本发明涉及硅烷生产，具体为一种用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备。
背景技术：
1、硅烷是一种无色、有毒的气体，常用于半导体材料的制备和有机合成中，硅烷在现代高科技中应用广泛，而且越来越重要，用于制备各种微电子薄膜，硅烷可以制备单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质，硅烷生产涉及到多个环节，包括硅石化学反应、冷却、分离、纯化等多个步骤，确保才能得到高纯度的硅烷产品。
2、在硅烷的生产工艺中，硅石通常采用加热反应器，将硅石粉末与氢气进行化学反应，而产生硅烷气体，但现有的加热反应器通常采用单一的搅拌桨对原料进行混合，混合不够充分，导致反应速度较慢，且反应后釜体内部清理较为不便，清理效果较差。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备，解决了加热反应器通常采用单一的搅拌桨对原料进行混合，混合不够充分，导致反应速度较慢，且反应后釜体内部清理较为不便的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种用于半导体的硅烷的生产工艺，包括以下步骤：
5、s1、首先将硅石研磨成粉末，加入反应釜中，然后向反应釜中通入氢气，加热反应釜，反应釜达到温度后，硅石粉末与氢气发生化学反应，产生硅烷气体；
6、其中釜体在加热反应的同时，通过电机带动搅拌组件对硅石粉末与氢气进行混合；
7、硅烷生产完成后，电动推杆的输出杆进行收缩，通过锁固机构将卡杆移出密封盖，然后通过密封盖带动搅拌组件从内壳体中移出，即可对釜体与内壳体之间的夹层、内壳体以及搅拌组件进行全方位清理；
8、s2、产生的硅烷气体通过管道进入冷凝器中进行冷却，使其凝结成液体；
9、s3、冷却后进入吸附箱中，通过吸附箱中的分子筛与活性炭吸附网对液体硅烷进行过滤，去除其中的杂质；
10、s4、经过吸附箱过滤后的硅烷液体再通过管道进入蒸馏塔中进行蒸馏，从而得到高纯度的硅烷。
11、本发明还公开了一种用于半导体的硅烷生产设备，所述釜体内壁顶部的两侧之间固定连接有隔板，且隔板的底部与内壳体的顶部固定连接，所述内壳体的外表面固定连接有加热棒，所述隔板的顶部连通有进料管，所述进料管的顶端贯穿釜体并延伸至釜体的外部。
12、优选的，所述电机通过支撑板固定在釜体的顶部，所述搅拌组件包括搅拌轴，所述搅拌轴的底端连通有氢气管，所述搅拌轴的内部开设有空腔，且空腔的底部与氢气管的进气端相连通，所述空腔的正面与背面均开设有出气孔。
13、优选的，所述搅拌轴两侧的顶部与底部均固定连接有支架，两个所述支架相对的一侧之间固定连接有舢板，且舢板的表面开设有通孔，所述支架远离搅拌轴的一侧固定连接有刮板。
14、优选的，所述电机输出轴的一端通过联轴器固定连接有固定轴，且固定轴的底部开设有与搅拌轴相适配的安装槽，所述电动推杆固定连接在固定轴的表面，所述电动推杆的输出杆贯穿搅拌轴并延伸至固定轴的内部。
15、优选的，所述密封盖设置在釜体的底部，所述搅拌轴的底端与密封盖内壁的底部转动连接，所述釜体外表面的四周均固定连接有l型板，且l型板靠近釜体的一侧与密封盖的外表面活动连接。
16、优选的，所述锁固机构包括固定在l型板外侧的筒体，所述筒体内壁的一侧固定连接有马达，且马达输出轴的一端固定连接有丝杆，所述筒体内壁的顶部与底部均滑动连接有滑块，所述卡杆固定在两个滑块相对的一侧之间，所述卡杆的一端开设有与丝杆相适配的螺纹槽，所述卡杆远离丝杆的一端贯穿l型板并延伸至密封盖的内部，所述密封盖的表面开设有与卡杆相适配的卡槽。
17、优选的，所述釜体的出气口通过管道与冷凝器的入口相连通，所述冷凝器的出口通过管道与吸附箱的入口相连通，所述吸附箱的出口通过管道与蒸馏塔的入料口相连通。
18、(三)有益效果
