一种圆晶自动去胶机的加热组件的制作方法

专利2022-05-09  27


本实用新型涉及安装防护技术领域,具体为一种圆晶自动去胶机的加热组件。



背景技术:

去胶机通常采用将大功率射频电源加在笼式电极上,在电极与反应腔内壁之间产生辉光放电,辉光区域内的工艺气体被电离成为带电等离子体,利用等离子体与材料表面相互作用,达到光刻胶的剥离,材料表面处理及改性等效果。

传统的去胶机去胶往往采用的是加热的方式进行去胶,通过对胶体进行加热,使得胶体软化,再进行下一步得去胶,这种传统的去胶方式方便简单,使用方便,且去除胶体的成本较小,在前期去胶中使用十分广泛,然而胶机内部的加热装置在设置上存在着一定的问题:

传统的去胶机的加热装置通常采用螺旋缠绕的金属线圈进行通电加热,通过加热线圈电阻产生的热量对胶体进行加热,然而这种加热的方式的使得金属线圈直接裸露在外部,没有有效的对线圈保护的装置,在加热过程中由于线圈温度过高存在烫伤操作者的风险,安全系数不高。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种圆晶自动去胶机的加热组件固定用加强机构,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种圆晶自动去胶机的加热组件,包括防护构件;所述的防护构件的内部固定卡接有固定板,所述的固定板的内部安装有用于加热的加热线圈。

优选的,所述的防护构件包括安装防护环与防护环板,所述的安装防护环的外壁上设置有多组安装槽口,所述的固定板贯穿所述的安装槽口固定在所述的安装防护环的外壁上,所述的防护环板环形套接在所述的固定板的外部,所述的固定板的内部设置有穿孔,所述的加热线圈穿过所述的穿孔固定在所述的固定板的内部,且所述的加热线圈在固定板的内部设置有多组。

优选的,所述的固定板的两端固定连接有固定件,所述的固定件的内侧抵接在所述的安装防护环的外壁上,所述的固定件的上下端卡接在所述的安装槽口的上下端,且所述的固定件内侧与穿过固定板的外端固定连接。

优选的,所述的固定板采用的绝热硬性固定材质,具体为一种气凝胶毡。

优选的,所述的安装防护环内壁还连接有隔断板,所述的隔断板的内部也设置有穿孔,所述的加热线圈穿过隔断板内部的穿孔固定,且隔断板的前端与防护环板的外壁相互抵接,所述的隔断板的外端穿过所述的安装槽口固定在安装防护环的外壁上。

优选的,所述的安装防护环采用的是硬性绝热材质,具体为岩棉材质。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、通过在加热线圈的外部设置安装防护环以及固定板,使得固定板与安装防护环之间形成稳定保护套件,将加热线圈保护在防护构件的内部,同时通过硬性绝热材质的安装防护环以及软性材质的固定板对加热线圈进行保护,同时避免加热线圈在加热过程中烫伤他人,同时采用软性材质的固定板,使得加热线圈固定在固定板内部进行绝热的同时避免固定板损坏加热线圈,保证加热线圈能够正常加热使用。

2、通过设置隔断板,使得防护构件对加热线圈进行进一步的固定,保证加热线圈能够稳定固定在防护构件的内部,且通过穿孔的设置,使得内部多组加热线圈之间分开安装在防护构件的内部,避免加热线圈之间发生接触,导致加热线圈损坏。

附图说明

图1为本实用新型防护构件与加热线圈之间组合连接结构示意图;

图2为本实用新型安装防护环与固定板以及防护环板之间组合连接结构示意图;

图3为本实用新型安装防护环与固定板之间组合连接结构示意图;

图4为本实用新型安装防护环整体外部连接结构示意图;

图5为本实用新型加热线圈与防护构件之间组合连接的俯视结构示意图;

图6为本实用新型固定板的整体连接结构示意图。

图中:10、加热线圈;

20、防护构件;21、固定板;211、穿孔;212、固定件;213、隔断板;

22、防护环板;23、安装防护环;231、安装槽口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-6,图示中的:一种圆晶自动去胶机的加热组件,包括防护构件20;所述的防护构件20的内部固定卡接有固定板21,所述的固定板21的内部安装有用于加热的加热线圈10,通过加热的加热线圈10去胶机去胶进行加工,所述的防护构件20包括安装防护环23与防护环板22,所述的安装防护环23的外壁上设置有多组安装槽口231,通过安装槽口231安装固定板21,同时方便进行整体的安装与拆卸,所述的固定板21贯穿所述的安装槽口231固定在所述的安装防护环23的外壁上,通过安装槽口231的设置使得固定板21能够卡接在安装防护环23的外壁上,使得固定板21能够在安装防护环23内部固定,同时使得加热线圈10能够有效固定在加热线圈10的内部,所述的防护环板22环形套接在所述的固定板21的外部,所述的固定板21的内部设置有穿孔211,所述的加热线圈10穿过所述的穿孔211固定在所述的固定板21的内部,且所述的加热线圈10在固定板21的内部设置有多组。

