本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种浸泡高效的晶圆浸泡装置。
背景技术：
众所周知，目前，对于半导体行业中晶片湿法处理工艺经常需要使用化学液对晶圆进行浸泡处理；而现有的晶圆浸泡方式一般是采用整盒晶圆同时放入化学液槽中浸泡，到达预定时间后再整盒取出进行下一步的工艺处理，但在下一步的工艺处理时会出现每一片晶圆依次处理的情况，这样就造成了整盒晶圆每一片等待的时间都不同，可能会影响最终芯片的质量，所以如何实现每一片晶圆浸泡时间的均一性是一个不可避免的问题。
如对比公开专利“cn209708953u”名为“晶圆浸泡槽”，包括用于承装化学品的槽体，所述槽体具有进液管和排液管，所述槽体的旁侧设置有溢流槽，所述槽体的侧壁设置有与所述溢流槽连通的槽孔，该晶圆浸泡槽对多个晶圆浸泡时间不能进行统一处理，导致下一工序生产过程中出现不同的质量问题，不方便工作人员放取晶圆，如果浸泡物质接触人体皮肤后，会造成不同的灼伤等情况。
技术实现要素：
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种自动浸泡，多个晶圆浸泡时间统一浸泡高效的晶圆浸泡装置。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，包括箱体，所述箱体包括气压装置以及控制面板，所述气压装置包括气泵、支柱以及伸缩柱，所述伸缩柱安装在所述箱体的一侧，所述支柱安装在所述伸缩柱的顶端，且所述支柱连通所述伸缩柱，所述气泵安装在所述支柱的顶端，所述支柱的内部设有气压层，所述气泵的顶端设有气口，所述气泵连通所述气口以及气压层，所述气泵的一侧设有安装架，所述安装架的底端设有片盒，所述片盒设有通孔，所述通孔贯穿所述片盒，所述通孔设有多个，所述片盒的一侧设有安装门，所述安装门与所述片盒之间设有铰链连接，所述片盒的内部设有空腔，所述空腔的两侧设有安装块，所述安装块设有多个，所述安装块的外侧设有卡槽，所述箱体的内部设有浸泡腔，所述箱体的顶端设有开口，所述开口连通所述浸泡腔，所述浸泡腔的内壁上设有水位检测器，所述箱体的底端设有排出阀，所述排出阀连通所述浸泡腔，所述控制面板安装在所述箱体的一侧，所述控制面板与所述气泵、排出阀以及水位检测器之间设有电路线连接。
为了增加浸泡物质的浸泡效率，本实用新型改进有，所述箱体的底端设有加热器，所述加热器设有多个，所述浸泡腔的内部设有加热管，所述加热管连通所述加热器，所述控制面板与所述加热器之间设有电路线连接。
为了方便工作人员调整加热温度，来调整浸泡效率，本实用新型改进有，所述浸泡腔的内部设有温度检测器，所述加热器与所述温度检测器之间设有电路线连接，所述控制面板与所述温度检测器之间设有电路线连接。
为了方便工作人员检测浸泡状态，本实用新型改进有，所述箱体的一侧设有观察窗。
为了方便工作人员注入浸泡物质，本实用新型改进有，所述箱体的一侧设有进料管，所述进料管连通所述浸泡腔，所述进料管上设有水泵，所述水泵连通所述进料管，所述控制面板与所述水泵之间设有电路线连接。
为了防止浸泡物质腐蚀浸泡腔，本实用新型改进有，所述浸泡腔的内壁上涂有防腐漆。
为了方便该装置自动感应晶圆是否处在浸泡物质当中，本实用新型改进有，所述片盒的顶端设有感应器，所述控制面板与所述感应器之间设有电路线连接。
为了方便工作人员操作该设备，本实用新型改进有，所述控制面板包括控制单元、显示屏以及按键，所述控制单元与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，具备以下有益效果：
该浸泡高效的晶圆浸泡装置，通过气压装置的气泵将支柱在伸缩柱上进行伸缩移动，来调整高度，使安装架的片盒进入浸泡腔的内部，通过水位检测器进行检测浸泡腔内部的水位，方便工作人员根据水位高度进行调整支柱的下降高度，通过安装块上的卡槽方便晶圆进行固定，使多个晶圆之间留出空隙，通过片盒的多个通孔，使浸泡物质进入片盒内部，使晶圆充分接触浸泡物质，通过排出阀方便工作人员将浸泡物质快速排出，方便工作人员清理浸泡腔或更换浸泡物质。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构正视半剖图；
