本发明涉及半导体，特别是涉及一种腐蚀处理用霍尔样品夹具及霍尔效应测试仪。
背景技术：
1、随着无线通信技术的发展，伪高电子迁移率场效晶体管(phemt)因具有高速开关及射频放大等特性而受到广泛的研究和应用，phemt器件通常包括帽层和沟道层，由于沟道层中的载流子浓度和迁移率对器件性能起着决定性作用，因此，利用霍尔效应测试对沟道层的载流子浓度和迁移率进行表征，对判断器件质量至关重要。
2、但是，若直接对phemt器件进行霍尔效应测试，表面高掺杂浓度的帽层会显著影响测试结果，导致无法准确反映沟道层载流子浓度和迁移率，因此需要通过腐蚀去除帽层，构造无高掺帽层结构的霍尔样品。
3、在现有的腐蚀处理过程中，利用夹具对小尺寸(1cm*1cm)霍尔样品进行抓夹的过程中，样品容易掉落于腐蚀液内，导致腐蚀过程难以控制。并且，霍尔样品四个角上的金属电极材料易受腐蚀液影响，存在表面被氧化或腐蚀现象，这样会导致经过腐蚀后的霍尔样品在霍尔效应测试过程中难以形成良好的欧姆接触，数次测试结果存在较大误差，对结果的准确性和稳定性造成影响。
技术实现思路
1、基于现有技术中的上述缺陷，本发明的目的在于提供一种霍尔样品夹具，能够稳定夹持霍尔样品，并且能够防止霍尔样品表面的金属电极被腐蚀。
2、为此，本发明提供如下技术方案。
3、本发明提供一种腐蚀处理用霍尔样品夹具，所述霍尔样品夹具包括：
4、支架，其包括相连的固定框和托盘；
5、压紧组件，其包括安装件和至少四个压杆，所述安装件可轴向移动地连接于所述固定框，所述至少四个压杆分别铰接于所述安装件，所述压杆的末端配置有吸盘；
6、驱动组件，其用以驱动所述安装件沿所述轴向移动；
7、其中，当夹持所述霍尔样品时，将所述霍尔样品放置于所述托盘上，四个所述吸盘覆盖于位于所述霍尔样品的四个拐角处的金属电极的上表面，所述驱动组件驱动所述安装件带动所述至少四个压杆向下运动，通过所述吸盘将所述霍尔样品压紧于所述托盘上。
8、优选地，所述驱动组件包括致动件和推动件，所述推动件位于所述致动件的下方且抵接于所述安装件的上端面；
9、当向下按压所述致动件，所述致动件致动所述推动件以推动所述安装件向下移动至压紧位置，所述安装件带动所述至少四个压杆向下压紧所述霍尔样品。
10、优选地，所述致动件设有轮齿部，所述推动件设有多个凸齿；
11、所述驱动组件还包括导向套筒和弹性件，所述导向套筒的内壁设有多个沿其周向依次分布的限位槽和齿槽，所述限位槽沿所述导向套筒的轴向延伸，所述致动件可轴向移动地连接于所述导向套筒内；
12、其中，当所述驱动组件处于初始状态时，所述凸齿限位于所述限位槽内，且其与所述轮齿部相抵但不完全啮合；
13、当所述致动件在外力下向下移动时，其推动所述推动件向下移动，所述轮齿部推动所述凸齿脱离所述限位槽，所述推动件转动至所述凸齿与所述轮齿部完全啮合；
14、当撤去所述致动件上的外力时，在所述弹性件向上的弹力下，所述推动件向上移动至所述凸齿啮合于所述齿槽而止停，此时，所述安装件处于所述压紧位置。
15、优选地，所述导向套筒的内壁设有多个导向斜面，所述限位槽、所述齿槽和所述导向斜面沿所述周向依次分布；
16、当所述压紧组件需要复位时，通过所述致动件向下推动所述推动件，以使得所述凸齿脱离所述齿槽，然后，撤去所述致动件上的外力，在所述弹性件向上的弹力下及在所述凸齿与所述导向斜面的面面配合下，所述凸齿移动至限位于下一个所述限位槽内，所述安装件带动所述至少四个压杆复位。
17、优选地，所述轮齿部包括八个轮齿，所述凸齿的数目为四个且沿其周向均匀地间隔开分布，所述限位槽和所述齿槽的数目均为四个。
18、优选地，所述弹性件为弹簧且套设于所述安装件的外周；所述安装件设有第一抵接部，所述固定框设有第二抵接部，所述弹性件的顶端抵接于所述第一抵接部，其底端抵接于所述第二抵接部。
19、优选地，所述吸盘可转动地连接于所述压杆的末端。
20、优选地，所述固定框的上部设有环状支撑架和安装盒，所述安装盒固定于所述环状支撑架；所述安装件可轴向移动地连接于所述安装盒，所述驱动组件安装于所述安装盒。
21、优选地，所述霍尔样品夹具包括握持部，所述握持部连接于所述驱动组件的致动件的顶端。
22、本发明还提供一种霍尔效应测试仪，包括如上所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具。
23、本发明具有以下技术效果：
24、本发明提供一种霍尔样品夹具，能够稳定夹持霍尔样品，避免霍尔样品在腐蚀处理过程中发生掉落而影响腐蚀效果，并且能够防止金属电极被腐蚀，进而能够提高后续霍尔效应测试结果的准确性和稳定性。
1.一种腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述霍尔样品夹具包括：
2.根据权利要求1所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述驱动组件(3)包括致动件(31)和推动件(32)，所述推动件(32)位于所述致动件(31)的下方且抵接于所述安装件(21)的上端面；
3.根据权利要求2所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述致动件(31)设有轮齿部(311)，所述推动件(32)设有多个凸齿(321)；
4.根据权利要求3所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述导向套筒(33)的内壁设有多个导向斜面(333)，所述限位槽(331)、所述齿槽(332)和所述导向斜面(333)沿所述周向依次分布；
5.根据权利要求3所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述轮齿部(311)包括八个轮齿，所述凸齿(321)的数目为四个且沿其周向均匀地间隔开分布，所述限位槽(331)和所述齿槽(332)的数目均为四个。
6.根据权利要求3所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述弹性件(34)为弹簧且套设于所述安装件(21)的外周；所述安装件(21)设有第一抵接部(211)，所述固定框(11)设有第二抵接部(111)，所述弹性件(34)的顶端抵接于所述第一抵接部(211)，其底端抵接于所述第二抵接部(111)。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述吸盘(23)可转动地连接于所述压杆(22)的末端。
8.根据权利要求1-6中任意一项所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述固定框(11)的上部设有环状支撑架(112)和安装盒(113)，所述安装盒(113)固定于所述环状支撑架(112)；所述安装件(21)可轴向移动地连接于所述安装盒(113)，所述驱动组件(3)安装于所述安装盒(113)。
9.根据权利要求1-6中任意一项所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具，其特征在于，所述霍尔样品夹具包括握持部(4)，所述握持部(4)连接于所述驱动组件(3)的致动件(31)的顶端。
10.一种霍尔效应测试仪，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的腐蚀处理用霍尔样品夹具。
