本实用新型涉及一种新型石英承载器。
背景技术:
石英材料具有良好的物理及化学稳定性,普遍应用于半导体制造与加工行业中各种耐高温、耐腐蚀器具的制造。石英承载器是用于承载电子片材的装置,现有技术中的石英承载器根据所需承载电子片材的尺寸进行定制,定制出来的石英承载器往往只能适应一种厚度尺寸的电子片材,当电子片材规格不同时,需要更换石英承载器对电子片材进行承载,这样就造成了成本的提高。
技术实现要素:
本实用新型的目的在于提供一种新型石英承载器,其结构合理,可承载不同厚度尺寸的电子片材,从而提高石英承载器的实用性。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案是设计一种新型石英承载器,包括两个支撑板,以及连接在两个支撑板之间的若干个石英棒,所述若干个石英棒在两个支撑板之间形成承载区;所述支撑板上设有供石英棒插入的通孔,所述石英棒的端部可转动的插接于支撑板的通孔中,且石英棒的端部沿轴向延伸形成位于支撑板外侧的锁紧段,所述锁紧段上设有外螺纹,该外螺纹上连接有锁紧螺母;所述石英棒上设有若干组定位组件,该若干组定位组件沿石英棒的周向均布,每组所述定位组件包括若干个定位块,该若干个定位块沿石英棒的轴向等间距布置,相邻两个所述定位块之间形成定位卡槽,且若干组所述定位组件中定位卡槽的槽宽各不相同。
优选的,所述石英棒的外壁沿径向延伸形成位于支撑板内侧的限位挡环。
优选的,所述石英棒上的定位组件的数量为四个。
优选的,所述石英棒的数量为三个,该三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒和两个侧部支撑石英棒,所述两个侧部支撑石英棒分别位于底部支撑石英棒的上方两侧。
本实用新型的优点和有益效果在于:提供一种新型石英承载器,其结构合理,可承载不同厚度尺寸的电子片材,从而提高石英承载器的实用性。
使用时,将电子片材的边沿插入三个石英棒的定位卡槽中,以对电子片材进行定位;在需要承载另一厚度的电子片材时,可转动各石英棒,以选择合适的定位组件进行使用,所选用的定位组件中定位卡槽的槽宽应与需承载的电子片材厚度相适配,并且三个石英棒所使用的定位组件中定位卡槽的槽宽一致,完成后通过拧紧锁紧螺母将石英棒固定,之后便可将电子片材的边沿插入各石英棒的定位卡槽中。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
图2是本实用新型中支撑板的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
本实用新型具体实施的技术方案是:
如图1和图2所示,一种新型石英承载器,包括两个支撑板1,以及连接在两个支撑板1之间的若干个石英棒,所述若干个石英棒在两个支撑板1之间形成承载区;所述支撑板1上设有供石英棒插入的通孔2,所述石英棒的端部可转动的插接于支撑板1的通孔2中,且石英棒的端部沿轴向延伸形成位于支撑板1外侧的锁紧段3,所述锁紧段3上设有外螺纹,该外螺纹上连接有锁紧螺母4;所述石英棒上设有若干组定位组件,该若干组定位组件沿石英棒的周向均布,每组所述定位组件包括若干个定位块5,该若干个定位块5沿石英棒的轴向等间距布置,相邻两个所述定位块5之间形成定位卡槽6,且若干组所述定位组件中定位卡槽6的槽宽各不相同。
上述石英棒的外壁沿径向延伸形成位于支撑板1内侧的限位挡环7。
上述石英棒上的定位组件的数量为四个。
上述石英棒的数量为三个,该三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒8和两个侧部支撑石英棒9,两个侧部支撑石英棒9分别位于底部支撑石英棒8的上方两侧。
本实用新型的优点和有益效果在于:提供一种新型石英承载器,其结构合理,可承载不同厚度尺寸的电子片材,从而提高石英承载器的实用性。
使用时,将电子片材的边沿插入三个石英棒的定位卡槽6中,以对电子片材进行定位;在需要承载另一厚度的电子片材时,可转动各石英棒,以选择合适的定位组件进行使用,所选用的定位组件中定位卡槽6的槽宽应与需承载的电子片材厚度相适配,并且三个石英棒所使用的定位组件中定位卡槽6的槽宽一致,完成后通过拧紧锁紧螺母4将石英棒固定,之后便可将电子片材的边沿插入各石英棒的定位卡槽6中。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
1.一种新型石英承载器,包括两个支撑板,以及连接在两个支撑板之间的若干个石英棒,所述若干个石英棒在两个支撑板之间形成承载区,其特征在于,所述支撑板上设有供石英棒插入的通孔,所述石英棒的端部可转动的插接于支撑板的通孔中,且石英棒的端部沿轴向延伸形成位于支撑板外侧的锁紧段,所述锁紧段上设有外螺纹,该外螺纹上连接有锁紧螺母;所述石英棒上设有若干组定位组件,该若干组定位组件沿石英棒的周向均布,每组所述定位组件包括若干个定位块,该若干个定位块沿石英棒的轴向等间距布置,相邻两个所述定位块之间形成定位卡槽,且若干组所述定位组件中定位卡槽的槽宽各不相同。
2.根据权利要求1所述的新型石英承载器,其特征在于,所述石英棒的外壁沿径向延伸形成位于支撑板内侧的限位挡环。
3.根据权利要求2所述的新型石英承载器,其特征在于,所述石英棒上的定位组件的数量为四个。
4.根据权利要求3所述的新型石英承载器,其特征在于,所述石英棒的数量为三个,该三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒和两个侧部支撑石英棒,所述两个侧部支撑石英棒分别位于底部支撑石英棒的上方两侧。
技术总结