一种调整式多尺寸衬底晶盒的制作方法

专利2022-05-09  41


本实用新型涉及衬底晶盒领域,具体为一种调整式多尺寸衬底晶盒。



背景技术:

如碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等第一、二和三代半导体材料的运用规模及类型都在不断的壮大,作为前道的衬底加工,大都需要通过晶棒的线切、研磨、倒角、退火、铜抛、抛光、清洗等制程,其中还包含加工过程衬底各种质量要求的检测。整条衬底加工线有几十道工序,不管对上述的哪种材料来说不断的生产更大尺寸的衬底晶片都是提高衬底利用率,降低衬底成本的主要手段。同时应对不同下游客户的需求往往需要同时加工生产不同尺寸的衬底晶片,而往往在如此长的加工工序中切换生产尺寸,需要更换大量的相应尺寸的晶舟盒来装载晶片,对生产成本和生产效率都造成一定的影响,且晶片在运输的过程中往往会沾有灰尘,会影响接下来晶片的加工质量。

现有专利“cn208328174u”公开了一种调整式多尺寸衬底晶盒,包括主板,主板底端的两侧均设有挡板,两个挡板的一侧均设有三个垂直对应分布的穿孔槽,三个穿孔槽分别与两个螺柱穿插连接,两个螺柱分别设置在两个树脂条的一端,螺柱与树脂螺母螺纹连接,树脂条的一端均设有若干凹槽,主板一侧的底部开设有滑轨,滑轨与滑槽滑动连接,且滑槽开设在连接块的一侧,该装置在调节方面不能进行上下扩大,在需要存放的材质过大时无法装入衬底晶盒内,影响使用效果,且在防尘效果上也有所欠缺,容易使衬底晶盒内存放的材质造成损坏。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种密封性好,调节方便的调整式多尺寸衬底晶盒。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:本实用新型的一种调整式多尺寸衬底晶盒,包括衬底晶盒,所述衬底晶盒包括滑槽、树脂条、防尘网、伸缩板、支撑杆、第一连接槽、第二连接槽以及顶板安装块以及顶板,所述第一连接槽位于衬底晶盒的顶部,且位于衬底晶盒四边顶部的两端,所述第二连接槽位于衬底晶盒四边顶部两端的第一连接槽之间,所述滑槽位于衬底晶盒的前侧以及后侧,且贯穿衬底晶盒,所述树脂条位于衬底晶盒的内部,所述树脂条上的两端设有滑杆,且所述滑杆连通滑槽,所述树脂条至少设有两个,所述树脂条上设有调节槽以及调节板,所述调节板的底部与调节槽之间设有滑块连接,且所述调节板设有多个,所述顶板安装块位于衬底晶盒的两侧,且悬挂连接衬底晶盒,所述顶板安装块的顶部设有顶板槽,所述顶板的底部设有连接块,所述顶板通过连接块与顶板槽连接,既而固定连接顶板安装块,所述伸缩板以及支撑杆位于衬底晶盒的底部,且所述伸缩板与第二连接槽竖直水平设置,所述支撑杆与第一连接槽竖直水平设置,所述第一连接槽的外侧以及支撑杆上均设有固定孔,所述固定孔设有多个,且所述第一连接槽与支撑杆上的固定孔之间设有固定螺栓连接,所述防尘网位于衬底晶盒的内部,且位于滑槽的内侧,所述防尘网上设有通孔,且与滑槽水平设置,所述树脂条贯穿通孔,所述衬底晶盒设有多层,且所述衬底晶盒之间通过伸缩板与第二连接槽连接,以及支撑杆与第一连接槽连接,既而拼接,且所述第一连接槽与支撑杆上的固定孔之间设有固定螺栓连接。

