一种适用于晶圆生产用的束带重工治具的制作方法

专利2022-05-09  24


本实用新型涉及晶圆生产领域,具体涉及一种适用于晶圆生产用的束带重工治具。



背景技术:

在现有技术中,晶圆的生产过程中遇到的不良品较多时,需要将该批次的产品进行重工,在重工过程中,需要将已经打包好的栈盘手动拆除束带,而在传统工艺中,此过程中操作人员必须拿起束好的栈盘进行手动切断束带,在进行手动切割过程中,由于是人工操作,因此容易导致栈盘翻盘或者散,增加了产品发生损坏的风险,也降低了生产效率。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。



技术实现要素:

为解决上述技术问题,本实用新型提出了一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,以达到实现束带切割的自动化、降低工作人员的工作负担和提高生产效率的目的。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:

一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,包含有底部平台、设置在所述底部平台上的移动组件、设置在所述移动组件上的用于对束带进行切割的切割组件;

所述移动组件包含有设置在所述底部平台上的一对相互平行的导轨;

所述切割组件包含有设置在所述导轨上的切割单元,且两个切割单元的中心连线与导轨相垂直;所述切割单元包含有设置在导轨上的刀座和设置在所述刀座上的刀片。

本实用新型通过设置在导轨上的由刀座和刀片组成的切割单元对栈盘进行自动化切割,达到实现束带切割的自动化、降低工作人员的工作负担和提高生产效率的目的。

作为优选的,所述导轨的外侧设有用于驱动所述导轨沿着所述导轨的中垂线方向移动的移动气缸,且所述导轨的两端外侧均设有所述移动气缸。利用移动气缸对两导轨之间的间距进行调节,便于各个尺寸的栈盘的使用。

作为优选的,所述刀座通过安装架设置在所述导轨上,所述安装架呈竖直安放,且所述安装架的俯视呈u型,且所述刀座设置在所述安装架的凹槽内,且所述刀座的两端抵在所述安装架的凹槽内壁;

所述安装架两侧的侧壁上均设有竖直方向的安装槽,所述安装槽内设有螺栓;所述刀座内设有与所述螺栓配合的螺孔,且所述螺孔贯穿所述刀座的两端。利用呈u型的安装架便于刀座的安装,利用安装架侧壁上的安装槽和螺栓便于调节刀座所处的高度。

作为优选的,所述刀座背向所述安装架的侧壁上设有刀片槽,所述刀片槽内安装有刀片,所述刀片通过紧固螺钉安装在所述刀片槽内,所述刀片槽内设有供紧固螺钉穿过的安装孔;所述紧固螺钉垂直于刀片。利用刀片槽和紧固螺钉便于刀片的安装和拆卸。

本实用新型具有如下优点:

1.本实用新型通过设置在导轨上的由刀座和刀片组成的切割单元对栈盘进行自动化切割,达到实现束带切割的自动化、降低工作人员的工作负担和提高生产效率的目的。

2.本实用新型通过利用移动气缸对两导轨之间的间距进行调节,便于各个尺寸的栈盘的使用。

3.本实用新型通过利用呈u型的安装架便于刀座的安装,利用安装架侧壁上的安装槽和螺栓便于调节刀座所处的高度。

4.本实用新型利用刀片槽和紧固螺钉便于刀片的安装和拆卸。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型实施例公开的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具的结构示意图;

图2为本实用新型实施例公开的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具中刀座的俯视示意图;

图3为本实用新型实施例公开的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具中刀座的主视示意图;

图中数字和字母所表示的相应部件名称:

1.底部平台21.导轨22.移动气缸31.刀座32.刀片33.安装架

34.安装槽35.螺栓36.螺孔37.刀片槽38.紧固螺钉39.刻度

41.传送带42.驱动轴5.栈盘51.束带。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本实用新型提供了一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,其工作原理是通过设置在导轨上的由刀座和刀片组成的切割单元对栈盘进行自动化切割,达到实现束带切割的自动化、降低工作人员的工作负担和提高生产效率的目的。

下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1-图3所示,一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,包含有底部平台1、设置在所述底部平台上的移动组件、设置在所述移动组件上的用于对束带进行切割的切割组件和设置在所述底部平台上的传送组件;

所述移动组件包含有设置在所述底部平台上的一对相互平行的导轨21;所述导轨的外侧设有用于驱动所述导轨沿着所述导轨的中垂线方向移动的移动气缸22,且所述导轨的两端外侧均设有所述移动气缸,所述移动气缸的端部通过连杆安装在所述底部平台的侧壁上。

所述切割组件包含有设置在所述导轨上的切割单元,且两个切割单元的中心连线与导轨相垂直;所述切割单元包含有设置在导轨上的刀座31和设置在所述刀座上的刀片32;

其中:

