本技术涉及显示装置制造，尤其涉及一种上电极以及化学气相沉积设备。
背景技术：
1、随着半导体技术的发展，等离子体增强化学气相沉积(plasma enhancedchemical vapor deposition，pecvd)装置的开发和使用日益广泛。该装置利用辉光放电使化学气体电离后在玻璃基板上形成薄膜结构。参照图1所示，现有的一种化学气相沉积装置，包括壳体、上电极和下电极。其中，壳体内具有用于对显示面板进行镀膜处理的沉积腔室。上电极安装在沉积腔室的顶部，下电极安装在沉积腔室的底部。显示面板放置在下电极上。上电极用于朝向显示面板喷射化学气体。上电极包括电极板1′、扩散板2′、侧板3′和连接件4′。电极板1′和扩散板2′沿竖直方向间隔设置，电极板1′和扩散板2′之间通过连接件4′连接固定。侧板3′围设在电极板1′和扩散板2′的周部，并使电极板1′、扩散板2′和侧板3′之间围成用于容纳化学气体的容纳腔。扩散板2′上开设有多个均匀分布的喷射孔21′，化学气体通过气管输入至容纳腔内，电极板1′将化学气体电离后，含有等离子体的化学气体通过喷射孔21′喷射至显示面板表面。
2、现有技术存在以下不足：由于化学气体会沉积在容纳腔内，需要对上电极进行定期拆卸清理。电极板1′与扩散板2′通过多个连接件4′连接固定，连接件4′为螺杆，螺杆的两端分别与电极板1′和扩散板2′连接。在装配上电极时，多个连接件4′需保持平行，以保证装配后的电极板1′与扩散板2′保持平行。实际操作中，作业人员在安装连接件4′时需要借助测量工具对每个连接件4′进行逐个测量，以使连接件4′与电极板1′垂直。该方式造成安装流程复杂，安装效率低。同时，由于每个连接件4′为独立进行测量，受测量误差影响很难保证所有的连接件4′保持平行状态。
技术实现思路
1、本实用新型的一个目的在于提出一种上电极，其安装效率高，便于控制电极板和扩散板之间的平行度。
2、本实用新型的另一个目的在于提出一种化学气相沉积设备，其镀膜质量好。
3、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
4、提供的一种上电极，包括电极板、扩散板、侧板、连接组件和导向组件，所述电极板与所述扩散板沿第一方向平行且间隔设置，所述侧板围设于所述电极板和所述扩散板的周部，并使所述电极板、所述扩散板和所述侧板之间围成用于容纳化学气体的第一容纳腔，所述导向组件位于所述第一容纳腔内，所述导向组件包括多个平行且间隔设置的导向筒，多个所述导向筒之间通过固定杆连接为一体，所述导向筒贯穿开设有导向孔，所述导向孔的轴线平行于所述第一方向，所述连接组件包括多个连杆，多个所述连杆与多个所述导向筒一一对应设置，所述连杆穿设于对应的所述导向孔，所述连杆的两端分别与所述电极板和所述扩散板可拆卸连接。
5、作为上电极的一种优选方案，多个所述导向筒呈环形分布，沿所述导向组件的圆周方向，相邻两个所述导向筒之间通过所述固定杆连接固定。
6、作为上电极的一种优选方案，所述导向组件还包括多个支撑腿，所述支撑腿的一端与所述固定杆连接，另一端用于与扩散板抵接。
7、作为上电极的一种优选方案，所述导向筒上设置有卡扣，所述连杆的周部设置有与所述卡扣卡接配合的卡槽。
8、作为上电极的一种优选方案，所述卡扣包括滚珠和弹簧，所述导向孔的孔壁上设置有安装槽，所述弹簧的一端与所述安装槽的槽底连接，另一端与所述滚珠连接，所述滚珠背离所述弹簧的一端用于与所述卡槽卡接。
9、作为上电极的一种优选方案，所述连接组件还包括螺帽，所述电极板上贯穿开设有安装孔，所述连杆的第一端穿设于所述安装孔并与所述螺帽螺纹连接。
10、作为上电极的一种优选方案，所述电极板的中心位置设置有用于输送所述化学气体的气管，所述气管与所述第一容纳腔连通，多个所述安装孔沿所述气管的圆周方向间隔分布。
11、作为上电极的一种优选方案，所述连杆的第二端设置有限位件，所述限位件的长度沿所述连杆的径向延伸，所述扩散板上设置有底座，所述底座上转动设置有锁定部，所述锁定部内具有第二容纳腔，所述锁定部的顶面开设有用于穿设所述连杆的第一孔和用于穿设所述限位件的第二孔，所述第一孔和所述第二孔相互连通并与所述第二容纳腔连通，所述限位件能够穿过所述第二孔并卡紧在所述第二容纳腔内。
