本技术为提供一种晶舟盒储存装置，尤指一种可独立针对其中一个晶舟盒进行开启门盖动作，且可存放多种不同种类的晶舟盒，并可有效防止外部粉尘进入储存装置内的晶舟盒储存装置。
背景技术：
1、现如今电子产品蓬勃发展，电子元件的需求日益提升，因此带动半导体厂的扩建及提升生产效率，其中，晶圆的保存尤其重要，如晶圆保存完善，其将连带使得后续生产作业顺利且提升良率，然而，过去晶圆的保存大多不具系统化，其不仅设计复杂且提高成本的支出。
2、为此，有厂商研发出一种可存放多个晶舟盒的储存装置，主要将多个同型号的晶舟盒存放于储存装置内，当有需要对晶舟盒内的晶圆片取出至其他设备进行其他制程或取放时，通过开门装置可将全部的晶舟盒的门盖做开启动作，使机械手臂可从晶舟盒内将晶圆片取出。
3、然而，上述储存装置在使用时，确实存在下列问题与缺点尚待改进：
4、虽可储存多个晶舟盒，但仅能储存同一种种类的晶舟盒，倘若放入不同种类的晶舟盒于储存装置内，将会导致开门装置无法对晶舟盒的门盖进行开启动作，或发生开门误动作问题，且若仅需针对其中一个晶舟盒进行取放时，将导致其他无须取放的晶舟盒门盖也被同时开启，形成暴露，且在传送口处也无门体的设计，导致粉尘进入储存装置内造成污染。
5、因此，要如何解决上述常见的问题与缺点，即为本实用新型的创作人与从事此行业的相关厂商想要研究改善的方向。
技术实现思路
1、本实用新型的申请人鉴于上述缺点，搜集相关资料，经由多方评估及考量，并以从事此行业累积的多年经验，经由不断尝试及修改，设计出此种可独立针对其中一个晶舟盒进行开启门盖动作，且可存放多种不同种类的晶舟盒，并可有效防止外部粉尘进入储存装置内的晶舟盒储存装置。
2、本实用新型的主要目的在于：具有多个开门装置，且每个开门装置可单独启动，以对单一晶舟盒门盖进行开启，形成一种一对一独立开启的设计，不会让其他晶舟盒形成在暴露的空间中，且本案更可存放多种不同种类的晶舟盒，借此让本案具有更多元化、及储存装置可设置更多不同种类晶舟盒的优势，且本案在第一传送口处具有门体的设计，使粉尘不易进入到储存装置内。
3、本案能够达成上述主要目的的主要结构包括有晶舟盒载台，所述晶舟盒载台内具有可横向移动且供置放晶舟盒的平台装置，且平台装置上设有至少一供辨识晶舟盒型号的辨识元件，晶舟盒载台一侧处设有储存装置，所述储存装置一侧面处具有可供平台装置进入的第一传送口，另一侧面处具有第二传送口，且第一传送口上设有门体，另在储存装置上且位于第二传送口同一侧面处具有数个开门装置，所述开门装置皆可独立运作，此外，储存装置内设有数个承载台，各个承载台分别供置放晶舟盒，且各个晶舟盒可为不同种类，并在承载台一侧设有升降装置，所述升降装置可供带动各承载台垂直位移，最后在储存装置上设有控制基板，所述控制基板具有储存模块。
4、当晶舟盒放置在平台装置上时，得利用平台装置上的辨识元件来辨识晶舟盒的种类，并由辨识元件将所辨识到晶舟盒的种类讯息，传递给储存模块进行储存，当晶舟盒移入承载台上时，借由储存模块记录存放晶舟盒的承载台位置讯息，便于升降装置进行后续移载动作。换言之，当晶舟盒想要存入储存装置内时，平台装置将会横移至储存装置的承载台上方，当确定抵达正确位置后，升降装置会再上升将晶舟盒往上支撑，使晶舟盒脱离平台装置，此时平台装置再缩回至原位置处，同时门体关闭，此刻即完成储放动作，若想要对其中一个晶舟盒进行取放或其他后续制程动作时，对应该晶舟盒的开门装置会将此晶舟盒的门盖进行开启动作，当开启后，升降装置会将此晶舟盒移动至第二传送口处，以便对该晶舟盒进行上开取放动作。值得一提的是，辨识元件已依据各种晶舟盒的种类而可控制升降装置及开门装置，因此储存装置内的晶舟盒存放不同型号时，仍可做相对应的开门动作或取放动作，无须规定仅能放单一种型号的晶舟盒。
5、借由上述技术，可针对常用储存装置所存在的虽可储存多个晶舟盒，但仅能储存同一种型号的晶舟盒，倘若放入不同型号的晶舟盒在储存装置内，将会导致开门装置无法对晶舟盒的门盖进行开启动作，且若仅需针对其中一个晶舟盒进行取放时，将导致其他无须取放的晶舟盒门盖也被同时开启，形成暴露，且在传送口处也无门体的设计，导致粉尘进入储存装置内造成污染的问题点加以突破，达到本实用新型上述优点。
1.一种晶舟盒储存装置，其特征在于，主要包括：
2.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述晶舟盒的种类为手动门盖晶舟盒或自动门盖晶舟盒。
3.如权利要求2所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述晶舟盒的种类为尺寸相异晶舟盒，且需进行开启设于晶舟盒的门盖动作时，控制基板在所述储存模块内读取晶舟盒的种类讯息，并依据种类讯息来控制升降装置运作，使承载台根据承载台位置讯息，移动至指定位置且门盖的位置得以完全对应开门装置，驱使开门装置可对门盖进行开启动作。
4.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述平台装置具有轨道组、设于所述轨道组一侧的平台驱动装置、及活动设于所述轨道组上，并可受平台驱动装置带动而在所述轨道组上水平往复移动的平台，所述平台上设有辨识元件。
5.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述升降装置具有与各所述承载台相互接合的驱动元件、及与所述驱动元件结合以提供所述驱动元件运作的第一启动元件。
6.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述开门装置具有可与门盖对接固定的开门对接元件、及与所述开门对接元件连接，以供驱动所述开门对接元件进行开门动作的第二启动元件、与所述第二启动元件电性连接以供侦测门盖的侦测元件、供承载开门对接元件、第二启动元件、与侦测元件的开门座，及设于开门座下方处的滑座，所述滑座可供开门座滑移。
7.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述平台装置上设有数个平台定位元件。
8.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述承载台上设有数个承载台定位元件。