所述刀座通过安装架33设置在所述导轨上,所述安装架呈竖直安放,且所述安装架的俯视呈u型,所述刀座设置在所述安装架的凹槽内,且所述刀座的两端抵在所述安装架的凹槽内壁;所述安装架两侧的侧壁上均设有竖直方向的安装槽34,所述安装槽内设有螺栓35;所述刀座内设有与所述螺栓配合的螺孔36,且所述螺孔贯穿所述刀座的两端,为了保证调节的精确度,可在安装架的侧壁上设置刻度39;

所述刀座背向所述安装架的侧壁上设有刀片槽37,所述刀片槽内安装有刀片,所述刀片通过紧固螺钉38安装在所述刀片槽内,所述刀片槽内设有供紧固螺钉穿过的安装孔;所述紧固螺钉垂直于刀片。

所述传送组件包含有设置在底部平台上的传送带41和驱动传送带传动的驱动轴42(其中一根驱动轴由电机驱动),所述导轨架设在所述传送带上,且导轨底部与传送带之间存在一定的间隙,即传送带不会对导轨底部产生摩擦;所述底部平台的两端均设有所述驱动轴,且处于驱动轴上表面的传送带紧贴所述底部平台的表面。

本实用新型的具体使用步骤如下:再如图1-图3所示,在实际使用过程中,将需要重工的栈盘放置在传送带41的一端(此时的栈盘是由束带打包的),在驱动轴42和传送带41的作用下,栈盘整体移动,在此移动过程中工作人员只需要全力按住栈盘即可,随着传送带的传动,在栈盘经过刀座31时,刀片32直接对束带进行切割,实现了切割的自动化。

当需要切割不同栈盘束带时,将螺栓35从螺孔36、安装槽34中旋出(调节过程中,可选择旋出螺栓35部分即可),然后根据刻度39将刀座31移动至合适的位置,再次旋紧螺栓35即可(需要说明的:1.刀座上的螺孔36可根据实际的需求设置其长度,即在刀座两侧个设置一端螺孔即可;2.旋进螺栓35后,螺栓35的头端是抵在安装架的侧壁上,其端部是处于螺孔36内,因此利用两侧的螺栓与安装架之间的静摩擦力可避免刀座出现掉落;3.由于螺孔存在一定的长度,因此可满足不同长度的螺栓使用)。

通过以上的方式,本实用新型所提供的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,通过设置在导轨上的由刀座和刀片组成的切割单元对栈盘进行自动化切割,达到实现束带切割的自动化、降低工作人员的工作负担和提高生产效率的目的。

以上所述的仅是本实用新型所公开的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。


技术特征:

1.一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,其特征在于,包含有底部平台、设置在所述底部平台上的移动组件、设置在所述移动组件上的用于对束带进行切割的切割组件;

所述移动组件包含有设置在所述底部平台上的一对相互平行的导轨;

所述切割组件包含有设置在所述导轨上的切割单元,且两个切割单元的中心连线与导轨相垂直;所述切割单元包含有设置在导轨上的刀座和设置在所述刀座上的刀片。

2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,其特征在于,所述导轨的外侧设有用于驱动所述导轨沿着所述导轨的中垂线方向移动的移动气缸,且所述导轨的两端外侧均设有所述移动气缸。

3.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,其特征在于,所述刀座通过安装架设置在所述导轨上,所述安装架呈竖直安放,且所述安装架的俯视呈u型,且所述刀座设置在所述安装架的凹槽内,且所述刀座的两端抵在所述安装架的凹槽内壁;

所述安装架两侧的侧壁上均设有竖直方向的安装槽,所述安装槽内设有螺栓;所述刀座内设有与所述螺栓配合的螺孔,且所述螺孔贯穿所述刀座的两端。

4.根据权利要求3所述的一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,其特征在于,所述刀座背向所述安装架的侧壁上设有刀片槽,所述刀片槽内安装有刀片,所述刀片通过紧固螺钉安装在所述刀片槽内,所述刀片槽内设有供紧固螺钉穿过的安装孔;所述紧固螺钉垂直于刀片。

技术总结
一种适用于晶圆生产用的束带重工治具,包含有底部平台、设置在所述底部平台上的移动组件、设置在所述移动组件上的用于对束带进行切割的切割组件;所述移动组件包含有设置在所述底部平台上的一对相互平行的导轨;所述切割组件包含有设置在所述导轨上的切割单元,且两个切割单元的中心连线与导轨相垂直;所述切割单元包含有设置在导轨上的刀座和设置在所述刀座上的刀片。通过设置在导轨上的由刀座和刀片组成的切割单元对栈盘进行自动化切割,达到实现束带切割的自动化、降低工作人员的工作负担和提高生产效率的目的。

技术研发人员:方琼慧;王政雄
受保护的技术使用者:联立(徐州)半导体有限公司
技术研发日:2021.04.10
技术公布日:2021.06.29

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