本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种工艺设备。
背景技术：
太阳能作为一种绿色可再生的能源受到人们的广泛关注。在太阳能的有效利用中，太阳能电池的研究和开发日益得到重视。晶体硅异质结太阳能电池综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，具有结构简单、工艺温度低、钝化效果好、开路电压高、温度特性好、双面发电等优点，是高转换效率硅基太阳能电池的热点方向之一。
从制备方法上来说，晶体硅异质结太阳能电池一般以n型单晶硅片为衬底，在衬底正面依次沉积本征掺氢非晶硅薄膜和p型掺氢非晶硅薄膜，在衬底背面依次沉积本征掺氢非晶硅薄膜和n型掺氢非晶硅薄膜；在上述结构的两侧沉积透明导电氧化物薄膜(tco)；最后通过丝网印刷技术在透明导电氧化物薄膜的表面形成金属集电极。在太阳能电池的制备过程中，通常采用化学气相沉积(chemicalvapordeposition，简称cvd)技术制备掺氢非晶硅薄膜，并通过物理气相沉积(physicalvapourdeposition，简称pvd)技术制备透明导电氧化物薄膜。当在cvd腔体中制备掺氢非晶硅薄膜后，需要将晶圆传输至pvd腔体中，在晶圆的传输过程中使用了机械手、传送带和其他传送机构。其中，由机械手中的吸盘吸附晶圆正面并将晶圆转移至传送带上，晶圆背面接触传送带，并由传送带传输至其他传送机构，随后由其他传送机构传输至pvd腔体。
然而，从cvd腔体转移出来的晶圆的温度为150℃－180℃，传送带的材料为有机材料，这使得晶圆转移至传送带上时，晶圆背面与传送带发生反应，导致晶圆背面残留有机物，从而在晶圆背面引入缺陷，最终导致太阳能电池的电学性能降低，如开路电压和光电转换效率降低。
技术实现要素：
因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服将晶圆从工艺腔体转移至传送带的过程中晶圆的背面残留有机物的缺陷而引起晶圆的电学性能降低的问题，从而提供一种工艺设备。
本实用新型提供一种工艺设备，包括：工艺腔体；冷却单元，所述冷却单元设置于所述工艺腔体的一侧，所述冷却单元适于冷却晶圆，所述晶圆适于制备太阳能电池；第一传输单元，所述第一传输单元位于所述工艺腔体和所述冷却单元之间，所述第一传输单元适于将晶圆从所述工艺腔体中传输至所述冷却单元；下料平台，所述下料平台位于所述冷却单元的一侧；第二传输单元，所述第二传输单元位于所述冷却单元和所述下料平台之间，所述第二传输单元适于将所述晶圆从所述冷却单元传输至所述下料平台上；传送带，所述传送带设置于所述下料平台的一侧；第三传输单元，所述第三传输单元适于将所述晶圆由所述下料平台传送至所述传送带上。
可选的，所述冷却单元包括：下冷却板，所述下冷却板适于承载所述晶圆，所述下冷却板中具有第一冷却管道；循环冷却水箱，所述循环冷却水箱适于给所述第一冷却管道提供冷却液。
可选的，所述冷却单元还包括：上冷却板，所述上冷却板与所述下冷却板相对设置，所述上冷却板中具有第二冷却管道；所述循环冷却水箱还适于给所述第二冷却管道提供冷却液。
可选的，所述下冷却板中开设若干第一通孔；所述冷却单元还包括第一升降部件，所述第一升降部件包括：位于所述下冷却板底部的第一升降托盘；位于所述第一升降托盘上的第一顶针，所述第一顶针适于穿过所述第一通孔；位于所述第一升降托盘底部的第一升降驱动件。