为了提高保护效果,本实用新型改进有,所述衬底晶盒、树脂条、调节槽以及调节杆上均设有橡胶包裹层。

为了方便固定,本实用新型改进有,包括固定座,所述固定座上设有固定螺栓,且所述固定螺栓贯穿固定座并位于固定座的边角处,所述固定螺栓与固定座之间设有紧固螺母,所述固定座与最底层的衬底晶盒连接。

为了提高防尘效果,本实用新型改进有,所述树脂条上设有拉伸过滤网,所述树脂条上设有拉伸过滤网,且所述拉伸过滤网连接在两个树脂条之间以及树脂条与衬底晶盒之间,且位于防尘网与滑槽之间。

为了提高橡胶包括层的使用效果,本实用新型改进有,所述橡胶包裹层的外层设有防滑纹。

为了提高使用效果,本实用新型改进有,所述滑槽的底部以及橡胶条上均设有量度单位。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种调整式多尺寸衬底晶盒,具备以下有益效果:

该调整式多尺寸衬底晶盒通过在衬底晶盒内设置防尘网,并与滑槽之间形成防区,将密封不严处掉落的灰尘隔离在防尘区内,提高衬底晶盒的防尘效果,既而提高衬底晶盒对镜片的保存效果,衬底晶盒分层处通过支撑杆与第一连接槽拼接,并通过调节支撑杆以及第一连接槽上不同位置的固定孔,在调整之后并用固定螺栓固定,来升降高度,并通过伸缩板将升降后衬底晶盒处产生的缝隙进行密封,防止落入灰尘,提高保存效果,并增加保存的数量,以及保存更大尺存的镜片。

附图说明

图1为本实用新型的整体正视结构示意图;

图2为本实用新型图的伸缩板以及支撑杆展开结构示意图;

图3为本实用新型图的衬底晶盒结构示意图;

图4为本实用新型图的整体顶视结构示意图;

图中:1、衬底晶盒;2、滑槽;3、滑杆;4、固定孔;5、顶板安装块;6、顶板;7、伸缩板;8、支撑杆;9、树脂条;10、防尘网;11、调节槽;12、调节板;13、第一连接槽;14、第二连接槽;15、顶板槽;16、固定座;17、固定螺栓;18、紧固螺母;19、拉伸过滤网;

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4,本实用新型的一种调整式多尺寸衬底晶盒,包括衬底晶盒1,所述衬底晶盒1包括滑槽2、树脂条9、防尘网10、伸缩板7、支撑杆8、第一连接槽13、第二连接槽14以及顶板安装块5以及顶板6,所述第一连接槽13位于衬底晶盒1的顶部,且位于衬底晶盒1四边顶部的两端,所述第二连接槽14位于衬底晶盒1四边顶部两端的第一连接槽13之间,所述滑槽2位于衬底晶盒1的前侧以及后侧,且贯穿衬底晶盒1,所述树脂条9位于衬底晶盒1的内部,所述树脂条9上的两端设有滑杆3,且所述滑杆3连通滑槽2,所述树脂条9至少设有两个,所述树脂条9上设有调节槽11以及调节板12,所述调节板12的底部与调节槽11之间设有滑块连接,且所述调节板12设有多个,所述顶板安装块5位于衬底晶盒1的两侧,且悬挂连接衬底晶盒1,所述顶板安装块5的顶部设有顶板槽15,所述顶板6的底部设有连接块,所述顶板6通过连接块与顶板槽15连接,既而固定连接顶板安装块5,所述伸缩板7以及支撑杆8位于衬底晶盒1的底部,且所述伸缩板7与第二连接槽14竖直水平设置,所述支撑杆8与第一连接槽13竖直水平设置,所述第一连接槽13的外侧以及支撑杆8上均设有固定孔4,所述固定孔4设有多个,且所述第一连接槽13与支撑杆8上的固定孔4之间设有固定螺栓17连接,所述防尘网10位于衬底晶盒1的内部,且位于滑槽2的内侧,所述防尘网10上设有通孔,且与滑槽2水平设置,所述树脂条9贯穿通孔,所述衬底晶盒1设有多层,且所述衬底晶盒1之间通过伸缩板7与第二连接槽14连接,以及支撑杆8与第一连接槽13连接,既而拼接,且所述第一连接槽13与支撑杆8上的固定孔4之间设有固定螺栓17连接。

