本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆分区吸附结构。
背景技术：
众所周知，晶圆在加工过程中,需要进行晶圆缝合，晶圆键合技术，是指将两片经过抛光的晶圆紧密粘结在一起，这种技术在半导体制造中有着越来越广泛的应用。
例如公开号为“cn206733378u”专利名称为“一种晶圆吸附载盘”的专利，专利公开了“本实用新型提供一种晶圆吸附载盘，用于吸附晶圆，所述晶圆吸附载盘包含：一盘体，包括相反的一底面与一顶面、一自所述底面的周缘延伸至所述顶面的周缘的围绕面，及一凹陷形成在所述围绕面一侧的沟槽，所述沟槽延伸至所述顶面以在所述顶面形成一缺口；及多个吸孔，贯穿盘体的所述底面与所述顶面。本实用新型至少具有以下优点：所述盘体的沟槽可供溢出的黏胶流入，以避免黏胶渗漏至晶圆与所述盘体之间而堵塞盘体的所述吸孔而造成吸附力下降，以防止晶圆因为吸附力不足导致晃动而破裂”。
现有的晶圆吸附结构在使用中发现，需要人工的进行放料以及卸料，不能实现自动化，跟不上时代的脚步，并且加工的效率低，导致生产率低。
技术实现要素：
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种加工效率高的自动化晶圆分区吸附结构。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆分区吸附结构，包括机体、底座、卸料装置、送料装置以及转动机，所述底座安装在工作台的下端，所述机体包括第一吸风机、工作台、第二吸风机、升降器以及加工仓，所述工作台安装在机体的上端，所述加工仓安装在工作台的上端，所述第一吸风机安装在机体的内部，所述第一吸风机上设有下吸板，所述下吸板安装在加工仓的底端，所述第二吸风机安装在加工仓的上方，并且所述第二吸风机上设有上吸板，所述上吸板安装在第二吸风机的下端，所述下吸板以及上吸板上均设有吸风孔,所述升降器安装在第二吸风机的上端，并且与第二吸风机之间设有升降杆连接，所述转动机安装在机体的一侧，并且与升降器之间设有转动臂连接，所述卸料装置以及送料装置分别安装在加工仓的两侧，并且与机体之间设有连接杆连接，所述卸料装置以及送料装置均包括电机以及传动轮，所述传动轮安装在电机的前端，并且所述传动轮之间设有传送带连接，所述传送带上设有存放盘。
为了提高本结构的实用性，本实用新型的改进有，所述第一吸风机与下吸板之间设有第一吸风管连接，所述第二吸风机与上吸板之间设有第二吸风管连接，所述第一吸风管上设有第一调节器，所述第二吸风管上设有第二调节器，所述机体上设有转门，所述加工仓上设有视镜。
为了提高晶圆键合效果，本实用新型的改进有，所述吸风孔包括第一吸风口以及第二吸风口，所述第一吸风口安装在上吸板以及下吸板的中间部分，所述第二吸风口安装在上吸板以及下吸板的周边部分。
为了提高转动臂的稳定性，本实用新型的改进有，所述转动臂与转动机之间设有支撑杆连接。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆分区吸附结构，具备以下有益效果：
该晶圆分区吸附结构，所述升降器安装在第二吸风机的上端，并且与第二吸风机之间设有升降杆连接，所述转动机安装在机体的一侧，并且与升降器之间设有转动臂连接，通过设有转动机以及转动臂，能使上吸板进行水平上的转动，通过设有升降器，能使上吸板进行水平上的升降，所述卸料装置以及送料装置分别安装在加工仓的两侧，并且与机体之间设有连接杆连接，所述卸料装置以及送料装置均包括电机以及传动轮，所述传动轮安装在电机的前端，并且所述传动轮之间设有传送带连接，所述传送带上设有存放盘，通过存放盘，使晶圆片在传送带上得到固定，并且通过转动机、卸料装置以及送料装置的相互配合，使本结构实现自动化，节省了人力，并且提高了生产效率，所述吸风孔包括第一吸风口以及第二吸风口，通过设有第一吸风口以及第二吸风口，可以控制晶圆片本体各部分的受力点，从而达到需要的加工效果。
附图说明
图1为本实用新型的刨面图；
图2为本实用新型的侧视图；
图3为本实用新型图1中上吸盘的俯视图；
图中：1、机体；2、底座；3、卸料装置；4、连接杆；5、送料装置；6、存放盘；7、加工仓；8、第一吸风机；9、第一吸风管；10、第一调节器；11、第二吸风机；12、上吸板；13、升降器；14、升降杆；15、转动机；16、转动臂；17、支撑杆；18、第一吸风孔；19、第二吸风孔；20、第二调节器；21、工作台；22、下吸板；
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型的一种晶圆分区吸附结构，包括机体1、底座2、卸料装置3、送料装置5以及转动机15，所述底座2安装在工作台21的下端，所述机体1包括第一吸风机8、工作台21、第二吸风机11、升降器13以及加工仓7，所述工作台21安装在机体1的上端，所述加工仓7安装在工作台21的上端，所述第一吸风机8安装在机体1的内部，所述第一吸风机8上设有下吸板22，所述下吸板22安装在加工仓7的底端，所述第二吸风机11安装在加工仓7的上方，并且所述第二吸风机11上设有上吸板12，所述上吸板12安装在第二吸风机11的下端，所述下吸板22以及上吸板12上均设有吸风孔,所述升降器13安装在第二吸风机11的上端，并且与第二吸风机11之间设有升降杆14连接，所述转动机15安装在机体1的一侧，并且与升降器13之间设有转动臂16连接，所述卸料装置3以及送料装置5分别安装在加工仓7的两侧，并且与机体1之间设有连接杆4连接，所述卸料装置3以及送料装置5均包括电机以及传动轮，所述传动轮安装在电机的前端，并且所述传动轮之间设有传送带连接，所述传送带上设有存放盘6。