12、作为上电极的一种优选方案，所述连接组件还包括盖板，所述盖板套设于所述连杆的周部，所述盖板用于盖设在所述第二孔上。
13、还提供一种化学气相沉积设备，包括壳体、下电极和上电极，所述壳体内具有用于镀膜处理的沉积腔室，所述上电极与所述下电极沿竖直方向间隔设置于所述沉积腔室内，所述下电极用于承载显示面板，所述上电极位于所述下电极的上方，所述上电极用于向所述显示面板喷射化学气体。
14、本实用新型相比于现有技术的有益效果：
15、本实用新型的上电极以及化学气相沉积设备，通过设置导向组件，导向组件包括多个导向筒，且多个导向筒相互平行。安装连接组件时，连杆穿设于对应的导向筒内，在导向筒的导向作用下，使得所有的连杆能够保持平行状态。当所有的连杆平行时，即可保证电极板和扩散板之间能够保持平行。进而使得扩散板上各个喷射孔对应区域内的化学气体被电极板等离子化的效果相近，以保证化学气体在整个显示面板上的沉积厚度更加均匀。同时，在导向组件的导向作用下，无需对连杆进行测量，有利于简化安装流程，提高安装效率。
1.一种上电极，其特征在于，包括电极板、扩散板、侧板、连接组件和导向组件，所述电极板与所述扩散板沿第一方向平行且间隔设置，所述侧板围设于所述电极板和所述扩散板的周部，并使所述电极板、所述扩散板和所述侧板之间围成用于容纳化学气体的第一容纳腔，所述导向组件位于所述第一容纳腔内，所述导向组件包括多个平行且间隔设置的导向筒，多个所述导向筒之间通过固定杆连接为一体，所述导向筒贯穿开设有导向孔，所述导向孔的轴线平行于所述第一方向，所述连接组件包括多个连杆，多个所述连杆与多个所述导向筒一一对应设置，所述连杆穿设于对应的所述导向孔，所述连杆的两端分别与所述电极板和所述扩散板可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的上电极，其特征在于，多个所述导向筒呈环形分布，沿所述导向组件的圆周方向，相邻两个所述导向筒之间通过所述固定杆连接固定。
3.根据权利要求2所述的上电极，其特征在于，所述导向组件还包括多个支撑腿，所述支撑腿的一端与所述固定杆连接，另一端用于与扩散板抵接。
4.根据权利要求1所述的上电极，其特征在于，所述导向筒上设置有卡扣，所述连杆的周部设置有与所述卡扣卡接配合的卡槽。
5.根据权利要求4所述的上电极，其特征在于，所述卡扣包括滚珠和弹簧，所述导向孔的孔壁上设置有安装槽，所述弹簧的一端与所述安装槽的槽底连接，另一端与所述滚珠连接，所述滚珠背离所述弹簧的一端用于与所述卡槽卡接。
6.根据权利要求1所述的上电极，其特征在于，所述连接组件还包括螺帽，所述电极板上贯穿开设有安装孔，所述连杆的第一端穿设于所述安装孔并与所述螺帽螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的上电极，其特征在于，所述电极板的中心位置设置有用于输送所述化学气体的气管，所述气管与所述第一容纳腔连通，多个所述安装孔沿所述气管的圆周方向间隔分布。
8.根据权利要求1所述的上电极，其特征在于，所述连杆的第二端设置有限位件，所述限位件的长度沿所述连杆的径向延伸，所述扩散板上设置有底座，所述底座上转动设置有锁定部，所述锁定部内具有第二容纳腔，所述锁定部的顶面开设有用于穿设所述连杆的第一孔和用于穿设所述限位件的第二孔，所述第一孔和所述第二孔相互连通并与所述第二容纳腔连通，所述限位件能够穿过所述第二孔并卡紧在所述第二容纳腔内。
9.根据权利要求8所述的上电极，其特征在于，所述连接组件还包括盖板，所述盖板套设于所述连杆的周部，所述盖板用于盖设在所述第二孔上。
10.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括壳体、下电极和如权利要求1至9任一项所述的上电极，所述壳体内具有用于镀膜处理的沉积腔室，所述上电极与所述下电极沿竖直方向间隔设置于所述沉积腔室内，所述下电极用于承载显示面板，所述上电极位于所述下电极的上方，所述上电极用于向所述显示面板喷射化学气体。
