本文中的描述涉及图像检查装置的领域，并且更具体地，涉及通过在真空腔室的支撑设备上应用前馈控制来减少样品传送期间真空腔室的振动。
背景技术：
1、图像检查装置(例如，带电粒子束装置或光束装置)能够通过在由与检查装置相关联的源(例如，带电粒子源或光源)产生的波束(例如，带电粒子束或光束)撞击时检测来自样品的表面的粒子(例如，光子、次级电子、反向散射电子、镜像电子或其他类型的电子)来产生样品(例如，晶片衬底或被简称为“晶片”)的二维(2d)图像。在半导体工业中，在半导体晶片上使用各种图像检查装置用于各种目的，诸如晶片处理(例如，电子束直接写入光刻系统)、工艺监控(例如，临界尺寸扫描电子显微镜(cd-sem))、晶片检查(例如，电子束检查系统)或缺陷分析(例如，缺陷审查sem(或者说dr-sem)和聚焦离子束系统(或者说fib))。
2、检查装置可以包括用于包围支撑待检查样品的样品保持器的真空腔室和用于执行检查的其他部件。机械臂可被用于在真空腔室中的负载锁与样品保持器之间传送样品(例如，晶片)。样品在样品保持器上的定位精度对于避免对样品的物理损伤和准确标识检查图像中出现的任何缺陷可能是重要的。
技术实现思路
1、本公开的实施例提供用于减少腔室的振动的系统和方法。在一些实施例中，一种装置可以包括：腔室；传送设备，被刚性耦合到腔室；以及支撑设备，被配置为支撑腔室。支撑设备包括被配置为获得与传送设备相关联的预定义运动数据的电路装置。电路装置也可以被配置为在传送设备移动之前，基于预定义运动数据来确定传送设备的移动。电路装置还可以被配置为基于移动来确定由移动引起的要被施加到腔室的第一力。电路装置还可以被配置为当传送设备移动时，使支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消或以抵消第一力。
2、在一些实施例中，非暂态计算机可读介质可以存储可以由装置的至少一个处理器执行的指令集。指令集可以使装置执行方法。方法可以包括获得与被刚性耦合到腔室的传送设备相关联的预定义运动数据。方法也可以包括在传送设备移动之前，基于预定义运动数据来确定传送设备的移动。方法还可以包括基于移动来确定由移动引起的要被施加到所腔室的第一力。方法还可以包括当传送设备移动时，使腔室的支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消第一力。
3、在一些实施例中，一种用于减少腔室的振动的计算机实现的方法可以包括获得与被刚性耦合到腔室的传送设备相关联的预定义运动数据。该方法也可以包括在传送设备移动之前，基于预定义运动数据来确定传送设备的移动。方法还可以包括基于移动来确定由移动引起的要被施加到所腔室的第一力。方法还可以包括当传送设备移动时，使腔室的支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消第一力。
4、在一些实施例中，支撑设备可以包括电路装置，该电路装置被配置为从被刚性耦合到腔室的传送设备获得预定义运动数据。电路装置也可以被配置为在传送设备移动之前，基于预定义运动数据来确定传送设备的移动。电路装置还可以被配置为基于移动来确定由移动引起的要被施加到腔室的第一力。电路装置还可以被配置为当传送设备移动时，使支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消第一力。
5、在一些实施例中，一种装置可以包括：腔室；传送设备，被刚性耦合到腔室；以及支撑设备，被配置为支撑腔室。支撑设备包括被配置为获得来自传送设备的预定义运动数据的电路装置。电路装置还可以被配置为在前馈控制电路装置中，在传送设备移动之前基于预定义运动数据来确定要被施加到腔室的第一力。电路装置还可以被配置为当传送设备移动时，使支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消第一力。
6、在一些实施例中，非暂态计算机可读介质可以存储可由装置的至少一个处理器执行的指令集。指令集可以使装置执行方法。方法可以包括获得来自被刚性耦合到腔室的传送设备的预定义运动数据。方法也可以包括在前馈控制电路装置中，在传送设备移动之前基于预定义运动数据来确定要被施加到腔室的第一力。方法还可以包括当传送设备移动时，使支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消第一力。
7、在一些实施例中，一种用于减少腔室的振动的计算机实现的方法可以包括获得来自被刚性耦合到腔室的传送设备的预定义运动数据。方法也可以包括在前馈控制电路装置中，在传送设备移动之前基于预定义运动数据来确定要被施加到腔室的第一力。方法还可以包括当传送设备移动时，使支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消第一力。
8、在一些实施例中，支撑设备可以包括电路装置，电路装置被配置为从被刚性耦合到腔室的传送设备获得预定义运动数据。电路装置还可以被配置为在前馈控制电路装置中，在传送设备移动之前基于预定义运动数据来确定要被施加到腔室的第一力。电路装置还可以被配置为当传送设备移动时，使支撑设备向腔室施加第二力，用于抵消第一力。
1.一种装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑设备包括气动避震设备。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备被配置为具有针对所述移动的多于两个的自由度。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备包括机械臂。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备包括多关节机械臂。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述预定义运动数据表示所述传送设备的空间位置与时间点之间的关系。
7.根据权利要求6所述的装置，其中被配置为在所述传送设备移动之前基于所述预定义运动数据来确定所述传送设备的所述移动的所述电路装置还被配置为：
8.根据权利要求7所述的装置，其中被配置为基于所述移动来确定由所述移动引起的要被施加到所述腔室的所述第一力的所述电路装置还被配置为：
9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二力的大小基本上等于所述第一力的大小。
10.根据权利要求1所述的装置，还包括样品台，所述样品台被配置为被所述腔室包围，并且不被刚性连接到所述腔室。
11.根据权利要求1所述的装置，还包括被耦合到所述腔室的传感器，其中所述支撑设备包括电路装置，所述电路装置被配置为：
12.一种非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储指令集，所述指令集能够由装置的至少一个处理器执行，以使所述装置执行方法，所述方法包括：
13.根据权利要求12所述的非暂态计算机可读介质，其中所述支撑设备包括气动避震设备。
14.根据权利要求12所述的非暂态计算机可读介质，其中所述传送设备包括多关节机械臂。
15.根据权利要求12所述的非暂态计算机可读介质，其中所述方法还包括：