本实用新型的晶圆分区吸附结构在使用时，底座2起到支撑机体1的作用，晶圆片放置在存放盘6上，通过送料装置5进行运输，加工仓7给晶圆提供了加工场所，当晶圆在进行加工时，通过第一吸风机8，使下吸板22上产生吸力，从而将晶圆片通过吸风孔吸附在下吸板22上，这时转动机15控制转动臂16转动，转动臂16会转动升降器13，进一步的转动第二吸风机11，第二吸风机11带动上吸板12转动到送料装置5的上端，然后升降器13启动，通过升降杆14使上吸板12向下降落，然后通过第二吸风机11，使上吸板12上产生吸力，上吸板12上产生吸力后通过吸风孔会将存放盘6上的晶圆片牢牢的吸附在上吸板12上，然后通过相同的原理使上吸板12移动到加工仓7内，并且对准下吸板22，从而在加工仓7内进行“缝合处理”，缝合处理完毕后，第一吸风机8关闭，然后由上吸板12将缝合处理完毕的晶圆片带到卸料装置3上进行卸料，在这里，送料装置5以及卸料装置3的工作原理为电机带动传动轮转动，由传动轮来动传动带转动，进而达到了运输的效果。
为了提高本结构的实用性，本实用新型的改进有，所述第一吸风机8与下吸板22之间设有第一吸风管9连接，所述第二吸风机11与上吸板12之间设有第二吸风管连接，所述第一吸风管9上设有第一调节器10，所述第二吸风管上设有第二调节器20，所述机体1上设有转门，所述加工仓7上设有视镜，通过第一吸风管9以及第二吸风管进行导风，通过第一调节器10可以调节下吸板22处的吸力，通过第二调节器20可以调节上吸板12处的吸力，通过视镜可以看清加工仓7内部的加工情况。
为了提高晶圆键合效果，本实用新型的改进有，所述吸风孔包括第一吸风口以及第二吸风口，所述第一吸风口安装在上吸板12以及下吸板22的中间部分，所述第二吸风口安装在上吸板12以及下吸板22的周边部分，通过设有第一吸风口以及第二吸风口，可以控制晶圆片本体各部分的受力点，从而达到需要的加工效果。
为了提高转动臂16的稳定性，本实用新型的改进有，所述转动臂16与转动机15之间设有支撑杆17连接，通过支撑杆17给转动臂16一个支撑力。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种晶圆分区吸附结构，其特征在于，包括机体(1)、底座(2)、卸料装置(3)、送料装置(5)以及转动机(15)，所述底座(2)安装在工作台(21)的下端，所述机体(1)包括第一吸风机(8)、工作台(21)、第二吸风机(11)、升降器(13)以及加工仓(7)，所述工作台(21)安装在机体(1)的上端，所述加工仓(7)安装在工作台(21)的上端，所述第一吸风机(8)安装在机体(1)的内部，所述第一吸风机(8)上设有下吸板(22)，所述下吸板(22)安装在加工仓(7)的底端，所述第二吸风机(11)安装在加工仓(7)的上方，并且所述第二吸风机(11)上设有上吸板(12)，所述上吸板(12)安装在第二吸风机(11)的下端，所述下吸板(22)以及上吸板(12)上均设有吸风孔,所述升降器(13)安装在第二吸风机(11)的上端，并且与第二吸风机(11)之间设有升降杆(14)连接，所述转动机(15)安装在机体(1)的一侧，并且与升降器(13)之间设有转动臂(16)连接，所述卸料装置(3)以及送料装置(5)分别安装在加工仓(7)的两侧，并且与机体(1)之间设有连接杆(4)连接，所述卸料装置(3)以及送料装置(5)均包括电机以及传动轮，所述传动轮安装在电机的前端，并且所述传动轮之间设有传送带连接，所述传送带上设有存放盘(6)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆分区吸附结构，其特征在于，所述第一吸风机(8)与下吸板(22)之间设有第一吸风管(9)连接，所述第二吸风机(11)与上吸板(12)之间设有第二吸风管连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆分区吸附结构，其特征在于，所述第一吸风管(9)上设有第一调节器(10)，所述第二吸风管上设有第二调节器(20)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆分区吸附结构，其特征在于，所述机体(1)上设有转门，所述加工仓(7)上设有视镜。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆分区吸附结构，其特征在于，所述吸风孔包括第一吸风口以及第二吸风口，所述第一吸风口安装在上吸板(12)以及下吸板(22)的中间部分，所述第二吸风口安装在上吸板(12)以及下吸板(22)的周边部分。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆分区吸附结构，其特征在于，所述转动臂(16)与转动机(15)之间设有支撑杆(17)连接。
技术总结