一种12寸边缘剥离机的制作方法

1.本发明涉及剥离机技术领域，特别涉及一种12寸边缘剥离机。


背景技术：

2.12寸边缘剥离机是主要应用于12寸半导体硅片的边缘刻蚀加工。包含有foup1oadport,pre
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ahgner,wtr机械手,三坐标机械模组,buffer位,刻蚀槽,水洗槽,甩干位,储酸槽。主要工作流程为foup loadport接收人工及自动化设备(agv或oht)输送来的foup,刻蚀机接收人工或主控制系统的工艺清洗要求。
3.现有的剥离机存在以下缺点：1、剥离机不能通过氮气实现预先干燥，去除酸液；2、不具有定量添加酸液和酸液混合的效果。为此，我们提出一种12寸边缘剥离机。


技术实现要素：

4.本发明的主要目的在于提供一种12寸边缘剥离机，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
6.一种12寸边缘剥离机，包括外壳体、平移机械臂和酸液箱，所述外壳体一端通过螺栓安装有酸液箱，所述酸液箱的一侧通过螺钉安装有搅拌电机，所述酸液箱的顶部通过螺钉安装有计量泵，所述外壳体的内部通过底部安装架及螺栓安装有平移机械臂，所述平移机械臂的一端通过限位架设置有刻蚀槽，所述平移机械臂的另一端通过定位座设置有清洗槽，所述清洗槽的一侧通过挂架设置有氮气罐，所述氮气罐的一端通过螺钉安装有电磁阀，所述清洗槽内壁一端通过螺钉安装有喷气头，所述清洗槽的内壁两侧通过螺钉安装有光电对射开关，所述清洗槽的一端设置有甩干槽。
7.进一步地，所述氮气罐与喷气头之间通过输气管相连，且输气管上设置有电磁阀。
8.进一步地，所述光电对射开关的输出端与电磁阀的输入端通过导线相连。
9.进一步地，所述计量泵的输入端位于酸液箱内，所述计量泵的输出端通过管道与清洗槽相连。
10.进一步地，所述计量泵的一端设置有添加口，所述搅拌电机的输出轴连接搅拌叶，且搅拌叶位于酸液箱内。
11.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
12.1.本发明一种12寸边缘剥离机，利用平移机械臂将12寸半导体硅片抓取到刻蚀槽内，利用刻蚀槽对半导体硅片的边缘刻蚀加工。
13.2.本发明一种12寸边缘剥离机，雕刻完成后将工件转移到清洗槽内，将清洗液和酸液从添加口加入到酸液箱内，开启搅拌电机带动搅拌叶转动，快速将酸液混合均匀，利用计量泵定量将酸液抽到清洗槽内对雕刻后的半导体硅片进行清洗。
14.3.本发明一种12寸边缘剥离机，清洗完成后，将半导体硅片移动到光电对射开关之间，触发电磁阀开启，使喷气头喷射氮气对工件进行干燥，有效降低酸液残留，最终利用
甩干槽再次甩干。
附图说明
15.图1为本发明一种12寸边缘剥离机的整体结构示意图。
16.图2为本发明一种12寸边缘剥离机的搅拌叶结构示意图。
17.图中：1、外壳体；2、甩干槽；3、氮气罐；4、电磁阀；5、酸液箱；6、计量泵；7、搅拌电机；8、添加口；9、喷气头；10、光电对射开关；11、平移机械臂；12、刻蚀槽；13、搅拌叶；14、清洗槽。
具体实施方式
18.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
19.如图1
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2所示，一种12寸边缘剥离机，包括外壳体1、平移机械臂11和酸液箱5，所述外壳体1一端通过螺栓安装有酸液箱5，所述酸液箱5的一侧通过螺钉安装有搅拌电机7，所述酸液箱5的顶部通过螺钉安装有计量泵6，所述外壳体1的内部通过底部安装架及螺栓安装有平移机械臂11，所述平移机械臂11的一端通过限位架设置有刻蚀槽12，所述平移机械臂11的另一端通过定位座设置有清洗槽14，所述清洗槽14的一侧通过挂架设置有氮气罐3，所述氮气罐3的一端通过螺钉安装有电磁阀4，所述清洗槽14内壁一端通过螺钉安装有喷气头9，所述清洗槽14的内壁两侧通过螺钉安装有光电对射开关10，所述清洗槽14的一端设置有甩干槽2。
