本申请涉及超纯氨水生产，具体为一种超纯氨水生产管道检修装置。
背景技术：
1、超纯氨是微电子氮化硅和氮化镓掩蔽膜的主要材料，是光电子领域、半导体、发光二极管行业的重要原材料。其纯度对器件产品的使用寿命、材料的电学性能和光学性能具有直接的影响。随着信息产业的飞速发展，对相关一些主要配套材料的纯度也提出了更高的要求，如半导体超大规模集成电路制造用氨水，其应用技术要求从最早的ppm单项金属离子至ppb单项金属离子到现在的ppt单项金属离子。
2、在超纯氨水生产过程中，定期会对氨水生产管道上的各种阀门进行检修更换，但是更换会导致阀门及管道与外界接触，造成阀门及管道内被外界杂质污染，同时管道及阀门内残留的氨挥发到外界，造成环境污染，甚至危害人员安全，因此，需要一种在检修更换阀门时，能够隔绝外界杂质污染，及收集氨气的装置。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种超纯氨水生产管道检修装置，以在至少一定程度上解决上述背景技术中存在的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种超纯氨水生产管道检修装置，用于检修超纯氨水生产用管道和阀门，包括：
3、手操箱，所述手操箱两侧分别贯穿设置有箍管孔，两侧所述箍管孔的中心轴线位于同一水平直线上；
4、进气箱，设置在所述手操箱顶部，所述进气箱与所述手操箱连通，且在所述进气箱内设置有滤板，所述进气箱的气体经所述滤板过滤后进入所述手操箱内；
5、气泵箱，设置在所述手操箱侧方，所述气泵箱的出气口与所述进气箱的进气口连通，用于所述进气箱内进气；
6、废气处理箱，设置在所述手操箱的另一侧，所述废气处理箱与所述手操箱的出去口连通。
7、本装置通过气泵箱向手操箱进气，空气经过滤板过滤后流入到手操箱内，通过空气置换的原理，使得手操箱内都是不含杂质的空气，这样在手操箱内超纯氨水生产系统上阀门进行更换，外界不会对阀门及管道污染，同时管道及阀门内挥发的氨气也能够通过废气处理箱收集处理，避免了氨气污染环境和危害生命安全。
8、更进一步的，所述手操箱包括前箱体和后箱体，所述前箱体与后箱体沿水平方向相互扣合，且所述前箱体与所述后箱体的扣合端面压设有密封条。
9、更进一步的，所述箍管孔包括：
10、第一半圆孔，所述第一半圆孔设置在所述前箱体侧端面；
11、第二半圆孔，所述第二半圆孔设置在所述后箱体侧端面；
12、所述第一半圆孔与所述第二半圆孔相互扣合组成所述箍管孔。
13、更进一步的，所述箍管孔内圈卡设弹性密封圈。
14、更进一步的，所述手操箱的前端面设置有橡胶手套。
15、更进一步的，所述手操箱的前端面由透明材料制成。
16、更进一步的，所述废气处理箱内装载有处理液体，所述废气处理箱与所述手操箱连通的进气管伸入到所述废气处理箱的内底部。
17、更进一步的，所述气泵箱内设置有微型气泵，通过所述微型气泵向所述进气箱内输气。
18、更进一步的，所述滤板采用ptfe滤材。
19、更进一步的，所述进气箱内水平设置有固定块，所述滤板通过螺栓固定设置在所述固定块上。
20、与现有技术相比，本申请的有益效果至少包括：
21、1.通过进气箱内滤板对空气进行过滤，使得手操箱内空气洁净无污染，手操箱对管道阀门的拆卸更换进行密封隔绝，从而起到避免外界杂质污染管道阀门的目的。
22、2.管道阀门拆卸过程中挥发的氨气在手操箱中，从手操箱出气口进入到废气处理箱内被吸收处理，起到避免氨气挥发到外界污染环境，甚至危害生命安全的目的。
23、3.手操箱通过前箱体与后箱体水平扣合组成，结构简单方便，便于手操箱卡箍在管道上。
1.一种超纯氨水生产管道检修装置，用于检修超纯氨水生产用管道和阀门，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述手操箱(1)包括前箱体(11)和后箱体(12)，所述前箱体(11)与后箱体(12)沿水平方向相互扣合，且所述前箱体(11)与所述后箱体(12)的扣合端面压设有密封条。
3.根据权利要求2所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述箍管孔(5)包括：
4.根据权利要求3所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述箍管孔(5)内圈卡设弹性密封圈(50)。
5.根据权利要求1所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述手操箱(1)的前端面设置有橡胶手套(10)。
6.根据权利要求5所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述手操箱(1)的前端面由透明材料制成。
7.根据权利要求1所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述废气处理箱(4)内装载有处理液体，所述废气处理箱(4)与所述手操箱连通的进气管(40)伸入到所述废气处理箱(4)的内底部。
8.根据权利要求1所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述气泵箱(3)内设置有微型气泵(30)，通过所述微型气泵(30)向所述进气箱(2)内输气。
9.根据权利要求1所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述滤板(20)采用ptfe滤材。
10.根据权利要求9所述的一种超纯氨水生产管道检修装置，其特征在于，所述进气箱(2)内水平设置有固定块(21)，所述滤板(20)通过螺栓固定设置在所述固定块(21)上。
