本实用新型涉及半导体晶圆冷却技术领域，具体为一种半导体晶圆快速冷却控制装置。
背景技术：
众所周知，半导体晶圆在电器元件中起到至关重要的作用，其表面洁净度，产品质量直接决定了电器元件使用寿命的长短，半导体晶圆在生产制造过程中为了保证半导体晶圆的质量需要对半导体晶圆快速降温。
如对公开号为“cn207503922u”专利名为“一种半导体晶圆快速冷却控制装置”的专利，专利公开了“本实用新型公开了一种半导体晶圆快速冷却控制装置，包括冷却箱，在冷却箱的顶部安装有三个电机，且在冷却箱的正面设有控制盒，所述控制盒上设有操作键盘和显示器，所述冷却箱的中部自右向左贯穿有传送带，在每个电机的电机轴上安装有保护套，且在保护套的内部安装有出风口，由于每个电机轴上均设有出风口，从而使得冷风能够直接对准半导体晶圆吹，进而快速降低半导体晶圆的温度，同时设置三个电机分梯度降温，进而保证降温效果好且不会导致半导体晶圆急剧冷却带来的负面危害，由于设置操作键盘配合显示器可以直观准确控制冷却箱内的冷却温度，进而实现了有效控制，精确控制，另外设置传送带从而使得该装置可以批量降温，进而值得推广”。
现有的半导体晶圆快速冷却控制装置在使用时发现，其结构复杂，并且冷却速度慢，从而导致生产效率低。
技术实现要素：
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种结构简单，实用性强，并且冷却速度快的一种半导体晶圆快速冷却控制装置。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆快速冷却控制装置，包括箱体、传送装置、中控器、冷却仓以及预冷仓，所述箱体上设有工作台、水箱以及液氮箱，所述工作台安装在箱体的上端，所述水箱以及液氮箱均安装在箱体的内部，所述水箱上设有进水管以及回水管，所述进水管上设有输水泵，所述液氮箱上设有液氮运输管，所述冷却仓以及预冷仓均安装在工作台的上端，并且所述预冷仓安装在冷却仓的一侧，所述预冷仓上设有冷凝管，所述冷凝管安装在预冷仓的内壁上，并且所述冷凝管的一端连接进水管，另一端连接回水管，所述冷却仓上设有冷风机以及液氮控制器，所述液氮控制器的一端通过液氮运输管连接液氮箱，另一端与中控器之间设有导线连接，所述冷风机以及液氮控制器均安装在冷却仓的上端，并且所述冷风机上设有冷风口，所述液氮控制器上设有液氮出口，且所述冷风口以及液氮出口均安装在冷却仓的内部，所述中控器位于箱体的一侧，并且与冷风机之间设有导线连接，所述中控器上设有显示屏以及控制按键，所述传送装置设有两个，并且结构相同，且分别位于箱体的两侧，所述传送装置包括电机以及传动轮，所述传动轮安装在电机上，并且所述传动轮之间设有传送带连接。
为了提高本结构的实用性，本实用新型的改进有，所述冷却仓的内部设有温度传感器，所述温度传感器的内部设有无线传输器，并且通过无线信号连接中控器，所述传送带上设有盛放盒，所述存放盒固定安装在传送带上，所述水箱与液氮箱之间设有隔离板，所述传送装置的底端以及箱体的底端均设有底轮，所述冷却仓上设有观察视镜。
为了防止冷风口将杂质吹到盛放盒上，本实用新型的改进有，所述冷风口上设有过滤网，所述过滤网与冷风口之间设有螺栓连接。
为了防止箱体内部受潮，本实用新型的改进有，所述箱体的内部设有吸水层。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体晶圆快速冷却控制装置，具备以下有益效果：
该半导体晶圆快速冷却控制装置，包括箱体、传送装置、中控器、冷却仓以及预冷仓，所述箱体上设有工作台、水箱以及液氮箱，所述工作台安装在箱体的上端，所述水箱以及液氮箱均安装在箱体的内部，所述水箱上设有进水管以及回水管，所述进水管上设有输水泵，所述液氮箱上设有液氮运输管，所述预冷仓上设有冷凝管，所述冷凝管安装在预冷仓的内壁上，所述冷却仓上设有冷风机以及液氮控制器，通过设有冷凝管以及水箱，使预冷仓具有预冷的效果，防止半导体晶圆遇到突然的低温而发生损坏，通过设有冷风机，使冷却仓的冷却效果的以提高，通过设有设有液氮箱以及液氮控制器，使冷却仓的降温速递提高，所述液氮控制器的一端通过液氮运输管连接液氮箱，另一端与中控器之间设有导线连接，通过液氮控制器与中控器之间设有导线连接，防止液氮摄入过量而对半导体晶圆造成损害。
