一种尾气处理器用气体屏蔽机构的制作方法

专利2026-07-02  10


本技术涉及尾气处理,具体涉及一种尾气处理器用气体屏蔽机构。


背景技术:

1、半导体生产设备在使用时,会产生大量废气,为了避免污染环境,半导体生产设备的出气口上均会安装尾气处理器。尾气处理器在工作时,大量气流经过其壳体,会产生噪音,为了避免噪音污染,尾气处理器上均设置气体屏蔽机构。

2、目前,现有的尾气处理器用气体屏蔽机构较为简单,仅是在尾气处理器的壳体外表面上加装一层隔音泡棉,屏蔽效果差。且隔音泡棉容易被污染,导致使用时间较短。其次,尾气通过通孔进入处理器内部的过程,导致气流的紊乱,使得容易在过滤棉外侧形成压差,在气流的压力作用下容易产生振动,加重了噪音污染。


技术实现思路

1、为克服现有技术所存在的缺陷,现提供一种尾气处理器用气体屏蔽机构,以解决现有的尾气处理器内部结构对尾气处理效果偏差,隔音效果差的问题。

2、为实现上述目的,提供一种尾气处理器用气体屏蔽机构,包括:处理器外壳、处理机构和扩散组件,所述处理器外壳的两侧分别设有出气端和进气端,所述处理机构设于处理器外壳的内侧,且处理机构包括外侧的夹层外套,夹层外套内侧设有隔热夹层,并且隔热夹层的内侧设有夹层内套,所述夹层内套内侧设有衬垫,且衬垫内侧设有陶瓷载体,并且夹层内套包括聚氨酯发泡层、硅酸盐板层以及玻璃棉板层,所述扩散组件设于进气端内部,且扩散组件包括网孔板,网孔板中心贯穿有定位轴,并且定位轴的内侧连接有叶片,定位轴外侧连接有刷杆。

3、进一步的,所述处理器外壳设为金属材质的圆筒结构,且处理器外壳设有对称的两部分,并且夹层外套连接在处理器外壳的内壁。

4、进一步的,所述处理器外壳的边缘分别设有第一连板和第二连板,且第一连板和第二连板之间设有密封垫,并且第一连板和第二连板通过螺栓对应连接。

5、进一步的,所述玻璃棉板层位衬垫外侧,且硅酸盐板层位于玻璃棉板层外侧,并且聚氨酯发泡层位于硅酸盐板层外侧。

6、进一步的,所述网孔板边缘固定在进气端的内壁,且网孔板圆心设有轴套,并且定位轴转动穿过轴套。

7、进一步的,所述刷杆朝向网孔板一侧设有金属刷毛,且金属刷毛表面设有耐腐蚀涂层,并且刷毛与网孔板表面接触。

8、进一步的,所述陶瓷载体设为圆柱体结构,且圆柱体内部设为蜂窝孔状,并且蜂窝孔内部涂覆有催化剂涂层。

9、本实用新型的有益效果在于:

10、1、利用扩散组件所包括的定位轴、网孔板和叶片,便于随用尾气进入进气端过程中,通过网孔板的均匀扩散,带动叶片转动,同时叶片产生的涡流送风,加快尾气的通过效率,实现了避免出现气流的紊乱导致的压差,进而降低振动产生的噪音;

11、2、利用处理机构所包括的陶瓷载体、衬垫、夹层内套、隔热夹层以及夹层外套,使得尾气通过处理机构被进一步催化处理,且蜂窝状的陶瓷载体起到与尾气大面积接触的效果,表面的催化剂涂层与尾气中的有害颗粒发生反应,增加了净化处理效果,同时隔热夹层起到对陶瓷载体实现催化作用的保温效果;

12、3、利用夹层内套所包括的玻璃棉板层和硅酸盐板层以及聚氨酯发泡层,使得起到隔音降噪的效果,有效屏蔽了排气噪音污染,同时玻璃棉板层和硅酸盐板层具有耐高温和耐火性能,便于提高在尾气高温环境中使用的安全性。



技术特征:

1.一种尾气处理器用气体屏蔽机构,包括:处理器外壳(1)、处理机构(2)和扩散组件(3),所述处理器外壳(1)的两侧分别设有出气端(11)和进气端(12),其特征在于:所述处理机构(2)设于处理器外壳(1)的内侧,且处理机构(2)包括外侧的夹层外套(21),夹层外套(21)内侧设有隔热夹层(22),并且隔热夹层(22)的内侧设有夹层内套(23),所述夹层内套(23)内侧设有衬垫(24),且衬垫(24)内侧设有陶瓷载体(25),并且夹层内套(23)包括聚氨酯发泡层(231)、硅酸盐板层(232)以及玻璃棉板层(233),所述扩散组件(3)设于进气端(12)内部,且扩散组件(3)包括网孔板(33),网孔板(33)中心贯穿有定位轴(31),并且定位轴(31)的内侧连接有叶片(34),定位轴(31)外侧连接有刷杆(32)。

2.根据权利要求1所述的一种尾气处理器用气体屏蔽机构,其特征在于,所述处理器外壳(1)设为金属材质的圆筒结构,且处理器外壳(1)设有对称的两部分,并且夹层外套(21)连接在处理器外壳(1)的内壁。

3.根据权利要求1所述的一种尾气处理器用气体屏蔽机构,其特征在于,所述处理器外壳(1)的边缘分别设有第一连板(211)和第二连板(213),且第一连板(211)和第二连板(213)之间设有密封垫(212),并且第一连板(211)和第二连板(213)通过螺栓(214)对应连接。

4.根据权利要求1所述的一种尾气处理器用气体屏蔽机构,其特征在于,所述玻璃棉板层(233)位衬垫(24)外侧,且硅酸盐板层(232)位于玻璃棉板层(233)外侧,并且聚氨酯发泡层(231)位于硅酸盐板层(232)外侧。

5.根据权利要求1所述的一种尾气处理器用气体屏蔽机构,其特征在于,所述网孔板(33)边缘固定在进气端(12)的内壁,且网孔板(33)圆心设有轴套,并且定位轴(31)转动穿过轴套。

6.根据权利要求1所述的一种尾气处理器用气体屏蔽机构,其特征在于,所述刷杆(32)朝向网孔板(33)一侧设有金属刷毛,且金属刷毛表面设有耐腐蚀涂层,并且刷毛与网孔板(33)表面接触。

7.根据权利要求1所述的一种尾气处理器用气体屏蔽机构,其特征在于,所述陶瓷载体(25)设为圆柱体结构,且圆柱体内部设为蜂窝孔状,并且蜂窝孔内部涂覆有催化剂涂层。


技术总结
本技术提供了一种尾气处理器用气体屏蔽机构,涉及半导体尾气处理领域,包括:处理器外壳、处理机构和扩散组件,所述处理器外壳的两侧分别设有出气端和进气端,所述处理机构设于处理器外壳的内侧,且处理机构包括外侧的夹层外套,夹层外套内侧设有隔热夹层,并且隔热夹层的内侧设有夹层内套,所述夹层内套内侧设有衬垫,且衬垫内侧设有陶瓷载体,并且夹层内套包括聚氨酯发泡层、硅酸盐板层以及玻璃棉板层,所述扩散组件设于进气端内部,且扩散组件包括网孔板,网孔板中心贯穿有定位轴。本技术解决了现有的尾气处理器内部结构对尾气处理效果偏差,不具有对尾气通过处理器时的噪音屏蔽效果的问题。

技术研发人员:田波雨,赵峰
受保护的技术使用者:气安仕先进制造科技(无锡)有限公司
技术研发日:20231101
技术公布日:2024/6/26
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