19、本发明提供了一种用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备。具备以下有益效果：
20、(1)、该用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备，氢气通入搅拌轴的空腔后，通过搅拌轴上的多个出气孔均匀散布在内壳体中，同时在搅拌轴的两侧通过支架设置有多个倾斜的舢板，舢板表面开设有多个通孔，由于舢板的面积较大，增加了与原料的接触面积，使得原料混合更加充分均匀，增加了原料的流动性，提升反应效率。
21、(2)、该用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备，加热生产完成后，将电动推杆的输出杆移出搅拌轴，然后锁固机构将卡杆移出密封盖，能够将密封盖向下拉动，密封盖带动搅拌轴和固定在搅拌轴两侧的舢板等结构移出内壳体，便于对夹层、内壳体以及舢板等结构进行全方位清理，操作简单快捷，清理更加彻底、洁净。
1.一种用于半导体的硅烷的生产工艺，其特征在于：包括以下步骤：
2.一种根据权利要求1所述的用于半导体的硅烷生产设备，其特征在于：所述釜体(1)内壁顶部的两侧之间固定连接有隔板(11)，且隔板(11)的底部与内壳体(7)的顶部固定连接，所述内壳体(7)的外表面固定连接有加热棒(12)，所述隔板(11)的顶部连通有进料管(13)，所述进料管(13)的顶端贯穿釜体(1)并延伸至釜体(1)的外部。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体的硅烷生产设备，其特征在于：所述电机(2)通过支撑板固定在釜体(1)的顶部，所述搅拌组件包括搅拌轴(14)，所述搅拌轴(14)的底端连通有氢气管(15)，所述搅拌轴(14)的内部开设有空腔(16)，且空腔(16)的底部与氢气管(15)的进气端相连通，所述空腔(16)的正面与背面均开设有出气孔(17)。
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体的硅烷生产设备，其特征在于：所述搅拌轴(14)两侧的顶部与底部均固定连接有支架(18)，两个所述支架(18)相对的一侧之间固定连接有舢板(19)，且舢板(19)的表面开设有通孔(20)，所述支架(18)远离搅拌轴(14)的一侧固定连接有刮板(21)。
5.根据权利要求3所述的一种用于半导体的硅烷生产设备，其特征在于：所述电机(2)输出轴的一端通过联轴器固定连接有固定轴(22)，且固定轴(22)的底部开设有与搅拌轴(14)相适配的安装槽(23)，所述电动推杆(3)固定连接在固定轴(22)的表面，所述电动推杆(3)的输出杆贯穿搅拌轴(14)并延伸至固定轴(22)的内部。
6.根据权利要求3所述的一种用于半导体的硅烷生产设备，其特征在于：所述密封盖(6)设置在釜体(1)的底部，所述搅拌轴(14)的底端与密封盖(6)内壁的底部转动连接，所述釜体(1)外表面的四周均固定连接有l型板(24)，且l型板(24)靠近釜体(1)的一侧与密封盖(6)的外表面活动连接。
7.根据权利要求6所述的一种用于半导体的硅烷生产设备，其特征在于：所述锁固机构(4)包括固定在l型板(24)外侧的筒体(41)，所述筒体(41)内壁的一侧固定连接有马达(42)，且马达(42)输出轴的一端固定连接有丝杆(43)，所述筒体(41)内壁的顶部与底部均滑动连接有滑块(44)，所述卡杆(5)固定在两个滑块(44)相对的一侧之间，所述卡杆(5)的一端开设有与丝杆(43)相适配的螺纹槽(45)，所述卡杆(5)远离丝杆(43)的一端贯穿l型板(24)并延伸至密封盖(6)的内部，所述密封盖(6)的表面开设有与卡杆(5)相适配的卡槽(46)。
8.根据权利要求1所述的一种用于半导体的硅烷生产设备，其特征在于：