附图说明
图1为本实用新型的刨面图；
图2为本实用新型的侧视图；
图3为本实用新型结构示意图1中预冷仓的侧视图；
图中：1、箱体；2、冷却仓；3、预冷仓；4、传送装置；5、传动轮；6、传送带；7、盛放盒；8、温度传感器；9、冷风机；10、冷风口；11、过滤网；12、液氮控制器；13、液氮出口；14、冷凝管；15、水箱；16、进水管；17、输水泵；18、回水管；19、液氮箱；20、液氮运输管；21、中控器；22、显示屏；23、控制按键；
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，包括箱体1、传送装置4、中控器21、冷却仓2以及预冷仓3，所述箱体1上设有工作台、水箱15以及液氮箱19，所述工作台安装在箱体1的上端，所述水箱15以及液氮箱19均安装在箱体1的内部，所述水箱15上设有进水管16以及回水管18，所述进水管16上设有输水泵17，所述液氮箱19上设有液氮运输管20，所述冷却仓2以及预冷仓3均安装在工作台的上端，并且所述预冷仓3安装在冷却仓2的一侧，所述预冷仓3上设有冷凝管14，所述冷凝管14安装在预冷仓3的内壁上，并且所述冷凝管14的一端连接进水管16，另一端连接回水管18，所述冷却仓2上设有冷风机9以及液氮控制器12，所述液氮控制器12的一端通过液氮运输管20连接液氮箱19，另一端与中控器21之间设有导线连接，所述冷风机9以及液氮控制器12均安装在冷却仓2的上端，并且所述冷风机9上设有冷风口10，所述液氮控制器12上设有液氮出口13，且所述冷风口10以及液氮出口13均安装在冷却仓2的内部，所述中控器21位于箱体1的一侧，并且与冷风机9之间设有导线连接，所述中控器21上设有显示屏22以及控制按键23，所述传送装置4设有两个，并且结构相同，且分别位于箱体1的两侧，所述传送装置4包括电机以及传动轮5，所述传动轮5安装在电机上，并且所述传动轮5之间设有传送带6连接。
本实用新型的半导体晶圆快速冷却控制装置在使用时，箱体1起着承载水箱15以及液氮箱19的作用，首先将半导体晶圆放到传送装置4上，电机带动传动轮5旋转，传动轮5带动传送带6进行运输，工作台起到支撑预冷仓3以及冷却仓2的效果，传送带6上的半导体晶圆会首先进入预冷仓3，在这里，输水泵17通过进水管16将水从水箱15运输至冷凝管14中，冷凝管14中的水通过回水管18再进入到水箱15当中，从而起到了预冷的目的，通过进行预冷处理，防止半导体晶圆遇到突然的低温而发生损坏，经过预冷处理后，接下来半导体晶圆会进入到冷却仓2中，然后液氮控制器12会通过液氮运输管20，将液氮从液氮箱19内“取出”，从液氮出口13处“放出”，并且“放出”液氮的这一过程，全程通过中控器2121进行控制，通过控制按钮23进行操作，从而防止液氮放入过多损伤半导体晶圆，之后冷风机9启动，冷风口10处会向冷却仓2内吹入冷风，通过冷风来维持冷却仓2内部的温度，从而达到了快速冷却的效果。
为了提高本结构的实用性，本实用新型的改进有，所述冷却仓2的内部设有温度传感器8，所述温度传感器8的内部设有无线传输器，并且通过无线信号连接中控器21，所述传送带6上设有盛放盒7，所述存放盒固定安装在传送带6上，所述水箱15与液氮箱19之间设有隔离板，所述传送装置4的底端以及箱体1的底端均设有底轮，所述冷却仓2上设有观察视镜，通过温度传感器8可以检测冷却仓2内部的温度，并且将检测到的温度通过无线信号传输到中控器2121中，进一步的通过中控器2121来调节冷风机9，并且冷却仓2的内部的温度，通过显示屏22来显示，从而维持冷却仓2内的温度，通过设有盛放盒7，给半导体晶圆施加了一个限位效果，通过设有底轮，方便了传送装置4以及箱体1的移动，通过设有隔离板，隔离了水箱15以及液氮箱19，通过设有观察视镜，可以时刻对冷却仓2的内部情况进行观测，当有特殊情况时，方便及时进行处理。
