本技术属于挡板阀，具体涉及一种常闭式结构超高真空气动挡板阀。
背景技术：
1、挡板阀是一种广泛应用于电子、半导体、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域的阀门。现有的超高真空气动挡板阀内部形成了一个相对密闭的空间(内腔)，用压缩空气和弹性件为动力，通过电磁转向阀改变气路方向，推动气缸活塞上下运动，带动阀杆上下运动，使阀芯开启或关闭，从而达到在真空系统中接通或切断气流的目的。
2、但是，在使用期间，发现如下问题：
3、1、现有的超高真空气动挡板阀外形大而笨重；
4、2、阀体法兰面容易在使用过程中造成划伤影响密封性能；
5、3、装配配合精度不够，容易产生装配间隙，使用过程存在异响，使用寿命不高；
6、4、阀体的密封性能差，o型密封圈容易脱落，设计不合理在使用工作时导致产品部件之间的磨损，使产生一定的磁性，在半导体设备中对其使用造成影响；
7、5、产品整体静音效果不佳，噪声大，内部机械磨损严重，维修保养周期短；
8、6、阀门接口开口小，导致气体通过量不够，需要更长的流通时间；
9、7、缸体内部容易进入灰尘等污染物，降低了活塞的密封性能及使用寿命。
技术实现思路
1、针对上述背景技术所提出的问题，本实用新型的目的是：旨在提供一种常闭式结构超高真空气动挡板阀。
2、为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：
3、一种常闭式结构超高真空气动挡板阀，包括阀体，所述阀体底部设有出口法兰，所述阀体侧面设有进口法兰，所述阀体内安装有阀芯，所述阀芯规格尺寸匹配所述出口法兰，所述阀芯内部安装有轴杆，所述轴杆外侧安装有弹簧，所述轴杆外侧套设式安装有限位轴套；
4、所述阀体顶部安装有缸体，所述阀芯与所述缸体下部之间安装有弹性密封罩，所述弹性密封罩位于所述弹簧外侧，所述弹簧和所述弹性密封罩的上端面均与所述缸体的下端面接触，所述缸体内部中心位置下沉伸入所述阀体中，所述缸体输入端设有进气电磁阀，所述轴杆贯穿所述阀体进入所述缸体，所述轴杆于所述缸体内的杆身位置上固定安装有活塞，所述活塞外侧安装有sc双向气缸活塞密封圈，所述进气电磁阀输出端位于所述活塞下侧和所述缸体底部上侧之间；
5、所述缸体内顶部位置安装有气缸压盖，所述轴杆上端部贯穿所述气缸压盖，所述气缸压盖与所述缸体顶部之间形成安装腔，所述安装腔内安装有微动开关，所述缸体外侧安装有与所述微动开关连接的电源保护套，所述轴杆的顶端呈椭圆球头状，所述微动开关的信号接收端与所述轴杆的顶端接触。
6、进一步限定，所述出口法兰和所述进口法兰的端口部设有凸台，这样的设计，起到凸起保护的目的，使得出口法兰和进口法兰的法兰面不易出现划伤、磕碰的问题。
7、进一步限定，所述阀芯的底部设有椭圆异形槽口，所述椭圆异形槽口内挤压式放置有o型密封圈，这样的设计，既能保证o型密封圈不脱落，又能使o型密封圈避开侧向挤压，这种形式的o型密封圈的安装后，侧面完全不受挤压，可达到上下两个密封面的充分接触，使真空密封性能更好，提升o型密封圈的使用寿命。
8、进一步限定，所述缸体与所述弹簧的接触位置为斜锥台，这样的设计，避开弹簧运动时与缸体侧面接触，进而会产生摩擦、磨损，生成金属粉尘或产生磁性。
9、进一步限定，所述进口法兰的内部端口部设有斜切面，这样的设计，在限位轴套的效果下，活塞的行程有限，所以导致阀芯的抬升高度受限，此斜切面增加了阀体的内部空间，从而增大了阀芯上升后气体的气流量。
10、采用本实用新型的有益效果：
11、本实用新型在不改变使用功能性的前提下，扩大了内部空间，使得阀体、缸体在外形尺寸可以进一步的缩小，极致的利用材料的空间把外形尺寸压缩，做成极致简又小巧轻便的阀体和缸体。
1.一种常闭式结构超高真空气动挡板阀，包括阀体(1)，其特征在于：所述阀体(1)底部设有出口法兰(2)，所述阀体(1)侧面设有进口法兰(3)，所述阀体(1)内安装有阀芯(4)，所述阀芯(4)规格尺寸匹配所述出口法兰(2)，所述阀芯(4)内部安装有轴杆(5)，所述轴杆(5)外侧安装有弹簧(6)，所述轴杆(5)外侧套设式安装有限位轴套(7)；
2.根据权利要求1所述的一种常闭式结构超高真空气动挡板阀，其特征在于：所述出口法兰(2)和所述进口法兰(3)的端口部设有凸台(17)。
3.根据权利要求2所述的一种常闭式结构超高真空气动挡板阀，其特征在于：所述阀芯(4)的底部设有椭圆异形槽口(18)，所述椭圆异形槽口(18)内挤压式放置有o型密封圈(19)。
4.根据权利要求3所述的一种常闭式结构超高真空气动挡板阀，其特征在于：所述缸体(8)与所述弹簧(6)的接触位置为斜锥台。
5.根据权利要求4所述的一种常闭式结构超高真空气动挡板阀，其特征在于：所述进口法兰(3)的内部端口部设有斜切面(20)。