可选的，所述冷却单元还包括冷却腔体主体，所述下冷却板位于所述冷却腔体主体内；所述冷却腔体主体包括第一侧壁板和第二侧壁板，所述第一侧壁板中具有第一传入口，第二侧壁板中具有第一传出口，所述晶圆适于通过所述第一传入口进入所述冷却腔体主体，所述晶圆适于通过所述第一传出口传出所述冷却腔体主体。
可选的，所述第一传输单元包括：第一承载平台；位于所述第一承载平台上的第一环形导轨和第一旋转平台，所述第一旋转平台适于在所述第一环形导轨上方沿着所述第一环形导轨运动，所述第一旋转平台朝向所述第一环形导轨的底面具有与第一环形导轨嵌合的第一滑动件；设置在所述第一旋转平台上的第一线性导轨；位于部分所述第一旋转平台上的第一滑动平台，所述第一滑动平台适于沿着所述第一线性导轨进行往复运动，所述第一滑动平台朝向所述第一线性导轨的底面具有与第一线性导轨嵌合的第二滑动件；与所述第一滑动平台连接的第一插板。
可选的，所述第一传输单元还包括：位于所述第一承载平台下方的第一旋转驱动件；贯穿所述第一承载平台的第一传动轴，所述第一传动轴的一端连接所述第一旋转平台，所述第一传动轴的另一端连接第一旋转驱动件；位于所述第一承载平台下方的第一滑动驱动件；贯穿所述第一承载平台和所述第一旋转平台的第二传动轴，所述第二传动轴的一端连接所述第一滑动驱动件，所述第二传动轴的另一端连接所述第一滑动平台；所述第一滑动件为槽或者凸起；所述第二滑动件为槽或者凸起。
可选的，所述第二传输单元包括：第二承载平台；位于所述第二承载平台上的第二环形导轨和第二旋转平台，所述第二旋转平台适于在所述第二环形导轨上方沿着所述第二环形导轨运动，所述第二旋转平台朝向所述第二环形导轨的底面具有与第二环形导轨嵌合的第三滑动件；设置在所述第二旋转平台上的第二线性导轨；位于部分所述第二旋转平台上的第二滑动平台，第二滑动平台沿着所述第二线性导轨进行往复运动，所述第二滑动平台朝向所述第二线性导轨的底面具有与第二线性导轨嵌合的第四滑动件；与所述第二滑动平台连接的第二插板；位于所述第二承载平台下方的第二旋转驱动件；贯穿所述第二承载平台的第三传动轴，所述第三传动轴的一端连接所述第二旋转平台，所述第三传动轴的另一端连接第二旋转驱动件；位于所述第二承载平台下方的第二滑动驱动件；贯穿所述第二承载平台和所述第二旋转平台的第四传动轴，所述第四传动轴的一端连接所述第二滑动驱动件，所述第四传动轴的另一端连接所述第二滑动平台。
可选的，所述第三传输单元包括机械手臂和设置于所述机械手臂底部的吸附件，所述吸附件适于吸附位于所述下料平台上的所述晶圆。
可选的，所述吸附件的数量为若干个，若干个所述吸附件适于同时吸附经过所述冷却单元冷却之后的多个所述晶圆。
可选的，所述工艺腔体包括化学气相沉积工艺腔体。
可选的，所述晶圆适于由工艺载板直接支撑，所述工艺载板中设置有若干个凹槽，所述晶圆适于放置于所述凹槽内；所述机械手臂适于将所述工艺载板和所述晶圆从工艺腔体中一并传输至所述冷却单元，所述机械手臂传输所述晶圆的过程中适于位于所述工艺载板的底部。
本实用新型技术方案，具有如下优点：
1.本实用新型提供的工艺设备，包括工艺腔体、第一传输单元、冷却单元、第二传输单元、下料平台、第三传输单元和传送带，所述第一传输单元将具有较高温度的晶圆从工艺腔体中传输至冷却单元进行冷却，随后通过所述第二传输单元将冷却后的晶圆传送至下料平台，并由第三传输单元将所述晶圆由所述下料平台传送至所述传送带上。由于冷却后的晶圆具有较低的温度，因此晶圆背面不会与传送带发生反应，从而避免了晶圆背面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压和光电转换效率。
