一种半导体刻蚀图形的形成系统及方法与流程

专利2026-08-04  14


本发明涉及刻蚀图形形成系统,尤其涉及一种半导体刻蚀图形的形成系统及方法。


背景技术:

1、半导体(semiconductor)指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料;半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。

2、现有技术中有存在对半导体元器件喷涂蚀刻液来对半导体刻蚀图形,但在喷涂蚀刻液,不方便对元器件进行固定,同时不便对蚀刻液的回收,因此,本发明提出一种半导体刻蚀图形的形成系统及方法,用于解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种半导体刻蚀图形的形成系统及方法,以解决上述背景技术中提出喷涂蚀刻液,不方便对元器件进行固定,同时不便对蚀刻液的回收的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体刻蚀图形的形成系统,包括工作台,所述工作台的顶部固定安装有支架,支架的底部固定安装有等间距排列的多个喷头,工作台的顶部固定安装有安装板,安装板的前侧滑动连接有等间距排列的多个贴合杆,外壳的底部固定安装有外壳,外壳的内侧设有滤网,滤网的右侧固定安装有安装架,安装架与外壳滑动接触,外壳的右侧固定安装有对接板,安装架的右侧固定安装有把手;

3、贴合杆的顶部分别设有定位机构和控制机构,定位机构分别与控制机构和安装板相配合,安装架的右侧设有固定机构,固定机构分别与把手和对接板相配合。

4、借由上述结构,通过将半导体元器件放置在两个贴合杆之间,再调节两个贴合杆之间的间距,就可对元器件进行固定,方便对元器件喷涂蚀刻液,并且洒落的蚀刻液还会掉落到外壳的内侧被收集,同时被滤网过滤,避免杂质与蚀刻液混合,方便回收利用蚀刻液。

5、优选的,所述定位机构包括定位架和带动杆;

6、定位架滑动连接在贴合杆的前侧,定位架与安装板相配合,定位架与带动杆固定连接。

7、进一步地,在定位架与安装板啮合后,定位架就可将安装板与贴合杆连接起来,来在安装板的前侧阻挡贴合杆移动,就可实现对贴合杆的定位,使得贴合杆可稳定的与半导体贴合,对半导体进行稳定的夹持固定。

8、优选的,所述控制机构包括双端伸缩杆、连接杆、滑动块和控制块;

9、双端伸缩杆转动连接在贴合杆的前侧,双端伸缩杆分别与连接杆和带动杆转动连接,连接杆与滑动块固定连接,滑动块滑动连接在贴合杆的前侧,控制块滑动连接在贴合杆的前侧。

10、进一步地,在控制块被推动水平移动后,控制块就可挤动滑动块垂直滑槽,来将连接杆顶起,连接杆就可推动双端伸缩杆转动,使得双端伸缩杆可下压带动杆,使得带动杆可带动定位架下降,带动杆就可带动定位架与安装板脱离,实现对贴合杆的解锁,就可自由的调节贴合杆的位置,来使用多种型号尺寸的半导体。

11、优选的,所述固定机构包括控制杆、连接架、滑动杆、固定架和配合块;

12、控制杆滑动连接在把手的前侧,控制杆与连接架固定连接,连接架与滑动杆相配合,滑动杆与配合块相配合。

13、进一步地,在控制杆被向右侧拉动后,控制杆就可带动连接架向右侧移动,连接架再带动滑动杆在固定架的前侧水平滑槽,此时滑动杆就可通过圆杆与配合块接触,通过圆杆沿着配合块的顶部向右侧滑动,滑动杆就可斜向向右上角移动,来带动固定架向上滑动,使得固定架与对接板脱离,对安装架进行解锁,就可对安装架解锁,将安装架拔出外壳,安装架就可将滤网带出,实现对滤网的拆卸,方便对滤网清洗。

