本技术涉及显示，特别是涉及了一种新型干刻腔室内阳极壁板。
背景技术：
1、干法刻蚀是用等离子体对玻璃基板基板或其他待刻蚀基板上的薄膜进行刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时，一方面，气体化学活性比常态下强，可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的；另一方面，还可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。
2、现有的干法刻蚀设备包括：反应腔体、位于反应腔体内的上部电极和下部电极。将待刻蚀基板置于下部电极上，反应腔内通入等离子气体接着将反应腔密闭，向上部电极和下部电极施加电压，二者之间形成电势差；在电场作用下，等离子体获得很高的能量并以很高的速度轰击待刻蚀基板从而实现刻蚀。
3、如图1，干刻设备腔体整体分为两个部分，上部电极腔体和下部电极腔体；上部电极腔室和下部电极腔体依靠含氟橡胶圈进行密封，干刻设备使用氯气，六氟化硫等腐蚀性强的气体进行工艺，含氟橡胶圈直接接触等离子体，导致橡胶圈极易被腐蚀，无法到达密封效果，同时被腐蚀的橡胶圈产生的异物，会直接影响产品，导致刻蚀不完全。
4、如中国实用新型专利（cn110349828b）公开了一种干蚀刻设备，该干蚀刻设备包括蚀刻腔体,第一电极和第二电极，在对基板进行干蚀刻处理时，第一电极和第二电极相对设置、且位于蚀刻腔体内，第一电极设置有凸起图案，基板放置在所述凸起图案的支撑面上，蚀刻单元，用于向所述蚀刻腔体内输入蚀刻气体，并在所述第一电极和第二电极所形成电场的控制下，对所述基板的膜层进行蚀刻，防静电构件，该防静电构件用于对所述第一电极进行预处理，以缓解所述基板上的静电积累；基于防静电构件，本发明提供的干蚀刻设备缓解了蚀刻膜层时基板上静电的积累，避免了静电释放导致的显示面板损坏，缓解了现有干蚀刻设备存在的静电释放损坏显示面板的技术问题，提高了显示面板的制造良率。
5、然而，本实用新型人具体实施此装置时，发现存在以下缺陷：该设备橡胶圈有腐蚀的风险，不能达到密封的效果，会影响产品，不利于销售。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种新型干刻腔室内阳极壁板，通过改变上部电极腔体和下部电极腔体内部上部电极壁板与下部电极壁板的结构，使上部电极壁板和下部电极壁板延伸并形成错位相接，将原本橡胶圈暴露的位置，进行遮挡，降低橡胶圈接触等离子体，达到保护橡胶圈腐蚀，以及防止腐蚀掉落的橡胶圈碎屑掉在产品上，从而大大降低橡胶圈被腐蚀的概率，从而达到密封的效果，有利于产品的保护，更有利于后续的出售。
2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下所述的技术方案：
3、一种新型干刻腔室内阳极壁板。
4、所述新型干刻腔室内阳极壁板具体包括：
5、上部电极腔体、下部电极腔体，所述上部电极腔体与所述下部电极腔体通过橡胶圈连接组成干刻设备腔室，其组成的干刻设备腔室的内部设置有上部电极壁板与下部电极壁板，所述上部电极壁板设置于所述下部电极壁板分别设置在所述上部电极腔体与所述下部电极腔体的腔壁上，所述下部电极壁板与所述上部电极壁板相互延伸并形成错位相接，并将遮挡所述橡胶圈。
6、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述上部电极壁板的延伸处靠近所述干刻设备腔室的内部，所述下部电极壁板的延伸处靠近所述橡胶圈。
7、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述上部电极壁板的延伸处靠近所述橡胶圈，所述下部电极壁板的延伸处靠近所述干刻设备腔室的内部。
8、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述干刻设备腔室内部还设置有等离子体，用于轰击待刻蚀基板实现刻蚀。
9、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述干刻设备腔室内部还设置有下部电极，所述下部电极朝向所述等离子体的一面设置有玻璃基板。
10、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述上部电极壁板与所述下部电极壁板互为原点对称。
11、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述上部电极壁板与所述下部电极壁板各处的厚度分别相等。
12、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述下部电极是固定式电极。
13、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述下部电极是可移动式电极。
14、作为本实用新型提供的所述的新型干刻腔室内阳极壁板的一种优选实施方式，所述干刻设备腔室内部还设置有电极支撑板，所述电极支撑板的底端与所述下部电极腔体连接，其顶端与所述下部电极的底部连接。
15、与现有技术相比，本实用新型有以下有益效果：
16、本实用新型提供的新型干刻腔室内阳极壁板，通过改变上部电极腔体和下部电极腔体内部上部电极壁板与下部电极壁板的结构，使上部电极壁板和下部电极壁板延伸并形成错位相接，将原本橡胶圈暴露的位置，进行遮挡，降低橡胶圈接触等离子体，达到保护橡胶圈腐蚀，以及防止腐蚀掉落的橡胶圈碎屑掉在产品上，从而大大降低橡胶圈被腐蚀的概率，从而达到密封的效果，有利于产品的保护，更有利于后续的出售。
1.一种新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，其包括上部电极腔体（1）、下部电极腔体（2），所述上部电极腔体（1）与所述下部电极腔体（2）通过橡胶圈（3）连接组成干刻设备腔室，其组成的干刻设备腔室的内部设置有上部电极壁板（4）与下部电极壁板（5），所述上部电极壁板（4）设置于所述下部电极壁板（5）分别设置在所述上部电极腔体（1）与所述下部电极腔体（2）的腔壁上，所述下部电极壁板（5）与所述上部电极壁板（4）相互延伸并形成错位相接，并将遮挡所述橡胶圈（3）。
2.根据权利要求1所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述上部电极壁板（4）的延伸处靠近所述干刻设备腔室的内部，所述下部电极壁板（5）的延伸处靠近所述橡胶圈（3）。
3.根据权利要求1所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述上部电极壁板（4）的延伸处靠近所述橡胶圈（3），所述下部电极壁板（5）的延伸处靠近所述干刻设备腔室的内部。
4.根据权利要求1所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述干刻设备腔室内部还设置有等离子体（6），用于轰击待刻蚀基板实现刻蚀。
5.根据权利要求4所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述干刻设备腔室内部还设置有下部电极（7），所述下部电极（7）朝向所述等离子体（6）的一面设置有玻璃基板（8）。
6.根据权利要求1所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述上部电极壁板（4）与所述下部电极壁板（5）互为原点对称。
7.根据权利要求6所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述上部电极壁板（4）与所述下部电极壁板（5）各处的厚度分别相等。
8.根据权利要求4所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述下部电极（7）是固定式电极。
9.根据权利要求4所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述下部电极（7）是可移动式电极。
10.根据权利要求8所述的新型干刻腔室内阳极壁板，其特征在于，所述干刻设备腔室内部还设置有电极支撑板（9），所述电极支撑板（9）的底端与所述下部电极腔体（2）连接，其顶端与所述下部电极（7）的底部连接。