2.本实用新型提供的工艺设备，所述冷却单元包括下冷却板和循环冷却水箱，所述下冷却板中具有第一冷却管道，所述循环冷却水箱适于给所述第一冷却管道提供冷却液，使得所述下冷却板具有较低的温度，所述下冷却板承载所述晶圆以对所述晶圆进行冷却，从而使晶圆与传送带接触后不会在晶圆背面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压和光电转换效率。
3.本实用新型提供的工艺设备，通过在所述下冷却板的上方设置上冷却板，所述上冷却板中具有第二冷却管道，所述循环冷却水箱给所述第二冷却管道提供冷却液，使得晶圆的上下两表面能够同时进行冷却，从而提高了晶圆的冷却速率。
4.本实用新型提供的工艺设备，所述冷却单元还包括冷却腔体主体，所述下冷却板位于所述冷却腔体主体内；所述冷却腔体主体能够隔绝外界环境，不仅避免了冷却过程中来自外界环境中的灰尘落在晶圆表面对太阳能电池的质量造成影响，还避免了冷却单元与外界环境发生温度交换，从而使冷却单元保持了较低的温度，继而提高了冷却速率。
5.本实用新型提供的工艺设备，所述第三传输单元包括机械手臂和设置于所述机械手臂底部的吸附件，所述吸附件适于吸附位于所述下料平台上的所述晶圆。所述第一传输单元将具有较高温度的晶圆从工艺腔体中传输至冷却单元进行冷却，随后通过所述第二传输单元将冷却后的晶圆传送至下料平台，并由第三传输单元将所述晶圆由所述下料平台传送至所述传送带上。由于冷却后的晶圆具有较低的温度，因此所述吸附件吸附圆晶的过程中，圆晶正面不会与吸附件发生反应，从而避免了晶圆正面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压和光电转换效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型中实施例1提供的工艺设备的结构示意图；
图2为图1所示的冷却单元的纵向截面结构示意图；
图3为图2所示的第一冷却管道的第一种结构示意图；
图4为图2所示的第一冷却管道的第二种结构示意图；
图5为图1所示的工艺腔体的纵向截面结构示意图；
图6为图1所示的工艺腔体的横向截面结构示意图；
图7为图1所示的第一传输单元的横向截面结构示意图；
图8为图1所示的第一传输单元的纵向截面结构示意图；
图9为图1所示的第二传输单元的横向截面结构示意图；
图10为图1所示的第一传输单元的纵向截面结构示意图；
图11为图1所示的第三传输单元、下料平台及传送带的结构示意图；
图12为本实用新型中实施例2提供的冷却单元的结构示意图；
图13为本实用新型中实施例3提供的冷却单元的结构示意图；
图14为本实用新型中实施例4提供的冷却单元的结构示意图；
附图标记说明：
1－工艺腔体；11－沉积平台；12－第二升降托盘；13－第二顶针；14－第二升降驱动件；15－第五传动轴；2－第一传输单元；21－第一承载平台；22－第一环形导轨；23－第一旋转平台；24－第一滑动平台；25－第一插板；26－第一线性导轨；27－第一传输腔室；28－第二传入口；29-第二传出口；3－冷却单元；31－下冷却板；311－第一冷却管道；32－上冷却板；33－第一升降托盘；34－第一顶针；35－第一升降驱动件；36－第六传动轴；37－冷却腔体主体；38－支撑板；4－第二传输单元；41－第二承载平台；42－第二环形导轨；43－第二旋转平台；44－第二滑动平台；45－第二插板；46－第二线性导轨；47－第一传输腔室；48－第三传入口；49-第三传出口；5－下料平台；6－第三传输单元；61－吸附件；7－传送带；8－工艺载板；81－凹槽。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例1