14、优选的,所述定位架的底部固定安装有定位弹簧,定位弹簧的底部固定安装有固定板,固定板固定安装在贴合杆的前侧。

15、进一步地,定位弹簧由于对定位架的位置进行复位,使得定位架可自动的对贴合杆的位置进行复位,使得定位架可自动的对贴合杆的位置进行定位。

16、优选的,所述定位架的顶部固定安装有定位块,安装板的底部开设有等间距排列的多个定位槽,定位块的外侧与定位槽的内壁可脱离式卡接。

17、进一步地,在定位块插入到定位槽的内侧后,定位块就可阻挡贴合杆移动,就可实现对贴合杆的定位。

18、优选的,所述固定架的底部固定安装有对接块,对接块的顶部开设有对接槽,对接块的外侧与对接槽的内壁可脱离式卡接,固定架的顶部固定安装有固定弹簧,固定弹簧的顶部固定安装有固定块,固定块与安装架固定连接,固定块与配合块固定连接。

19、进一步地,在对接块插入到对接槽的内侧后,对接块就可阻挡安装架移动,实现对安装架的定位,固定弹簧用于对固定架的位置进行复位,使得固定架可自动的与对接板啮合,自动的对安装架的位置进行定位。

20、优选的,所述连接架的前侧开设有垂直滑槽,滑动杆的顶部固定安装有圆杆,圆杆的外侧分别与垂直滑槽的内壁和配合块的顶部滑动连接,固定架的前侧开设有带动滑槽,滑动杆的底部与带动滑槽的内壁滑动连接。

21、进一步地,垂直滑槽用于连接滑动杆和连接架,使得连接架在水平移动时可带动滑动杆水平移动,带动滑槽用于滑动杆可在固定架的前侧水平滑动,使得滑动杆在斜向移动时,可带动固定架垂直滑动。

22、优选的,所述贴合杆的左侧和右侧均固定安装有护垫,安装板的前侧开设有等间距排列的多个水平滑槽,贴合杆的后侧与水平滑槽的内壁滑动连接。

23、进一步地,护垫用于贴合杆在对半导体夹持时保护半导体,水平滑槽用于安装贴合杆。

24、本发明还提出了一种半导体刻蚀图形的形成系统的形成方法,包括以下步骤:

25、s1:在需要在半导体的顶部刻蚀图形时,需要先将半导体进行固定;

26、s2:在将半导体放置在两个贴合杆之间,然后再对贴合杆解锁,解锁后控制两个贴合杆相互靠近,对半导体夹持固定;

27、s3:再在半导体上依次铺设图案层和光刻胶层;

28、s4:再通过喷头喷射蚀刻液,对半导体进行刻蚀,刻蚀出需要的图形;

29、s5:多余的蚀刻液就会流入到外壳的内侧,被滤网过滤收集。

30、综上,本发明的技术效果和优点:

31、1、在定位架与安装板啮合后,定位架就可将安装板与贴合杆连接起来,来在安装板的前侧阻挡贴合杆移动,就可实现对贴合杆的定位,使得贴合杆可稳定的与半导体贴合,对半导体进行稳定的夹持固定;

32、2、在控制块被推动水平移动后,控制块就可挤动滑动块垂直滑槽,来将连接杆顶起,连接杆就可推动双端伸缩杆转动,使得双端伸缩杆可下压带动杆,使得带动杆可带动定位架下降,带动杆就可带动定位架与安装板脱离,实现对贴合杆的解锁,就可自由的调节贴合杆的位置,来使用多种型号尺寸的半导体;

33、3、在控制杆被向右侧拉动后,控制杆就可带动连接架向右侧移动,连接架再带动滑动杆在固定架的前侧水平滑槽,此时滑动杆就可通过圆杆与配合块接触,通过圆杆沿着配合块的顶部向右侧滑动,滑动杆就可斜向向右上角移动,来带动固定架向上滑动,使得固定架与对接板脱离,对安装架进行解锁,就可对安装架解锁,将安装架拔出外壳,安装架就可将滤网带出,实现对滤网的拆卸,方便对滤网清洗;