20.其中，所述氮气罐3与喷气头9之间通过输气管相连，且输气管上设置有电磁阀4。
21.其中，所述光电对射开关10的输出端与电磁阀4的输入端通过导线相连。
22.本实施例中如图1所示，将半导体硅片移动到光电对射开关10之间，触发电磁阀4开启，使喷气头9喷射氮气对工件进行干燥。
23.其中，所述计量泵6的输入端位于酸液箱5内，所述计量泵6的输出端通过管道与清洗槽14相连。
24.本实施例中如图1所示，利用计量泵6定量将酸液抽到清洗槽14内对雕刻后的半导体硅片进行清洗。
25.其中，所述计量泵6的一端设置有添加口8，所述搅拌电机7的输出轴连接搅拌叶13，且搅拌叶13位于酸液箱5内。
26.本实施例中如图2所示，开启搅拌电机7带动搅拌叶13转动，快速将酸液混合均匀。
27.需要说明的是，本发明为一种12寸边缘剥离机，工作时，利用平移机械臂11将12寸半导体硅片抓取到刻蚀槽12内，利用刻蚀槽12对半导体硅片的边缘刻蚀加工，雕刻完成后将工件转移到清洗槽14内，将清洗液和酸液从添加口8加入到酸液箱5内，开启搅拌电机7带动搅拌叶13转动，快速将酸液混合均匀，利用计量泵6定量将酸液抽到清洗槽14内对雕刻后的半导体硅片进行清洗，清洗完成后，将半导体硅片移动到光电对射开关10之间，触发电磁阀4开启，使喷气头9喷射氮气对工件进行干燥，有效降低酸液残留，最终利用甩干槽2再次甩干。
28.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术
人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.一种12寸边缘剥离机，包括外壳体(1)、平移机械臂(11)和酸液箱(5)，其特征在于：所述外壳体(1)一端通过螺栓安装有酸液箱(5)，所述酸液箱(5)的一侧通过螺钉安装有搅拌电机(7)，所述酸液箱(5)的顶部通过螺钉安装有计量泵(6)，所述外壳体(1)的内部通过底部安装架及螺栓安装有平移机械臂(11)，所述平移机械臂(11)的一端通过限位架设置有刻蚀槽(12)，所述平移机械臂(11)的另一端通过定位座设置有清洗槽(14)，所述清洗槽(14)的一侧通过挂架设置有氮气罐(3)，所述氮气罐(3)的一端通过螺钉安装有电磁阀(4)，所述清洗槽(14)内壁一端通过螺钉安装有喷气头(9)，所述清洗槽(14)的内壁两侧通过螺钉安装有光电对射开关(10)，所述清洗槽(14)的一端设置有甩干槽(2)。2.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述氮气罐(3)与喷气头(9)之间通过输气管相连，且输气管上设置有电磁阀(4)。3.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述光电对射开关(10)的输出端与电磁阀(4)的输入端通过导线相连。4.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述计量泵(6)的输入端位于酸液箱(5)内，所述计量泵(6)的输出端通过管道与清洗槽(14)相连。5.根据权利要求1所述的一种12寸边缘剥离机，其特征在于：所述计量泵(6)的一端设置有添加口(8)，所述搅拌电机(7)的输出轴连接搅拌叶(13)，且搅拌叶(13)位于酸液箱(5)内。
技术总结
本发明公开了一种12寸边缘剥离机，包括外壳体、平移机械臂和酸液箱，所述外壳体一端通过螺栓安装有酸液箱，所述酸液箱的一侧通过螺钉安装有搅拌电机，所述酸液箱的顶部通过螺钉安装有计量泵，所述外壳体的内部通过底部安装架及螺栓安装有平移机械臂，所述平移机械臂的一端通过限位架设置有刻蚀槽，所述平移机械臂的另一端通过定位座设置有清洗槽，所述清洗槽的一侧通过挂架设置有氮气罐，所述氮气罐的一端通过螺钉安装有电磁阀，所述清洗槽内壁一端通过螺钉安装有喷气头。该新型剥离机能通过氮气实现预先干燥，去除酸液，具有定量添加酸液和酸液混合的效果，适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。


技术研发人员：马胜南
受保护的技术使用者：南轩（天津）科技有限公司
技术研发日：2021.03.26
技术公布日：2021/6/29