图3为本实用新型结构右视半剖图；
图4为本实用新型结构俯视半剖图；
图5为本实用新型图1中片盒的放大结构俯视半剖图；
图6为本实用新型图1中片盒的放大结构正视半剖图。
图中：1、箱体；2、控制面板；3、气泵；4、气口；5、支柱；6、伸缩柱；7、气压层；8、安装架；9、片盒；10、通孔；11、安装块；12、安装门；13、铰链；14、卡槽；15、观察窗；16、排出阀；17、水位检测器；18、加热器；19、加热管；20、温度检测器；21、浸泡腔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-6，本实用新型为一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，包括箱体1，所述箱体1包括气压装置以及控制面板2，所述气压装置包括气泵3、支柱5以及伸缩柱6，所述伸缩柱6安装在所述箱体1的一侧，所述支柱5安装在所述伸缩柱6的顶端，且所述支柱5连通所述伸缩柱6，所述气泵3安装在所述支柱5的顶端，所述支柱5的内部设有气压层7，所述气泵3的顶端设有气口4，所述气泵3连通所述气口4以及气压层7，所述气泵3的一侧设有安装架8，所述安装架8的底端设有片盒9，所述片盒9设有通孔10，所述通孔10贯穿所述片盒9，所述通孔10设有多个，所述片盒9的一侧设有安装门12，所述安装门12与所述片盒9之间设有铰链13连接，所述片盒9的内部设有空腔，所述空腔的两侧设有安装块11，所述安装块11设有多个，所述安装块11的外侧设有卡槽14，所述箱体1的内部设有浸泡腔21，所述箱体1的顶端设有开口，所述开口连通所述浸泡腔21，所述浸泡腔21的内壁上设有水位检测器17，所述箱体1的底端设有排出阀16，所述排出阀16连通所述浸泡腔21，所述控制面板2安装在所述箱体1的一侧，所述控制面板2与所述气泵3、排出阀16以及水位检测器17之间设有电路线连接。
综上所述，该浸泡高效的晶圆浸泡装置，在使用时，工作人员将浸泡物质倒入浸泡腔21内，将设备接入电源，通过控制面板2开启设备，控制面板2通过电路线进行控制气泵3、排出阀16和水位检测器17，工作人员通过打开安装门12，通过安装块11上的卡槽14方便晶圆进行固定，使多个晶圆之间留出空隙，通过气压装置的气泵3对气压层7将空气通过气口4排出，使支柱5在伸缩柱6上进行向下移动，来调整高度，使安装架8的片盒9进入浸泡腔21的内部，通过水位检测器17进行检测浸泡腔21内部的水位，方便工作人员根据水位高度进行调整支柱5的下降高度，通过片盒9的多个通孔10，使浸泡物质进入片盒9内部，使晶圆充分接触浸泡物质，通过排出阀16方便工作人员将浸泡物质快速排出，方便工作人员清理浸泡腔21或更换浸泡物质。
本实施例中，所述箱体1的底端设有加热器18，所述加热器18设有多个，所述浸泡腔21的内部设有加热管19，所述加热管19连通所述加热器18，所述控制面板2与所述加热器18之间设有电路线连接，增加浸泡物质的浸泡效率。
本实施例中，所述浸泡腔21的内部设有温度检测器20，所述加热器18与所述温度检测器20之间设有电路线连接，所述控制面板2与所述温度检测器20之间设有电路线连接，方便工作人员调整加热温度，来调整浸泡效率。
本实施例中，所述箱体1的一侧设有观察窗15，方便工作人员检测浸泡状态。
本实施例中，所述箱体1的一侧设有进料管，所述进料管连通所述浸泡腔21，所述进料管上设有水泵，所述水泵连通所述进料管，所述控制面板2与所述水泵之间设有电路线连接，方便工作人员注入浸泡物质。
本实施例中，所述浸泡腔21的内壁上涂有防腐漆，防止浸泡物质腐蚀浸泡腔。
