本技术属于半导体晶圆湿法工艺设备领域，具体地说是一种可调节式集成喷嘴装置。
背景技术：
1、目前在半导体晶圆湿法处理工艺中，需要通过包括狭缝状喷嘴和柱状喷嘴的高压喷嘴组件对晶圆表面喷射高压药液，高压喷液工艺完成后需要将高压喷嘴组件通过所连接的摆臂切换离开晶圆，再将位于另一处摆臂的常压喷嘴切换过来并对晶圆喷出大流量的常压(一般压力小于0.5mpa常称为常压，高于此压力则常称为高压)的药液以冲刷晶圆表面来辅助撕金和去胶操作来达到工艺效果。由于高压喷嘴组件和常压喷嘴分别设置于两个摆臂上，实际使用时需要使两个摆臂分别进行较大幅度的动作进行摆臂的切换，使得加工效率较低，会降低设备产能。
技术实现思路
1、针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种可调节式集成喷嘴装置。
2、本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
3、一种可调节式集成喷嘴装置，包括喷嘴主体、高度调节安装件及角度调节安装件，所述角度调节安装件与摆臂的驱动端连接，所述高度调节安装件与所述角度调节安装件连接，所述喷嘴主体与所述高度调节安装件连接；
4、所述喷嘴主体的内部分别开设有互不连通的高压药液流道a、高压药液流道b，所述喷嘴主体上分别设有与所述高压药液流道a相连通的管接头a及高压柱状喷嘴，所述喷嘴主体上分别设有与所述高压药液流道b相连通的管接头b及高压狭缝状喷嘴，所述喷嘴主体上设有常压喷液管，所述常压喷液管具有两个开口，所述常压喷液管的其中一个开口连接有管接头c，所述常压喷液管的另一个开口用于直接对晶圆喷出常压药液；
5、所述高压柱状喷嘴、所述高压狭缝状喷嘴及所述常压喷液管的另一个开口均位于所述高度调节安装件的同一侧。
6、所述管接头a、管接头b及管接头c均位于所述高度调节安装件的另一侧。
7、所述喷嘴主体上开设有用于穿设所述常压喷液管的常压喷液管安装孔道，所述喷嘴主体上与所述常压喷液管安装孔道相对应的位置上还设有若干个用于从所述常压喷液管的外侧卡住所述常压喷液管的锁紧螺钉。
8、所述高压药液流道a、高压药液流道b及常压喷液管安装孔道均为直线状孔道，所述高压药液流道a的轴向中心线、高压药液流道b的轴向中心线及常压喷液管安装孔道的轴向中心线相互平行。
9、所述高度调节安装件上开设有若干个高度调节长孔，每个所述高度调节长孔中穿设有至少两个固定螺钉a，各所述固定螺钉a分别与所述喷嘴主体通过螺纹连接。
10、位于所述角度调节安装件两侧的高度调节安装件上分别开设至少一个所述高度调节长孔。
11、各所述高度调节长孔的内侧面均呈阶梯状，各所述固定螺钉a的头部均没入对应的所述高度调节长孔中。
12、所述喷嘴主体的外侧面上靠近所述高度调节安装件处上设有若干条沿直线依次设置的高度位置刻度线，所述高度调节安装件的外侧面上靠近所述喷嘴主体上的高度位置刻度线处设有高度位置指示线。
13、所述角度调节安装件的中心处开设有用于穿设固定螺钉b的中心固定孔，所述角度调节安装件上且在所述中心固定孔的两侧位置对称开设有弧形槽孔，每个所述弧形槽孔中均穿设有至少一个固定螺钉c，所述固定螺钉b及各所述固定螺钉c均与所述高度调节安装件通过螺纹连接。
14、所述高度调节安装件的外侧面上靠近所述角度调节安装件处设有若干条呈弧线状依次设置的角度位置刻度线，各所述角度位置刻度线所在的对应弧线的圆心与所述中心固定孔的圆心同心，所述角度调节安装件的外侧面上靠近所述高度调节安装件上的角度位置刻度线处设有角度位置指示线。
15、本实用新型的优点与积极效果为：
16、1.本实用新型通过集成安装有高压柱状喷嘴、高压狭缝状喷嘴及常压喷液管的喷嘴主体，可在高压狭缝状喷嘴、高压柱状喷嘴分别对晶圆表面喷射高压药液后，直接通过常压喷液管对晶圆喷出常压的药液冲刷晶圆表面，而仅需一个摆臂实际进行动作，减少摆臂设置数量并且无需进行摆臂的切换，有效提高加工效率，提高设备产能。
