本技术涉及可用于硅片与玻璃在键合前进行预对准贴合的方法领域，尤其涉及一种硅片和玻璃预对准装置。
背景技术：
1、硅片和玻璃预对准装置是在半导体制造过程中用于对准和定位硅片与玻璃基板的关键技术之一。在半导体制造中，硅片被用作芯片的基底，在芯片制作过程中，需要将其他材料层沉积在硅片上。现在大多数玻璃与硅片的对准都是在显微镜下进行手工对片。
2、手动对准通常需要较长的时间进行调整和优化，特别是对于高精度的对准要求，可能需要多次尝试和调整才能达到要求的精度。这会增加生产过程的时间消耗，降低效率，同时显微镜下进行手工对片，无高精度调整平台，对准精度差，不易操作。为此提出一种硅片和玻璃预对准装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种硅片和玻璃预对准装置，旨在改善了显微镜下进行手工对片，无高精度调整平台，对准精度差，不易操作的问题。
2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅片和玻璃预对准装置，包括四轴光学微调平台，所述四轴光学微调平台右侧上部固定连接有第一旋钮，所述四轴光学微调平台前侧中部固定连接有第二旋钮,所述四轴光学微调平台前侧底部固定连接有第四旋钮，所述四轴光学微调平台左侧中部固定连接有第三旋钮，所述四轴光学微调平台顶侧中部固定连接有承片台，所述四轴光学微调平台底侧固定连接有底板，所述底板上侧后部固定连接有支杆，所述支杆外侧中部固定连接有玻璃固定台。
3、作为上述技术方案的进一步描述：
4、所述承片台上侧中部开设有多个均匀分布的通气孔，所述承片台后侧中部设置有侧端气源接口，所述侧端气源接口连接有真空泵。
5、作为上述技术方案的进一步描述：
6、所述第一旋钮用以控制承片台z轴方向运动，所述第二旋钮用以控制承片台x轴方向运动，所述第三旋钮用以控制承片台y轴方向运动，所述第四旋钮用以控制承片台径向旋转运动。
7、作为上述技术方案的进一步描述：
8、所述支杆外侧上部滑动连接有电子显微镜，所述电子显微镜通过数据线连接有显示屏幕，所述电子显微镜用于拍摄玻璃，以便所述显示屏幕能实时显示硅片相对于玻璃的位置。
9、作为上述技术方案的进一步描述：
10、所述玻璃固定台的圆环底部装有四个吸盘，所述玻璃固定台上的吸盘连通真空将玻璃圆片吸附固定。
11、作为上述技术方案的进一步描述：
12、所述电子显微镜镜头中心与玻璃固定台的圆环中心保持同轴。
13、作为上述技术方案的进一步描述：
14、所述通气孔连通真空将硅片吸附固定在承片台上。
15、本实用新型具有如下有益效果：
16、本实用新型中，设有四轴光学微调平台和电子显微镜，通过第一旋钮、第二旋钮、第三旋钮和第四旋钮对硅片的xyz轴方向和z轴角度调节，通过显微镜和显示屏幕显示位置，可以更精准且快速的将硅片和玻璃进行对准贴合，通过高纯去离子水的密合，使硅片和玻璃键合前贴合更紧实。
1.一种硅片和玻璃预对准装置，包括四轴光学微调平台(1)，其特征在于：所述四轴光学微调平台(1)右侧上部固定连接有第一旋钮(11)，所述四轴光学微调平台(1)前侧中部固定连接有第二旋钮(12),所述四轴光学微调平台(1)前侧底部固定连接有第四旋钮(14)，所述四轴光学微调平台(1)左侧中部固定连接有第三旋钮(13)，所述四轴光学微调平台(1)顶侧中部固定连接有承片台(2)，所述四轴光学微调平台(1)底侧固定连接有底板(3)，所述底板(3)上侧后部固定连接有支杆(4)，所述支杆(4)外侧中部固定连接有玻璃固定台(5)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片和玻璃预对准装置，其特征在于：所述承片台(2)上侧中部开设有多个均匀分布的通气孔(9)，所述承片台(2)后侧中部设置有侧端气源接口(8)，所述侧端气源接口(8)连接有真空泵。
3.根据权利要求1所述的一种硅片和玻璃预对准装置，其特征在于：所述第一旋钮(11)用以控制承片台(2)z轴方向运动，所述第二旋钮(12)用以控制承片台(2)x轴方向运动，所述第三旋钮(13)用以控制承片台(2)y轴方向运动，所述第四旋钮(14)用以控制承片台(2)径向旋转运动。
4.根据权利要求1所述的一种硅片和玻璃预对准装置，其特征在于：所述支杆(4)外侧上部滑动连接有电子显微镜(6)，所述电子显微镜(6)通过数据线连接有显示屏幕(7)，所述电子显微镜(6)用于拍摄玻璃，以便所述显示屏幕(7)能实时显示硅片相对于玻璃的位置。
5.根据权利要求1所述的一种硅片和玻璃预对准装置，其特征在于：所述玻璃固定台(5)的圆环底部装有四个吸盘(10)，所述玻璃固定台(5)上的吸盘(10)连通真空将玻璃圆片吸附固定。
6.根据权利要求4所述的一种硅片和玻璃预对准装置，其特征在于：所述电子显微镜(6)镜头中心与玻璃固定台(5)的圆环中心保持同轴。
7.根据权利要求2所述的一种硅片和玻璃预对准装置，其特征在于：所述通气孔(9)连通真空将硅片吸附固定在承片台(2)上。