为了防止冷风口10将杂质吹到盛放盒7上，本实用新型的改进有，所述冷风口10上设有过滤网11，所述过滤网11与冷风口10之间设有螺栓连接。
为了防止箱体1内部受潮，本实用新型的改进有，所述箱体1的内部设有吸水层，吸水层可以吸附箱体1内部的潮气。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，包括箱体(1)、传送装置(4)、中控器(21)、冷却仓(2)以及预冷仓(3)，所述箱体(1)上设有工作台、水箱(15)以及液氮箱(19)，所述工作台安装在箱体(1)的上端，所述水箱(15)以及液氮箱(19)均安装在箱体(1)的内部，所述水箱(15)上设有进水管(16)以及回水管(18)，所述进水管(16)上设有输水泵(17)，所述液氮箱(19)上设有液氮运输管(20)，所述冷却仓(2)以及预冷仓(3)均安装在工作台的上端，并且所述预冷仓(3)安装在冷却仓(2)的一侧，所述预冷仓(3)上设有冷凝管(14)，所述冷凝管(14)安装在预冷仓(3)的内壁上，并且所述冷凝管(14)的一端连接进水管(16)，另一端连接回水管(18)，所述冷却仓(2)上设有冷风机(9)以及液氮控制器(12)，所述液氮控制器(12)的一端通过液氮运输管(20)连接液氮箱(19)，另一端与中控器(21)之间设有导线连接，所述冷风机(9)以及液氮控制器(12)均安装在冷却仓(2)的上端，并且所述冷风机(9)上设有冷风口(10)，所述液氮控制器(12)上设有液氮出口(13)，且所述冷风口(10)以及液氮出口(13)均安装在冷却仓(2)的内部，所述中控器(21)位于箱体(1)的一侧，并且与冷风机(9)之间设有导线连接，所述中控器(21)上设有显示屏(22)以及控制按键(23)，所述传送装置(4)设有两个，并且结构相同，且分别位于箱体(1)的两侧，所述传送装置(4)包括电机以及传动轮(5)，所述传动轮(5)安装在电机上，并且所述传动轮(5)之间设有传送带(6)连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述冷却仓(2)的内部设有温度传感器(8)，所述温度传感器(8)的内部设有无线传输器，并且通过无线信号连接中控器(21)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述传送带(6)上设有盛放盒(7)，所述盛放盒固定安装在传送带(6)上。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述水箱(15)与液氮箱(19)之间设有隔离板。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述冷风口(10)上设有过滤网(11)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述过滤网(11)与冷风口(10)之间设有螺栓连接。
7.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述箱体(1)的内部设有吸水层。
8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述传送装置(4)的底端以及箱体(1)的底端均设有底轮。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种半导体晶圆快速冷却控制装置，其特征在于，所述冷却仓(2)上设有观察视镜。
技术总结