17、2.本实用新型通过高度位置刻度线及高度位置指示线的配合设置与角度位置刻度线及角度位置指示线的配合设置，可以满足不同工艺要求中喷嘴高度和角度的量化调节需求，进一步提供撕金或去胶工艺的工艺效果，能够更精确地实现工艺指标和标准化的产品效果。
1.一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：包括喷嘴主体(1)、高度调节安装件(2)及角度调节安装件(3)，所述角度调节安装件(3)与摆臂(001)的驱动端连接，所述高度调节安装件(2)与所述角度调节安装件(3)连接，所述喷嘴主体(1)与所述高度调节安装件(2)连接；
2.根据权利要求1所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：所述管接头a(4)、管接头b(6)及管接头c(9)均位于所述高度调节安装件(2)的另一侧。
3.根据权利要求1所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：所述喷嘴主体(1)上开设有用于穿设所述常压喷液管(8)的常压喷液管安装孔道，所述喷嘴主体(1)上与所述常压喷液管安装孔道相对应的位置上还设有若干个用于从所述常压喷液管(8)的外侧卡住所述常压喷液管(8)的锁紧螺钉(10)。
4.根据权利要求3所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：所述高压药液流道a、高压药液流道b及常压喷液管安装孔道均为直线状孔道，所述高压药液流道a的轴向中心线、高压药液流道b的轴向中心线及常压喷液管安装孔道的轴向中心线相互平行。
5.根据权利要求1所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：所述高度调节安装件(2)上开设有若干个高度调节长孔(201)，每个所述高度调节长孔(201)中穿设有至少两个固定螺钉a(11)，各所述固定螺钉a(11)分别与所述喷嘴主体(1)通过螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：位于所述角度调节安装件(3)两侧的高度调节安装件(2)上分别开设至少一个所述高度调节长孔(201)。
7.根据权利要求6所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：各所述高度调节长孔(201)的内侧面均呈阶梯状，各所述固定螺钉a(11)的头部均没入对应的所述高度调节长孔(201)中。
8.根据权利要求1所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：所述喷嘴主体(1)的外侧面上靠近所述高度调节安装件(2)处上设有若干条沿直线依次设置的高度位置刻度线(101)，所述高度调节安装件(2)的外侧面上靠近所述喷嘴主体(1)上的高度位置刻度线(101)处设有高度位置指示线(202)。
9.根据权利要求1所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：所述角度调节安装件(3)的中心处开设有用于穿设固定螺钉b的中心固定孔(301)，所述角度调节安装件(3)上且在所述中心固定孔(301)的两侧位置对称开设有弧形槽孔(302)，每个所述弧形槽孔(302)中均穿设有至少一个固定螺钉c，所述固定螺钉b及各所述固定螺钉c均与所述高度调节安装件(2)通过螺纹连接。
10.根据权利要求9所述的一种可调节式集成喷嘴装置，其特征在于：所述高度调节安装件(2)的外侧面上靠近所述角度调节安装件(3)处设有若干条呈弧线状依次设置的角度位置刻度线(203)，各所述角度位置刻度线(203)所在的对应弧线的圆心与所述中心固定孔(301)的圆心同心，所述角度调节安装件(3)的外侧面上靠近所述高度调节安装件(2)上的角度位置刻度线(203)处设有角度位置指示线(303)。
