本技术涉及脉冲偏压电源,具体为一种具有散热结构的脉冲偏压电源。
背景技术:
1、脉冲偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负或正偏压,偏压电源在多弧离子和磁控溅射镀膜技术中都要使用。只是由于磁控溅射的离化率远低于多弧离子镀,所需偏压电源的功率更小。目前有许多设备既配备磁控溅射靶,也配有多弧靶,选择偏压电源功率时,要以多支工作时的要求来定。早期的偏压电压主要是用可控硅技术的直流偏压电源,现在多为采用高频逆变技术制造的单极性、直流叠加脉冲和双极性脉冲偏压电源,随着时代的发展,脉冲偏压电源也是非常的普及了。
2、但是现在市场上出现的脉冲偏压电源使用起来并不是很便捷,市面上的脉冲偏压电源没有一个扇热结构,无法为脉冲偏压电源提供一个好的散热环境,其电源内部产生高温不易驱散,从而导致内部易产生故障,这也增加了人们对其维修保养的次数,同时增加了脉冲偏压电源使用成本,从而也会降低设备的工作效率,不利于脉冲偏压电源的长期使用。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种具有散热结构的脉冲偏压电源,具备散热的功能,解决了上述背景技术中的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有散热结构的脉冲偏压电源,包括外部框(1),所述外部框(1)的一侧固定连接有电机(2),所述电机(2)的输出轴通过联轴器固定连接有旋转扇叶(3),所述外部框(1)的内部固定连接有升降柱(4),所述升降柱(4)的底端固定连接有压板(5)。
5、所述压板(5)活动连接有脉冲电源设备(6),所述外部框(1)的一侧固定连接有合页(7),所述合页(7)的一侧固定连接有框门(8),所述框门(8)的正面固定连接有框把手(9),为脉冲偏压电源提供了一个散热的结构,可以为脉冲偏压电源提供一个好的散热环境,减少了因为内部热量过高而导致的设备故障问题,也减少了人们对其进行维修保养的次数,降低了脉冲偏压电源整体的使用成本,减少了故障的情况也增加了设备的工作效率,有利于脉冲偏压电源的长期使用。
6、更进一步的,所述外部框(1)的顶部活动连接有旋转螺栓(10),所述旋转螺栓(10)的外壁活动连接有连接凸块(11),方便了结构整体连接其他设备,且方便了拆卸。
7、更进一步的,所述连接凸块(11)的一侧固定连接有限位栓(12),所述限位栓(12)的外壁活动连接有提拉把手(13),为结构整体提供了一个着力点,方便了结构整体的移动。
8、更进一步的,所述框门(8)通过合页(7)与外部框(1)的一侧活动连接,且框门(8)的正面设置有矩形开口,方便了与外部线路进行连接。
9、更进一步的,所述电机(2)的输出轴通过联轴器穿过外部框(1)与旋转扇叶(3)的一端固定连接,且外部框(1)的外侧均设置有矩形开口,有利于结构内部的空气流通,为内部的扇热提供了条件。
10、更进一步的,所述升降柱(4)通过压板(5)与脉冲电源设备(6)活动连接,且压板(5)的长度与宽度均小于脉冲电源设备(6)的长度与宽度,方便了将脉冲电源设备(6)固定,有利于结构整体位移时的稳定。
11、有益效果
12、与现有技术相比,本实用新型提供了一种具有散热结构的脉冲偏压电源,具备以下有益效果:
13、1、该具有散热结构的脉冲偏压电源,通过设置的外部框、电机、旋转扇叶、升降柱、压板、脉冲电源设备、合页、框门、框把手,为脉冲偏压电源提供了一个散热的结构,可以为脉冲偏压电源提供一个好的散热环境,减少了因为内部热量过高而导致的设备故障问题,也减少了人们对其进行维修保养的次数,降低了脉冲偏压电源整体的使用成本,减少了故障的情况也增加了设备的工作效率,有利于脉冲偏压电源的长期使用。
14、2、该具有散热结构的脉冲偏压电源,通过设置的旋转螺栓、连接凸块、限位栓和提拉把手,为脉冲偏压电源整体的移动提供了一个着力点,方便了人们对其进行不同工作地点之间的相互转换,有利于脉冲偏压电源整体的长距离移动,加快了人们的工作效率。
1.一种具有散热结构的脉冲偏压电源,包括外部框(1),其特征在于:所述外部框(1)的一侧固定连接有电机(2),所述电机(2)的输出轴通过联轴器固定连接有旋转扇叶(3),所述外部框(1)的内部固定连接有升降柱(4),所述升降柱(4)的底端固定连接有压板(5);
2.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述外部框(1)的顶部活动连接有旋转螺栓(10),所述旋转螺栓(10)的外壁活动连接有连接凸块(11)。
3.根据权利要求2所述的一种具有散热结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述连接凸块(11)的一侧固定连接有限位栓(12),所述限位栓(12)的外壁活动连接有提拉把手(13)。
4.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述框门(8)通过合页(7)与外部框(1)的一侧活动连接,且框门(8)的正面设置有矩形开口。
5.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述电机(2)的输出轴通过联轴器穿过外部框(1)与旋转扇叶(3)的一端固定连接,且外部框(1)的外侧均设置有矩形开口。
6.根据权利要求1所述的一种具有散热结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述升降柱(4)通过压板(5)与脉冲电源设备(6)活动连接,且压板(5)的长度与宽度均小于脉冲电源设备(6)的长度与宽度。
