本发明涉及一种光学式测定装置,该光学式测定装置具有配置有测定对象物的测定区域,对该测定区域照射光束,使该光束沿扫描方向进行扫描,对该扫描方向上的测定对象物的尺寸等进行测定。
背景技术:
1、已知一种光学式测定装置,具备:测定区域,其配置有测定对象物;光束扫描部,其向该测定区域照射光束并使光束沿与光束的照射方向交叉的扫描方向进行扫描;受光部,其接收通过了测定区域的光束并输出受光信号;信号处理部,其基于受光信号而输出表示测定对象物的扫描方向上的尺寸的数据。
2、在这样的结构中,由于来自光束的光源的热、来自对光束进行扫描的机构的微弱的风等的影响,存在光束扫描部的框体的内部产生光束的光路中的空气波动,从而导致测定精度的降低的隐患。
3、因此,在专利文献1和专利文献2中,在光束扫描部的框体内部设有对光束的光路进行覆盖的光路罩。根据这样的结构,在光束扫描部的框体内部,能够抑制光束的光路中的空气波动,能够抑制测定精度的降低。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1:(日本)特开2018-179837号公报
7、专利文献2:(日本)特开昭58-48805号公报
技术实现思路
1、发明所要解决的技术问题
2、上述那样的空气波动不仅在光束扫描部的框体内部产生,也会在外部产生。因此,在光学式测定装置中,优选不仅在框体的内部,而且在框体的外部也设置光路罩。
3、在这里,为了适当地抑制框体外部的空气波动,优选光路罩从光束扫描部到测定对象物附近的范围内覆盖光束的光路。然而,如果这样的光路罩接近测定对象物,则会成为在测定区域配置测定对象物或配置对其进行支承的支承件时的障碍,存在导致作业性的降低的隐患。
4、本发明是鉴于这样的问题而做出的,其目的在于提供一种在配置测定对象物时不会导致作业性降低且能够抑制测定精度降低的光学式测定装置。
5、用于解决技术问题的技术方案
6、为了解决上述技术问题,本发明一实施方式的光学式测定装置具备:测定区域,其配置有测定对象物;光束扫描部,其向测定区域照射光束,使光束沿与光束的照射方向交叉的扫描方向进行扫描;受光部,其接收通过了测定区域的光束并输出受光信号;信号处理部,其基于受光信号,输出表示测定对象物的扫描方向上的尺寸的数据;光路罩,其构成为相对于光束扫描部的框体能够装卸,并且在从框体到测定对象物的范围内覆盖光束的光路。
7、根据这样的结构,在配置测定对象物、支承件时,通过从光束扫描部的框体卸下光路罩,并且在配置测定对象物、支承件之后将光路罩安装于框体,不会导致作业性的降低,能够抑制测定精度的降低。
8、可以是,上述光路罩构成为能够从与照射方向交叉的装卸方向相对于框体装卸。并且,也可以是,在相对于框体装卸上述光路罩时,能够对光路罩相对于框体向照射方向的移动进行限制。
9、根据这样的结构,在光路罩相对于框体装卸时,能够防止光路罩与测定对象物、支承件接触。因此,本实施方式的光路罩即使在配置测定对象物、支承件之后,也能够容易地安装于框体。
10、并且,可以是,上述装卸方向与扫描方向交叉。并且,也可以是,上述光路罩的、相对于框体的装卸方向的位置能够调整。并且,也可以是,能够在调整了装卸方向的位置的状态下将光路罩固定于框体。
11、根据这样的结构,即使光束的位置与设计不同,通过对光路罩的装卸方向上的位置进行调整,能够使光束向测定区域适当地射出。因此,能够提供使光路罩的宽度变小、空气波动的影响少且耐环境性高的光学式测定装置。
12、并且,可以是,上述光学式测定装置还具备:部件,其设置于框体的光束的射出口;螺钉,其从照射方向与部件螺纹结合,并且能够与部件一起对光路罩的一部分进行夹持。并且,也可以是,在装卸光路罩时,该部件使光路罩能够滑动。
13、并且,可以是,上述光路罩具备:罩部,其构成为能够从与照射方向交叉的装卸方向相对于框体装卸,并且覆盖光束的光路;安装部,其在相对于框体装卸时,能够与上述部件相对滑动。并且,也可以是,安装部具备在与螺钉对应的位置设置并沿装卸方向延伸的槽部。
14、有益的效果
15、根据本发明,能够提供一种在配置测定对象物时不会导致作业性降低且能够抑制测定精度降低的光学式测定装置。
1.一种光学式测定装置,其特征在于,具备:
2.根据权利要求1所述的光学式测定装置,
3.根据权利要求2所述的光学式测定装置,
4.根据权利要求2或3所述的光学式测定装置,
5.根据权利要求1至3中任一项所述的光学式测定装置,还具备:
6.根据权利要求5所述的光学式测定装置,