本实用新型的整式多尺寸衬底晶盒1在使用时,通过在衬底晶盒1内设置防尘网10,并与滑槽2之间形成防区,将密封不严处掉落的灰尘隔离在防尘区内,提高衬底晶盒1的防尘效果,既而提高衬底晶盒1对镜片的保存效果,衬底晶盒1分层处通过支撑杆8与第一连接槽13拼接,并通过调节支撑杆8以及第一连接槽13上不同位置的固定孔4,在调整之后并用固定螺栓17固定,来升降高度,并通过伸缩板7将升降后衬底晶盒1处产生的缝隙进行密封,防止落入灰尘,提高保存效果,并增加保存的数量,以及保存更大尺存的镜片,在保存时将顶板6上的连接块与顶板6上的顶板槽15分离,既而将顶板6与衬底晶盒1分离,并通过调节槽11移动调节板12在树脂条9上的位置,将晶片卡住进行保存,并通过移动滑杆3在滑槽2上的位置,调节衬底晶盒1内两个树脂条9之间的位置,并与晶片的尺寸匹配,提高保存效果,通过将支撑杆8与第一连接槽13拆分以及伸缩板7与第二连接槽14拆分实现衬底晶盒1的分离。

为了提高保护效果,本实用新型改进有,所述衬底晶盒1、树脂条9、调节槽11以及调节杆上均设有橡胶包裹层,通过橡胶包裹层防止在保存时对晶片造成磨损而损坏。

为了方便固定,本实用新型改进有,包括固定座16,所述固定座16上设有固定螺栓17,且所述固定螺栓17贯穿固定座16并位于固定座16的边角处,所述固定螺栓17与固定座16之间设有紧固螺母18,所述固定座16与最底层的衬底晶盒1连接,在固定时通过将固定座16上的固定螺栓17与平面连接实现固定。

为了提高防尘效果,本实用新型改进有,所述树脂条9上设有拉伸过滤网19,所述树脂条9上设有拉伸过滤网19,且所述拉伸过滤网19连接在两个树脂条9之间以及树脂条9与衬底晶盒1之间,且位于防尘网10与滑槽2之间,拉伸过滤网19为具有弹性的过滤网,在滑动树脂条9时,通过拉伸过滤网19将滑动槽处密封,防止灰尘进入。

为了提高橡胶包括层的使用效果,本实用新型改进有,所述橡胶包裹层的外层设有防滑纹,通过防滑纹使衬底晶盒1在搬动时不宜掉落,晶片在固定增加摩擦力,防止滑动。

为了提高使用效果,本实用新型改进有,所述滑槽的底部以及橡胶条上均设有量度单位,通过量度单位快速的调节与晶片相匹配的尺寸。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:

1.一种调整式多尺寸衬底晶盒,其特征在于,包括衬底晶盒(1),所述衬底晶盒(1)包括滑槽(2)、树脂条(9)、防尘网(10)、伸缩板(7)、支撑杆(8)、第一连接槽(13)、第二连接槽(14)以及顶板安装块(5)以及顶板(6),所述第一连接槽(13)位于衬底晶盒(1)的顶部,且位于衬底晶盒(1)四边顶部的两端,所述第二连接槽(14)位于衬底晶盒(1)四边顶部两端的第一连接槽(13)之间,所述滑槽(2)位于衬底晶盒(1)的前侧以及后侧,且贯穿衬底晶盒(1),所述树脂条(9)位于衬底晶盒(1)的内部,所述树脂条(9)上的两端设有滑杆(3),且所述滑杆(3)连通滑槽(2),所述树脂条(9)至少设有两个,所述树脂条(9)上设有调节槽(11)以及调节板(12),所述调节板(12)的底部与调节槽(11)之间设有滑块连接,且所述调节板(12)设有多个,所述顶板安装块(5)位于衬底晶盒(1)的两侧,且悬挂连接衬底晶盒(1),所述顶板安装块(5)的顶部设有顶板槽(15),所述顶板(6)的底部设有连接块,所述顶板(6)通过连接块与顶板槽(15)连接,既而固定连接顶板安装块(5),所述伸缩板(7)以及支撑杆(8)位于衬底晶盒(1)的底部,且所述伸缩板(7)与第二连接槽(14)竖直水平设置,所述支撑杆(8)与第一连接槽(13)竖直水平设置,所述第一连接槽(13)的外侧以及支撑杆(8)上均设有固定孔(4),所述固定孔(4)设有多个,且所述第一连接槽(13)与支撑杆(8)上的固定孔(4)之间设有固定螺栓(17)连接,所述防尘网(10)位于衬底晶盒(1)的内部,且位于滑槽(2)的内侧,所述防尘网(10)上设有通孔,且与滑槽(2)水平设置,所述树脂条(9)贯穿通孔,所述衬底晶盒(1)设有多层,且所述衬底晶盒(1)之间通过伸缩板(7)与第二连接槽(14)连接,以及支撑杆(8)与第一连接槽(13)连接,既而拼接,且所述第一连接槽(13)与支撑杆(8)上的固定孔(4)之间设有固定螺栓(17)连接。

2.根据权利要求1所述的一种调整式多尺寸衬底晶盒,其特征在于,所述衬底晶盒(1)、树脂条(9)、调节槽(11)以及调节板(12)上均设有橡胶包裹层。

3.根据权利要求1所述的一种调整式多尺寸衬底晶盒,其特征在于,所述树脂条(9)上设有拉伸过滤网(19),且所述拉伸过滤网(19)连接在两个树脂条(9)之间以及树脂条(9)与衬底晶盒(1)之间,且位于防尘网(10)与滑槽(2)之间。

4.根据权利要求1所述的一种调整式多尺寸衬底晶盒,其特征在于,包括固定座(16),所述固定座(16)上设有固定螺栓(17),且所述固定螺栓(17)贯穿固定座(16)并位于固定座(16)的边角处,所述固定螺栓(17)与固定座(16)之间设有紧固螺母(18),所述固定座(16)与最底层的衬底晶盒(1)连接。

5.根据权利要求2所述的一种调整式多尺寸衬底晶盒,其特征在于,所述橡胶包裹层的外层设有防滑纹。

6.根据权利要求1所述的一种调整式多尺寸衬底晶盒,其特征在于,所述滑槽(2)的底部以及橡胶条上均设有量度单位。

技术总结
本实用新型涉及衬底晶盒领域,具体为一种调整式多尺寸衬底晶盒,包括衬底晶盒,所述衬底晶盒包括滑槽、树脂条、防尘网、伸缩板、支撑杆、第一连接槽、第二连接槽以及顶板安装块以及顶板,通过在衬底晶盒内设置防尘网,并与滑槽之间形成防区,将密封不严处掉落的灰尘隔离在防尘区内,提高衬底晶盒的防尘效果,既而提高衬底晶盒对镜片的保存效果,衬底晶盒分层处通过支撑杆与第一连接槽拼接,并通过调节支撑杆以及第一连接槽上不同位置的固定孔,在调整之后并用固定螺栓固定,来升降高度,并通过伸缩板将升降后衬底晶盒处产生的缝隙进行密封,防止落入灰尘,提高保存效果,并增加保存的数量,以及保存更大尺存的镜片。

技术研发人员:何淑英
受保护的技术使用者:广州市鸿浩光电半导体有限公司
技术研发日:2020.12.18
技术公布日:2021.08.03

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