参见图1，本实施例提供一种工艺设备，包括：工艺腔体1；冷却单元3，所述冷却单元3设置于所述工艺腔体1的一侧，所述冷却单元适于冷却所述晶圆，所述晶圆适于制备太阳能电池；第一传输单元2，所述第一传输单元2位于所述工艺腔体1和所述冷却单元3之间，所述第一传输单元2适于将晶圆从所述工艺腔体1中传输至所述冷却单元3；下料平台5，所述下料平台5位于所述冷却单元的一侧；第二传输单元4，所述第二传输单元位于所述冷却单元和所述下料平台之间，所述第二传输单元4适于将所述晶圆从所述冷却单元3传输至所述下料平台5上；传送带7，所述传送带7设置于所述下料平台5的一侧；第三传输单元6，所述第三传输单元6适于将所述晶圆由所述下料平台5传送至所述传送带7上。
上述工艺设备，所述第一传输单元2将具有较高温度的晶圆从工艺腔体1中传输至冷却单元3进行冷却，随后通过所述第二传输单元4将冷却后的晶圆传送至下料平台5，并由第三传输单元6将所述晶圆由所述下料平台5传送至所述传送带7上。由于冷却后的晶圆具有较低的温度，因此晶圆背面不会与传送带7发生反应，从而避免了晶圆背面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压和光电转换效率。
在本实施例中，参见图2，所述冷却单元3包括：下冷却板31，所述下冷却板31适于承载所述晶圆，所述下冷却板31中具有第一冷却管道311；循环冷却水箱，使得所述下冷却板31具有较低的温度，所述下冷却板31承载所述晶圆以对所述晶圆进行冷却，从而使晶圆与传送带7接触后不会在晶圆背面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压和光电转换效率。
进一步地，所述第一冷却管道311具有第一进液口和第一出液口，所述循环冷却水箱包括进水端和出水端，所述进水端与所述第一进水口连通，所述出水端与所述第一出水口连通。如图3－图4所示，所述冷却管道的形状包括但不限于为螺旋形或蛇形。
在本实施例中，所述下冷却板31中开设若干第一通孔；所述冷却单元3还包括第一升降部件，所述第一升降部件包括：位于所述下冷却板31底部的第一升降托盘33；位于所述第一升降托盘33上的第一顶针34，所述第一顶针34适于穿过所述第一通孔；位于所述第一升降托盘33底部的第一升降驱动件35。具体的，所述第一升降驱动件35为升降电机。
在本实施例中，所述冷却单元3还包括支撑板38和连接所述第一升降托盘33与所述第一升降驱动件35的第六传动轴36，所述下冷却板31位于所述支撑板38上，所述第一升降托盘33位于所述支撑板38与所述下冷却板31之间，所述第一升降驱动件35设置于所述支撑板38下方，所述第六传动轴36贯穿所述支撑板38，所述第一冷却管道311在所述支撑板38上的正投影与所述第一通孔在所述支撑板38上的正投影不重合。
在本实施例中，参见图5－图6，所述工艺腔体1内设置有沉积平台11，所述沉积平台11中开设若干第二通孔；所述工艺腔体1内还设置有位于所述沉积平台11底部的第二升降托盘12和位于所述第二升降托盘12上的第二顶针13，所述第二顶针13适于穿过所述第二通孔；所述工艺腔体1外侧设置有第二升降驱动件14，所述第五传动轴15贯穿所述工艺腔体1以连接所述第二升降驱动件14和所述第二升降托盘12。具体的，所述第二升降驱动件14为升降电机。