本实施例中，所述片盒9的顶端设有感应器，所述控制面板2与所述感应器之间设有电路线连接，方便该装置自动感应晶圆是否处在浸泡物质当中。
本实施例中，所述控制面板2包括控制单元、显示屏以及按键，所述控制单元与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接，方便工作人员操作该设备。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)包括气压装置以及控制面板(2)，所述气压装置包括气泵(3)、支柱(5)以及伸缩柱(6)，所述伸缩柱(6)安装在所述箱体(1)的一侧，所述支柱(5)安装在所述伸缩柱(6)的顶端，且所述支柱(5)连通所述伸缩柱(6)，所述气泵(3)安装在所述支柱(5)的顶端，所述支柱(5)的内部设有气压层(7)，所述气泵(3)的顶端设有气口(4)，所述气泵(3)连通所述气口(4)以及气压层(7)，所述气泵(3)的一侧设有安装架(8)，所述安装架(8)的底端设有片盒(9)，所述片盒(9)设有通孔(10)，所述通孔(10)贯穿所述片盒(9)，所述通孔(10)设有多个，所述片盒(9)的一侧设有安装门(12)，所述安装门(12)与所述片盒(9)之间设有铰链(13)连接，所述片盒(9)的内部设有空腔，所述空腔的两侧设有安装块(11)，所述安装块(11)设有多个，所述安装块(11)的外侧设有卡槽(14)，所述箱体(1)的内部设有浸泡腔(21)，所述箱体(1)的顶端设有开口，所述开口连通所述浸泡腔(21)，所述浸泡腔(21)的内壁上设有水位检测器(17)，所述箱体(1)的底端设有排出阀(16)，所述排出阀(16)连通所述浸泡腔(21)，所述控制面板(2)安装在所述箱体(1)的一侧，所述控制面板(2)与所述气泵(3)、排出阀(16)以及水位检测器(17)之间设有电路线连接。
2.根据权利要求1所述的一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，所述箱体(1)的底端设有加热器(18)，所述加热器(18)设有多个，所述浸泡腔(21)的内部设有加热管(19)，所述加热管(19)连通所述加热器(18)，所述控制面板(2)与所述加热器(18)之间设有电路线连接。
3.根据权利要求2所述的一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，所述浸泡腔(21)的内部设有温度检测器(20)，所述加热器(18)与所述温度检测器(20)之间设有电路线连接，所述控制面板(2)与所述温度检测器(20)之间设有电路线连接。
4.根据权利要求1所述的一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，所述箱体(1)的一侧设有观察窗(15)。
5.根据权利要求1所述的一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，所述箱体(1)的一侧设有进料管，所述进料管连通所述浸泡腔(21)，所述进料管上设有水泵，所述水泵连通所述进料管，所述控制面板(2)与所述水泵之间设有电路线连接。
6.根据权利要求1所述的一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，所述浸泡腔(21)的内壁上涂有防腐漆。
7.根据权利要求1所述的一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，所述片盒(9)的顶端设有感应器，所述控制面板(2)与所述感应器之间设有电路线连接。
8.根据权利要求1所述的一种浸泡高效的晶圆浸泡装置，其特征在于，所述控制面板(2)包括控制单元、显示屏以及按键，所述控制单元与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接。
技术总结