的非发光区域中与第一导电层重叠,并且第二部分在发光区域中与第一导电层重叠。
26、在实施例中,光致抗蚀剂层可以包括选自由丙烯酸酯和硅氧烷杂化物组成的组中的至少一种。
27、在根据本公开的实施例的显示装置中,显示装置进一步包括相比于第二绝缘膜具有小的介电常数的第一绝缘膜,使得可以减小第一导电层与第二导电层之间的通孔绝缘层的介电常数。相应地,可以减小第一导电层与第二导电层之间的寄生电容。通过减小寄生电容,可以防止显示装置的显示区域的色斑。相应地,可以提高显示装置的显示质量。
28、另外,由于第一绝缘膜被设置为仅与第一导电层和第二导电层重叠,因此可以最小化由于由第一绝缘膜产生的脱气而导致的缺陷。相应地,可以提高显示装置的可靠性。
29、通过使用半色调掩模和灰化工艺形成第一绝缘膜,可以省略用于形成第一绝缘膜的额外工艺。因此,在用第一绝缘膜减小第二通孔绝缘层的介电常数的同时,可以不降低制造工艺的效率。
1.一种显示装置,包括:
2.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜包括不同的材料。
3.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一绝缘膜包括选自由丙烯酸酯和硅氧烷杂化物组成的组中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第二绝缘膜包括光敏聚酰亚胺类树脂。
5.根据权利要求1所述的显示装置,其中,在所述发光区域中,所述第一绝缘膜与所述第一导电层具有相同的形状。
6.根据权利要求1所述的显示装置,其中,
7.根据权利要求6所述的显示装置,其中,所述第一开口和所述第二开口彼此重叠。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的显示装置,进一步包括:
9.根据权利要求8所述的显示装置,其中,所述发光二极管包括:
10.根据权利要求8所述的显示装置,进一步包括:
11.根据权利要求10所述的显示装置,其中,所述晶体管包括:
12.根据权利要求10所述的显示装置,其中,所述晶体管通过所述第一导电层电连接到所述发光二极管。
13.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一导电层包括数据线。
14.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一导电层和所述第二导电层中的每一个包括金属材料。
15.根据权利要求14所述的显示装置,其中,所述第二导电层包括选自由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌、氧化铟、氧化铟镓和氧化铝锌组成的组中的至少一种。
16.一种制造显示装置的方法,包括:
17.根据权利要求16所述的方法,其中,所述第一导电层和所述第一绝缘膜的所述形成包括:
18.根据权利要求17所述的方法,其中,所述第一部分的厚度小于所述第二部分的厚度。
19.根据权利要求18所述的方法,其中,所述光致抗蚀剂图案通过使用半色调掩模被图案化。
20.根据权利要求17所述的方法,其中,在所述光致抗蚀剂图案的所述灰化中,所述第一部分和所述第二部分被去除一致的厚度。
21.根据权利要求20所述的方法,其中,通过将所述光致抗蚀剂图案的所述第一部分和所述第二部分去除所述一致的厚度以去除所述第一部分的全部和所述第二部分的一部分来形成所述第一绝缘膜。
22.根据权利要求17所述的方法,其中,
23.根据权利要求17所述的方法,其中,所述光致抗蚀剂层包括选自由丙烯酸酯和硅氧烷杂化物组成的组中的至少一种。