在本实施例中，参见图7－图8，所述第一传输单元2包括：第一承载平台21；位于所述第一承载平台21上的第一环形导轨22和第一旋转平台23，所述第一旋转平台23适于在所述第一环形导轨22上方沿着所述第一环形导轨22运动；设置在所述第一旋转平台23上的第一线性导轨26；位于部分所述第一旋转平台23上的第一滑动平台24，所述第一滑动平台24沿着所述第一线性导轨26进行往复运动；与所述第一滑动平台24连接的第一插板25，所述第一插板25适于在所述第一滑动平台24的带动下沿着所述第一线性导轨26进行往复运动。在晶圆的传输过程中，所述第一插板25位于所述晶圆的底部；需要理解的是，所述第一插板25的个数包括但不限于2－5个。
在本实施例中，所述第一传输单元2还包括：位于所述第一承载平台21下方的第一旋转驱动件；贯穿所述第一承载平台21的第一传动轴，所述第一传动轴的一端连接所述第一旋转平台23，所述第一传动轴的另一端连接第一旋转驱动件，所述第一旋转驱动件驱动所述第一旋转平台23沿着所述第一环形导轨22运动；位于所述第一承载平台21下方的第一滑动驱动件；贯穿所述第一承载平台21和所述第一旋转平台23的第二传动轴，所述第二传动轴的一端连接所述第一滑动驱动件，所述第二传动轴的另一端连接所述第一滑动平台24，第一滑动驱动件驱动所述第一滑动平台24沿着所述第一线性导轨26进行往复运动，从而带动所述第一插板25沿着所述第一线性导轨26进行往复运动。具体的，所述第一旋转驱动件为旋转电机，所述第一滑动驱动件为滑动电机。
在本实施例中，所述第一旋转平台23朝向所述第一环形导轨22的底面具有与第一环形导轨22嵌合的第一滑动件，所述第一滑动件为槽或者凸起，所述第一滑动件限制所述第一旋转平台23沿着所述第一环形导轨22运动；所述第一滑动平台24朝向所述第一线性导轨26的底面具有与第一线性导轨26嵌合的第二滑动件，所述第一滑动件为槽或者凸起，所述第二滑动件限制所述第一滑动平台24沿着所述第一线性导轨26运动。
作为一种可选的实施方式，所述第一传输单元2还可以包括第一传输腔室27，所述第一承载平台21构成所述第一传输腔室27的底板；所述第一传输腔室27的侧壁设置有朝向所述工艺腔室的第二传入口28和朝向所述冷却腔室的第二传出口29。
在本实施例中，参见图9－图10，所述第二传输单元4包括：第二承载平台41；位于所述第二承载平台41上的第二环形导轨42和第二旋转平台43，所述第二旋转平台43适于在所述第二环形导轨42上方沿着所述第二环形导轨42运动；设置在所述第二旋转平台43上的第二线性导轨46；位于部分所述第二旋转平台43上的第二滑动平台44，所述第二滑动平台44沿着所述第二线性导轨46进行往复运动；与所述第二滑动平台44连接的第二插板45，所述第二插板45适于在所述第二滑动平台44的带动下沿着所述第二线性导轨46进行往复运动。在晶圆的转移过程中，第二插板45位于所述晶圆的下方；需要理解的是，所述第二插板45的个数包括但不限于2－5个。
在本实施例中，所述第二传输单元4还包括：位于所述第二承载平台41下方的第二旋转驱动件；贯穿所述第二承载平台41的第三传动轴，所述第三传动轴的一端连接所述第二旋转平台43，所述第三传动轴的另一端连接第二旋转驱动件，所述第二旋转驱动件驱动所述第二旋转平台43沿着所述第二环形导轨42运动；位于所述第二承载平台41下方的第二滑动驱动件；贯穿所述第二承载平台41和所述第二旋转平台43的第四传动轴，所述第四传动轴的一端连接所述第二滑动驱动件，所述第四传动轴的另一端连接所述第二滑动平台44，第二滑动驱动件驱动所述第二滑动平台44沿着所述第二线性导轨46进行往复运动，从而带动所述第二插板45沿着所述第二线性导轨46进行往复运动。具体的，所述第二旋转驱动件为旋转电机，所述第二滑动驱动件为滑动电机。
