本发明涉及光学检测，尤其涉及一种光学设备及其工作方法。
背景技术：
1、随着对工件精度要求的工艺要求的提高，对检测设备的检测精度提出了要求，检测设备中光学元件的装调精度对检测设备的检测精度至关重要。为了满足检测设备对光学元件的装调精度的要求，往往需要将光学元件安装在调节装置上以能够随光学元件的位置进行调节。
2、现有的光学检测系统中，通常采用三种方式来实现光学元件的装调：其一，依靠光机的精密加工实现光学元件的装调，对光学元件的装调位置不做精细调节；其二，通过观察光学元件安装前后光斑的位置偏移情况，判断光的光轴是否穿过光学元件的中心，但存在着误差较大的问题；其三，采用偏心仪调节光学元件的偏心，但偏心仪通常结构复杂，价格昂贵，应用环境要求高，难以适用复杂光学检测系统的装调。
3、因此，目前光学元件装调的精度仍有待提高。
技术实现思路
1、本发明解决的问题是如何提高光学元件装调的精度。
2、为解决上述问题，本发明提供了一种光学设备，包括：
3、光源模块，用于沿第一路径向待调光学元件发射第一入射光；
4、自准直仪，包括第二光源和探测器；所述第二光源用于沿第二路径向待调光学元件发射第二入射光；所述探测器用于采集从第三路径传输过来的所述第一入射光对应的第一反射光，和/或采集从第四路径传输过来的所述第二入射光对应的第二反射光；
5、其中，所述第一反射光用于检测所述待调光学元件的偏心量，所述第二反射光用于检测所述待调光学元件的倾斜量。
6、相应地，本发明实施例还提供了一种光学设备的工作方法，所述光学设备为上述任一项所述的光学设备，所述工作方法包括：
7、通过所述光学设备获取待调光学元件的倾斜量，和/或通过所述光学设备获取待调光学元件的偏心量；
8、通过所述光学设备获取所述待调光学元件的倾斜量，包括：通过所述第二光源沿第二路径向所述待调光学元件发射第二入射光；通过探测器采集从第四路径传输过来的所述第二入射光对应的第二反射光；根据所述第二反射光获取所述待调光学元件的倾斜量；
9、通过所述光学设备获取所述待调光学元件的偏心量，包括：通过光源模块沿第一路径向所述待调光学元件发射第一入射光；通过所述探测器采集从第三路径传输过来的所述第一入射光对应的第一反射光，根据所述第一反射光获取所述待调光学元件的偏心量。
10、与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：
11、本发明实施例提供了一种光学设备，包括：光源模块，用于沿第一路径向待调光学元件发射第一入射光；自准直仪，包括第二光源和探测器；所述第二光源用于沿第二路径向待调光学元件发射第二入射光；所述探测器用于采集从第三路径传输过来的所述第一入射光对应的第一反射光，和/或采集从第四路径传输过来的所述第二入射光对应的第二反射光；其中，所述第一反射光用于检测所述待调光学元件的偏心量，所述第二反射光用于检测所述待调光学元件的倾斜量。
12、可以看出，采用光源模块沿第一路径向待调光学元件发射第一入射光，采用自准直仪的第二光源沿第二路径向待调光学元件发射第二入射光，并采用自准直仪的探测器用于采集从第三路径传输过来的所述第一入射光对应的第一反射光，和/或采集从第四路径传输过来的所述第二入射光对应的第二反射光，能够对所述待调光学元件的偏心量和/或倾斜量进行调整，有利于提高光学元件装调的精度，进而能够减小检测系统因光学元件的装调精度较低所引起的测量误差，相应能够提高检测的精度。
1.一种光学设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述第一路径、所述第二路径的部分路径重合以形成重合路径，在所述重合路径上设有系统预设光轴；
3.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，还包括分光模块，所述分光模块位于所述第一路径和所述第二路径的交汇处；
4.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，还包括第一反射模块；
5.根据权利要求4所述的光学设备，其特征在于，所述待调光学元件通过自身平面反射光线，或通过在待调光学元件的安装位上设置的第二反射镜来反射光线；
6.根据权利要求5所述的光学设备，其特征在于，所述自准直仪还包括：
7.根据权利要求6所述的光学设备，其特征在于，所述第一偏移信息表示所述第一反射光在所述探测器的成像面所形成的光斑的中心与所述探测器的成像面上的预设基准位置之间的距离，且记为m1o；以及用s表示所述准直透镜的轴心面与所述探测器的成像面之间的距离；
8.根据权利要求6所述的光学设备，其特征在于，所述第二偏移信息表示所述第二反射光在所述探测器的成像面所形成的光斑的中心与所述探测器的成像面上的预设基准位置之间的距离，且记为x1；
9.根据权利要求1-8中任一项所述的光学设备，其特征在于，所述光源模块为激光光源。
10.一种光学设备的工作方法，其特征在于，所述光学设备为权利要求1-8中任一项所述的光学设备，所述工作方法包括：
11.如权利要求10所述的光学设备的工作方法，其特征在于，所述第二反射光由所述待调光学元件的自身平面或者由第二反射镜对所述第二入射光进行反射形成，所述第二反射镜设置在所述待调光学元件的安装位上。
12.如权利要求10所述的光学设备的工作方法，其特征在于，所述第一反射光由第一反射模块对穿过所述待调光学元件的第一入射光进行反射形成，第一反射模块位于穿过所述待调光学元件的第一入射光的光路上，且所述第一反射模块的反射面垂直于系统预设光轴。
13.如权利要求10所述的光学设备的工作方法，其特征在于，在获取待调光学元件的倾斜量和/或所述待调光学元件的偏心量之后，所述工作方法还包括：
14.如权利要求13中所述的光学设备的工作方法，其特征在于，所述第一路径、所述第二路径的部分路径重合以形成有重合路径；所述系统预设光轴设于所述重合路径上。
15.如权利要求14中所述的光学设备的工作方法，其特征在于，在所述待调光学元件的光轴与所述系统预设光轴对准之后，还包括对所述待调光学元件之外的其他光学元件进行对准调节的过程：
16.如权利要求15中所述的光学设备的工作方法，其特征在于，通过所述光学设备获取所述其他光学元件的倾斜量，包括：
17.如权利要求15中所述的光学设备的工作方法，其特征在于，通过所述光学设备获取所述其他光学元件的偏心量，包括：通过光源模块沿第一路径向所述其他光学元件发射第一入射光；通过所述探测器采集从第三路径传输过来的所述第一入射光对应的第一反射光，根据所述第一反射光获取所述其他光学元件的偏心量。
