本申请涉及物料搬运天车，特别涉及一种自动化物料搬送系统。
背景技术：
1、在半导体行业中，自动化物料搬送系统（amhs，automatic material handlingsystem）是提高半导体制造产率、成品率以及设备利用率的重要保证。对于全自动化半导体工厂，一个安全且高效的自动化物料搬送系统可以大幅缩短在制品的等待时间，进而缩短晶圆产品的生产周期。物料搬运天车（oht，overhead hoist transport）是自动化物料搬送系统中的核心部分。物料搬运天车沿着安装在天花板上的轨道将料盒（ foup ，frontopening unified pod ）中的晶圆运送到预定的生产设备。
2、在物料搬运天车的运行中，可能发生各种错误。当物料搬运天车在运行中发生错误时，物料搬运天车停止运行。在自动化物料搬送系统中，几十到几百台的物料搬运天车同时工作的状况下，个别物料搬运天车的错误带来的停止会导致相邻着运行的其它物料搬运天车也低速运行甚至停止，由此会引起自动化物料搬送系统的整体运行效率下降。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供一种自动化物料搬送系统，降低个别物料搬运天车的停止运行对整体运行效率的影响。
2、为了解决上述技术问题，本申请的实施例公开了如下技术方案：
3、一方面，提供了一种自动化物料搬送系统，自动化物料搬送系统包括轨道、第一天车、第二天车以及中继车。轨道用于挂设于天花板下方。第一天车设置于轨道并行走，用于搬运物料。第二天车设置于轨道并行走，用于搬运与物料的重量相匹配的配重件。中继车设置于轨道并行走，中继车沿轨道的延伸方向位于第一天车和第二天车之间，且分别相对第一天车和第二天车处于预定位置时，中继车用于分别承接第一天车释放的物料以及第二天车释放的配重件，并交换物料和配重件的位置，以供第一天车抓取配重件，以及供第二天车抓取物料。其中，在中继车交换物料和配重件的位置的过程中，物料的重力对中继车产生第一力矩，配重件的重力对中继车产生第二力矩，第二力矩能够抵消至少部分的第一力矩。
4、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，中继车具有间隔设置的第一承载表面以及第二承载表面，并能够在第一状态和第二状态间切换以交换第一承载表面和第二承载表面的位置。第一承载表面用于承载物料，第二承载表面用于承载配重件。其中，在中继车分别相对第一天车和第二天车处于预定位置且处于第一状态时，第一承载表面位于第一天车的正下方，第二承载表面位于第二天车的正下方。在中继车分别相对第一天车和第二天车处于预定位置且处于第二状态时，第二承载表面位于第一天车的正下方，第一承载表面位于第二天车的正下方。
5、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，中继车包括车主体、载台以及驱动组件。车主体设置于轨道并沿轨道行走。载台以竖向为轴线方向可转动地设置于车主体，载台的顶面具有第一承载表面以及第二承载表面，第一承载表面和第二承载表面分别位于载台的转动轴线的相对两侧。驱动组件用于驱动载台转动。
6、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，载台为长条状，第一承载表面以及第二承载表面分别位于载台的长度方向的相对两端，载台的转动轴线位于载台的长度方向的中间区域。其中，中继车处于第一状态或第二状态时，载台的长度方向与轨道的延伸方向一致。
7、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，中继车包括车主体、第一传送件、第二传送件以及驱动组件。车主体设置于轨道并沿轨道行走。第一传送件沿轨道的延伸方向滑动配合于车主体，第一传送件的顶面为第一承载表面。第二传送件沿轨道的延伸方向滑动配合于车主体，第二传送件的顶面为第二承载表面。驱动组件用于分别驱动第一传送件和第二传送件移动。
8、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，驱动组件包括第一螺杆、第二螺杆、第一齿轮、第二齿轮、电机以及第三齿轮。第一螺杆的延伸方向与轨道的延伸方向一致，第一螺杆可转动地设置于车主体，第一螺杆与第一传送件螺旋传动配合，以使得第一螺杆的旋转运动能够转换为第一传送件的直线运动。第二螺杆的延伸方向与轨道的延伸方向一致，第二螺杆可转动地设置于车主体，第二螺杆与第二传送件螺旋传动配合，以使得第二螺杆的旋转运动能够转换为第二传送件的直线运动。第一齿轮同轴地设置于第一螺杆。第二齿轮同轴地设置于第二螺杆。第三齿轮同轴地设置于电机的输出轴，并分别与第一齿轮以及第二齿轮啮合传动。其中，第一螺杆的螺纹旋向与第二螺杆的螺纹旋向相反，第一螺杆的螺距与第二螺杆的螺距相等。
9、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，第二传送件的顶面开设有避让槽，避让槽沿轨道的延伸方向贯穿第二传送件，以轨道的延伸方向为投影方向，第一传送件的投影位于避让槽的投影内，以使得第一传送件和第二传送件相对运动的过程中，第一传送件通过避让槽穿过第二传送件。
10、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，第一承载表面和第二承载表面共面设置。
11、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，中继车还具有第一定位部和/或第二定位部。第一定位部设置于第一承载表面，用于与物料限位配合，从而固定物料在水平面内的位置。第二定位部设置于第二承载表面，用于与配重件限位配合，从而固定配重件在水平面内的位置。
12、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，自动化物料搬送系统，还包括连接臂组件，连接臂组件设置于中继车，用于连接第一天车或第二天车，以固定中继车和第一天车或第二天车的相对位置。
13、上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：
14、自动化物料搬送系统中设置有中继车，在第一天车发生异常时，通过中继车将第一天车的物料转移至正常运行的第二天车上，第二天车继续搬运物料，由此，降低了第一天车的停止运行对运行效率的影响。另外，通过设置配重件，在中继车交换物料和配重件的位置的过程中，物料的重力对中继车产生第一力矩，配重件的重力对中继车产生第二力矩，第二力矩能够抵消至少部分的第一力矩，由此，更有利于保持中继车稳定，从而降低了物料意外脱离中继车的风险。
1.一种自动化物料搬送系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述自动化物料搬送系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述中继车包括：
4.根据权利要求3所述自动化物料搬送系统，其特征在于，
5.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述中继车包括：
6.根据权利要求5所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述驱动组件包括：
7.根据权利要求5所述自动化物料搬送系统，其特征在于，
8.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，
9. 根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，
10.根据权利要求1所述自动化物料搬送系统，其特征在于，还包括：