在本实施例中，所述第二旋转平台43朝向所述第二环形导轨42的底面具有与第二环形导轨42嵌合的第三滑动件，所述第三滑动件为槽或者凸起，所述第三滑动件限制所述第二旋转平台43沿着所述第二环形导轨42运动；所述第二滑动平台44朝向所述第二线性导轨46的底面具有与第二线性导轨46嵌合的第四滑动件，所述第四滑动件为槽或者凸起，所述第四滑动件限制所述第二滑动平台44沿着所述第二线性导轨46运动。
作为一种可选的实施方式，所述第二传输单元4还可以包括第二传输腔室，所述第二承载平台41构成所述第二传输腔室的底板；所述第二传输腔室的侧壁设置有朝向所述冷却单元3的第三传入口48和朝向所述下料平台5的第三传出口49。
在本实施例中，如图11所示，所述第三传输单元6包括机械手臂和设置于所述机械手臂底部的吸附件61，所述吸附件61适于吸附位于所述下料平台5上的所述晶圆。所述第一传输单元2将具有较高温度的晶圆从工艺腔体1中传输至冷却单元3进行冷却，随后通过所述第二传输单元4将冷却后的晶圆传送至下料平台5，并由第三传输单元6将所述晶圆由所述下料平台5传送至所述传送带7上。由于冷却后的晶圆具有较低的温度，因此所述吸附件61吸附圆晶的过程中，圆晶正面不会与吸附件61发生反应，从而避免了晶圆正面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压和光电转换效率。
作为一种可选的实施方式，所述晶圆适于由工艺载板8直接支撑，所述工艺载板8中设置有若干个凹槽81，所述晶圆适于放置于所述凹槽81内；所述第一传输单元2适于将所述工艺载板8和所述晶圆从工艺腔体1中一并传输至所述冷却单元3，所述第一传输单元2传输所述晶圆的过程中适于位于所述工艺载板8的底部。
进一步地，所述吸附件61的数量为若干个，若干个所述吸附件61适于同时吸附经过所述下料平台5上的多个所述晶圆，使多个晶圆能够一同传输，从而增大了传输速率。具体的，所述吸附件61的排布方式与所述工艺载板8的凹槽81的排布方式相同，从而便于若干个所述吸附件61同时吸附多个所述晶圆。
在本实施例中，所述工艺腔体包括化学气相沉积工艺腔体。在其他实施例中，工艺腔体还可以为其他工艺
本实施例提供的工艺设备的工作过程如下：
(1)所述第二升降驱动件14驱动所述工艺腔体1内的所述第二升降托盘12上升，所述第二顶针13伸入所述第二通孔，将位于所述沉积平台11上的晶圆顶起来；
(2)所述第一传输单元2中的第一滑动驱动件驱动第一插板25沿着所述第一线性导轨26运动使所述第一插板25进入所述工艺腔体1并伸入所述相邻第二顶针13之间，且所述第一插板25位于晶圆的下方；
(3)所述第二升降驱动件14驱动所述工艺腔体1内的所述第二升降托盘12下降，所述第二顶针13移出所述第二通孔，使晶圆的背面与所述第一插板25接触；
(4)所述第一传输单元2中的第一滑动驱动件驱动所述第一插板25沿着所述第一线性导轨26运动使所述第一插板25移出所述工艺腔体1；第一旋转驱动件驱动所述第一旋转平台23沿着所述第一环形导轨22运动，使所述第一插板25朝向所述冷却单元3；所述第一传输单元2中的第一滑动驱动件驱动第一插板25沿着所述第一线性导轨26运动使所述第一插板25伸入所述冷却单元3，所述第一插板25位于所述下冷却板31的上方；
(5)所述第一升降驱动件35驱动所述冷却单元3内的所述第一升降托盘33上升，所述第一顶针34伸入所述第一通孔，使所述第一顶针34与所述晶圆的背面接触；