34、本发明通过将半导体元器件放置在两个贴合杆之间,再调节两个贴合杆之间的间距,就可对元器件进行固定,方便对元器件喷涂蚀刻液,并且洒落的蚀刻液还会掉落到外壳的内侧被收集,同时被滤网过滤,避免杂质与蚀刻液混合,方便回收利用蚀刻液。


技术特征:

1.一种半导体刻蚀图形的形成系统,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的顶部固定安装有支架(2),支架(2)的底部固定安装有等间距排列的多个喷头(3),工作台(1)的顶部固定安装有安装板(4),安装板(4)的前侧滑动连接有等间距排列的多个贴合杆(5),外壳(15)的底部固定安装有外壳(15),外壳(15)的内侧设有滤网(16),滤网(16)的右侧固定安装有安装架(17),安装架(17)与外壳(15)滑动接触,外壳(15)的右侧固定安装有对接板(22),安装架(17)的右侧固定安装有把手(18);

2.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述定位机构包括定位架(7)和带动杆(10);

3.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述控制机构包括双端伸缩杆(11)、连接杆(12)、滑动块(13)和控制块(14);

4.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述固定机构包括控制杆(19)、连接架(20)、滑动杆(21)、固定架(23)和配合块(26);

5.根据权利要求2所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述定位架(7)的底部固定安装有定位弹簧(8),定位弹簧(8)的底部固定安装有固定板(9),固定板(9)固定安装在贴合杆(5)的前侧。

6.根据权利要求2所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述定位架(7)的顶部固定安装有定位块,安装板(4)的底部开设有等间距排列的多个定位槽,定位块的外侧与定位槽的内壁可脱离式卡接。

7.根据权利要求4所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述固定架(23)的底部固定安装有对接块,对接块的顶部开设有对接槽,对接块的外侧与对接槽的内壁可脱离式卡接,固定架(23)的顶部固定安装有固定弹簧(24),固定弹簧(24)的顶部固定安装有固定块(25),固定块(25)与安装架(17)固定连接,固定块(25)与配合块(26)固定连接。

8.根据权利要求4所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述连接架(20)的前侧开设有垂直滑槽,滑动杆(21)的顶部固定安装有圆杆,圆杆的外侧分别与垂直滑槽的内壁和配合块(26)的顶部滑动连接,固定架(23)的前侧开设有带动滑槽,滑动杆(21)的底部与带动滑槽的内壁滑动连接。

9.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀图形的形成系统,其特征在于,所述贴合杆(5)的左侧和右侧均固定安装有护垫(6),安装板(4)的前侧开设有等间距排列的多个水平滑槽,贴合杆(5)的后侧与水平滑槽的内壁滑动连接。

10.一种半导体刻蚀图形的形成系统的形成方法,其特征在于,包括以下步骤:


技术总结
本发明公开了一种半导体刻蚀图形的形成系统及方法,涉及到刻蚀图形形成系统技术领域,其半导体刻蚀图形的形成系统包括工作台,所述工作台的顶部固定安装有支架,支架的底部固定安装有等间距排列的多个喷头,工作台的顶部固定安装有安装板,安装板的前侧滑动连接有等间距排列的多个贴合杆,外壳的底部固定安装有外壳,外壳的内侧设有滤网,滤网的右侧固定安装有安装架,本发明通过将半导体元器件放置在两个贴合杆之间,再调节两个贴合杆之间的间距,就可对元器件进行固定,方便对元器件喷涂蚀刻液,并且洒落的蚀刻液还会掉落到外壳的内侧被收集,同时被滤网过滤,避免杂质与蚀刻液混合,方便回收利用蚀刻液。

技术研发人员:郭海侠
受保护的技术使用者:杭州泽达半导体有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/6/26
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