所述的固定板21的两端固定连接有固定件212,所述的固定件212的内侧抵接在所述的安装防护环23的外壁上,所述的固定件212的上下端卡接在所述的安装槽口231的上下端,通过固定件212的设置,使得固定板21在延伸至安装防护环23的外部时,通过固定件212卡接在安装防护环23的外部,避免了固定板21从安装防护环23的内部脱离,导致加热线圈10脱落,从而提高了整体的防护装置的可行性,且所述的固定件212内侧与穿过固定板21的外端固定连接,所述的固定板21采用的绝热硬性固定材质,具体为一种气凝胶毡,所述的安装防护环23内壁还连接有隔断板213,所述的隔断板213的内部也设置有穿孔211,所述的加热线圈10穿过隔断板213内部的穿孔211固定,且隔断板213的前端与防护环板22的外壁相互抵接,所述的隔断板213的外端穿过所述的安装槽口231固定在安装防护环23的外壁上,所述的安装防护环23采用的是硬性绝热材质,具体为岩棉材质,通过安装防护环23采用硬性的岩棉材质,通过固体材质从外部对内部的加热线圈10进行保护,内部的固定板21采用软性的气凝胶毡保护内部的加热线圈10,避免加热线圈1受到到损坏。

以上内容是结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明,不能认定本实用新型具体实施只局限于这些说明,对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型的构思的前提下,还可以做出若干简单的推演或替换,都应当视为属于本实用新型所提交的权利要求书确定的保护范围。


技术特征:

1.一种圆晶自动去胶机的加热组件,包括防护构件(20);

其特征在于:

所述的防护构件(20)的内部固定卡接有固定板(21),所述的固定板(21)的内部安装有用于加热的加热线圈(10)。

2.根据权利要求1所述的一种圆晶自动去胶机的加热组件,其特征在于:所述的防护构件(20)包括安装防护环(23)与防护环板(22),所述的安装防护环(23)的外壁上设置有多组安装槽口(231),所述的固定板(21)贯穿所述的安装槽口(231)固定在所述的安装防护环(23)的外壁上,所述的防护环板(22)环形套接在所述的固定板(21)的外部,所述的固定板(21)的内部设置有穿孔(211),所述的加热线圈(10)穿过所述的穿孔(211)固定在所述的固定板(21)的内部,且所述的加热线圈(10)在固定板(21)的内部设置有多组。

3.根据权利要求2所述的一种圆晶自动去胶机的加热组件,其特征在于:所述的固定板(21)的两端固定连接有固定件(212),所述的固定件(212)的内侧抵接在所述的安装防护环(23)的外壁上,所述的固定件(212)的上下端卡接在所述的安装槽口(231)的上下端,且所述的固定件(212)内侧与穿过固定板(21)的外端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种圆晶自动去胶机的加热组件,其特征在于:所述的固定板(21)采用的绝热硬性固定材质,具体为一种气凝胶毡。

5.根据权利要求2所述的一种圆晶自动去胶机的加热组件,其特征在于:所述的安装防护环(23)内壁还连接有隔断板(213),所述的隔断板(213)的内部也设置有穿孔(211),所述的加热线圈(10)穿过隔断板(213)内部的穿孔(211)固定,且隔断板(213)的前端与防护环板(22)的外壁相互抵接,所述的隔断板(213)的外端穿过所述的安装槽口(231)固定在安装防护环(23)的外壁上。

6.根据权利要求2所述的一种圆晶自动去胶机的加热组件,其特征在于:所述的安装防护环(23)采用的是硬性绝热材质,具体为岩棉材质。

技术总结
本实用新型涉及安装防护技术领域,具体为一种圆晶自动去胶机的加热组件,包括防护构件;所述的防护构件的内部固定卡接有固定板,所述的固定板的内部安装有用于加热的加热线圈,本实用新型通过在加热线圈的外部设置安装防护环以及固定板,使得固定板与安装防护环之间形成稳定保护套件,将加热线圈保护在防护构件的内部,同时通过硬性绝热材质的安装防护环以及软性材质的固定板对加热线圈进行保护,同时避免加热线圈在加热过程中烫伤他人,同时采用软性材质的固定板,使得加热线圈固定在固定板内部进行绝热的同时避免固定板损坏加热线圈,保证加热线圈能够正常加热使用。

技术研发人员:何浩梁
受保护的技术使用者:广州市鸿浩光电半导体有限公司
技术研发日:2020.10.21
技术公布日:2021.06.29

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