(6)所述第一传输单元2中的第一滑动驱动件驱动所述第一插板25沿着所述第一线性导轨26运动使所述第一插板25移出所述冷却单元3；
(7)所述第一升降驱动件35驱动所述冷却单元3内的所述第一升降托盘33下降，所述第一顶针34移出所述第一通孔，使所述下冷却板31与所述晶圆的背面接触；
(8)晶圆冷却完成后，所述第一升降驱动件35驱动所述冷却单元3内的所述第一升降托盘33上升，所述第一顶针34伸入所述第一通孔，使所述第一顶针34与所述晶圆的背面接触；
(9)所述第二传输单元4将所述晶圆从所述冷却单元3传输至所述下料平台5上；
(10)所述第三传输单元6的吸附件61吸附所述晶圆的正面，并将晶圆转移至传送带7。
需要理解的是，当所述晶圆置于所述工艺载板8中时，步骤(1)－(9)均直接传输所述工艺载板8，从而传输晶圆。
实施例2
本实施例提供一种工艺设备，其与实施例1提供的工艺设备的区别在于：
参见图12，所述冷却单元3还包括：上冷却板32，所述上冷却板32与所述下冷却板31相对设置，所述上冷却板32中具有第二冷却管道；所述循环冷却水箱还适于给所述第二冷却管道提供冷却液，使得晶圆的上下两表面能够同时进行冷却，从而提高了晶圆的冷却速率。
实施例3
本实施例提供一种工艺设备，其与实施例1提供的工艺设备的区别在于：
参见图13，所述冷却单元3还包括冷却腔体主体37，所述下冷却板31位于所述冷却腔体主体37内；所述冷却腔体主体37包括第一侧壁板和第二侧壁板，所述第一侧壁板中具有第一传入口，第二侧壁板中具有第一传出口，所述晶圆适于通过所述第一传入口进入所述冷却腔体主体37，所述晶圆适于通过所述第一传出口传出所述冷却腔体主体37。所述冷却腔体主体37能够隔绝外界环境，不仅避免了冷却过程中来自外界环境中的灰尘落在晶圆表面对太阳能电池的质量造成影响，还避免了冷却单元3与外界环境发生温度交换，从而使冷却单元3保持了较低的温度，继而提高了冷却速率。
实施例4
本实施例提供一种工艺设备，其与实施例1提供的工艺设备的区别在于：所述冷却单元3还包括：
参见图14，上冷却板32，所述上冷却板32与所述下冷却板31相对设置，所述上冷却板32中具有第二冷却管道，所述循环冷却水箱还适于给所述第二冷却管道提供冷却液；
冷却腔体主体37，所述下冷却板31位于所述冷却腔体主体37内；所述冷却腔体主体37包括第一侧壁板和第二侧壁板，所述第一侧壁板中具有第一传入口，第二侧壁板中具有第一传出口，所述晶圆适于通过所述第一传入口进入所述冷却腔体主体37，所述晶圆适于通过所述第一传出口传出所述冷却腔体主体37。
本实施例中所述冷却单元的结构提高了所述晶圆的冷却速率。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
1.一种工艺设备，包括工艺腔体，其特征在于，还包括：
冷却单元，所述冷却单元设置于所述工艺腔体的一侧，所述冷却单元适于冷却晶圆，所述晶圆适于制备太阳能电池；
第一传输单元，所述第一传输单元位于所述工艺腔体和所述冷却单元之间，所述第一传输单元适于将晶圆从所述工艺腔体中传输至所述冷却单元；
下料平台，所述下料平台位于所述冷却单元的一侧；
第二传输单元，所述第二传输单元位于所述冷却单元和所述下料平台之间，所述第二传输单元适于将所述晶圆从所述冷却单元传输至所述下料平台上；
传送带，所述传送带设置于所述下料平台的一侧；
第三传输单元，所述第三传输单元适于将所述晶圆由所述下料平台传送至所述传送带上。
2.根据权利要求1所述的工艺设备，其特征在于，所述冷却单元包括：
下冷却板，所述下冷却板适于承载所述晶圆，所述下冷却板中具有第一冷却管道；
循环冷却水箱，所述循环冷却水箱适于给所述第一冷却管道提供冷却液。
3.根据权利要求2所述的工艺设备，其特征在于，所述冷却单元还包括：上冷却板，所述上冷却板与所述下冷却板相对设置，所述上冷却板中具有第二冷却管道；所述循环冷却水箱还适于给所述第二冷却管道提供冷却液。
4.根据权利要求2或3所述的工艺设备，其特征在于，所述下冷却板中开设若干第一通孔；所述冷却单元还包括第一升降部件，所述第一升降部件包括：
位于所述下冷却板底部的第一升降托盘；
位于所述第一升降托盘上的第一顶针，所述第一顶针适于穿过所述第一通孔；
位于所述第一升降托盘底部的第一升降驱动件。
5.根据权利要求2或3所述的工艺设备，其特征在于，所述冷却单元还包括冷却腔体主体，所述下冷却板位于所述冷却腔体主体内；
所述冷却腔体主体包括第一侧壁板和第二侧壁板，所述第一侧壁板中具有第一传入口，第二侧壁板中具有第一传出口，所述晶圆适于通过所述第一传入口进入所述冷却腔体主体，所述晶圆适于通过所述第一传出口传出所述冷却腔体主体。
6.根据权利要求1所述的工艺设备，其特征在于，所述第一传输单元包括：
第一承载平台；
位于所述第一承载平台上的第一环形导轨和第一旋转平台，所述第一旋转平台适于在所述第一环形导轨上方沿着所述第一环形导轨运动；所述第一旋转平台朝向所述第一环形导轨的底面具有与第一环形导轨嵌合的第一滑动件；
设置在所述第一旋转平台上的第一线性导轨；
位于部分所述第一旋转平台上的第一滑动平台，所述第一滑动平台适于沿着所述第一线性导轨进行往复运动；所述第一滑动平台朝向所述第一线性导轨的底面具有与第一线性导轨嵌合的第二滑动件；
与所述第一滑动平台连接的第一插板。
7.根据权利要求6所述的工艺设备，其特征在于，所述第一传输单元还包括：位于所述第一承载平台下方的第一旋转驱动件；贯穿所述第一承载平台的第一传动轴，所述第一传动轴的一端连接所述第一旋转平台，所述第一传动轴的另一端连接第一旋转驱动件；位于所述第一承载平台下方的第一滑动驱动件；贯穿所述第一承载平台和所述第一旋转平台的第二传动轴，所述第二传动轴的一端连接所述第一滑动驱动件，所述第二传动轴的另一端连接所述第一滑动平台；所述第一滑动件为槽或者凸起；所述第二滑动件为槽或者凸起。
8.根据权利要求1所述的工艺设备，其特征在于，所述第二传输单元包括：
第二承载平台；
位于所述第二承载平台上的第二环形导轨和第二旋转平台，所述第二旋转平台适于在所述第二环形导轨上方沿着所述第二环形导轨运动；所述第二旋转平台朝向所述第二环形导轨的底面具有与第二环形导轨嵌合的第三滑动件；
设置在所述第二旋转平台上的第二线性导轨；
位于部分所述第二旋转平台上的第二滑动平台，第二滑动平台适于沿着所述第二线性导轨进行往复运动；所述第二滑动平台朝向所述第二线性导轨的底面具有与第二线性导轨嵌合的第四滑动件；
与所述第二滑动平台连接的第二插板；
位于所述第二承载平台下方的第二旋转驱动件；
贯穿所述第二承载平台的第三传动轴，所述第三传动轴的一端连接所述第二旋转平台，所述第三传动轴的另一端连接第二旋转驱动件；
位于所述第二承载平台下方的第二滑动驱动件；
贯穿所述第二承载平台和所述第二旋转平台的第四传动轴，所述第四传动轴的一端连接所述第二滑动驱动件，所述第四传动轴的另一端连接所述第二滑动平台。
9.根据权利要求1所述的工艺设备，其特征在于，所述第三传输单元包括机械手臂和设置于所述机械手臂底部的吸附件，所述吸附件适于吸附位于所述下料平台上的所述晶圆。
10.根据权利要求1所述的工艺设备，其特征在于，所述工艺腔体包括化学气相沉积工艺腔体。
技术总结