本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆浸泡装置。
背景技术：
目前，对于半导体行业中晶片湿法处理工艺经常需要使用化学液对晶圆进行浸泡处理；而现有的晶圆浸泡方式一般是采用整盒晶圆同时放入化学液槽中浸泡，到达预定时间后再整盒取出进行下一步的工艺处理。
例如公开号为“cn201821643507.9”专利名称为：“大角度翻转晶圆浸泡装置”的专利，其公开了“包括片盒、储液槽、底板、电动执行器、倾斜连杆、倾斜气缸、升降连杆及传片窗口，该储液槽及电动执行器分别安装在底板上，片盒位于储液槽内，所述储液槽内的下部盛有浸泡晶片的化学液，上部的槽壁上开有供机械手将晶片送入片盒中的传片窗口；所述升降连杆的一端通过升降架与电动执行器的输出端相连，另一端插入所述储液槽内、与所述片盒铰接；所述倾斜气缸安装在升降架上，所述倾斜连杆内嵌于升降连杆中，一端与该倾斜气缸的输出端相连，另一端通过中间连杆组件与所述片盒铰接；所述电动执行器通过升降架带动升降连杆、倾斜气缸及倾斜连杆同步升降，进而带动所述片盒上升到与所述传片窗口相对应的高度取/放晶圆，或使片盒下降浸入到化学液以下浸泡晶圆，所述倾斜气缸通过倾斜连杆、中间连杆组件带动片盒翻转；所述升降连杆为内部中空结构，所述倾斜连杆与升降连杆同轴设置；所述中间连杆组件包括中间连杆a及中间连杆b，该中间连杆a铰接于所述片盒上，所述中间连杆b的一端与倾斜连杆的另一端相连，该中间连杆b的另一端与所述中间连杆a铰接；所述中间连杆a呈“u”形，该“u”形开口的两端分别铰接于所述片盒上；所述中间连杆b呈“l”形，该“l”形的一条边与所述倾斜连杆的另一端固接，另一条边与所述中间连杆a的“u”形底部中间铰接；所述储液槽的顶部安装有升降气缸，该升降气缸的输出端连接有开关所述传片窗口的挡板；所述传片窗口上开有与气源连接的吹气管；所述储液槽中设有对化学液直接加热的加热丝；所述储液槽上开有维修窗口，所述储液槽的顶面开有加液口，该储液槽的底面及底板上开有排液口；所述储液槽内设有感知化学液温度的温度传感器及感知化学液液位高度的液位传感器”。
但是现有的晶圆浸泡装置在使用时，浸泡时间较长，并且不方便进行使用。
技术实现要素：
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种实用性强、结构简单的晶圆浸泡装置。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶圆浸泡装置，包括机体，所述机体底部设置有安装箱，安装箱底端设置有底座，所述机体上设置有气缸，气缸底端设置有固定座，所述机体内部设置有伸缩杆，伸缩杆一端穿过固定座与气缸连接，所述伸缩杆底端设置有片盒，片盒一侧设置有放置槽，所述机体右侧设置有传片口，所述安装箱内部设置有储液槽，储液槽内部两端设置有加热器，所述储液槽内部设置有传动杆，传动杆上设置有搅拌叶，所述安装箱左侧设置有电机，电机一端设置有变速装置，所述传动杆一端与变速装置连接，所述安装箱外设置有观察窗，观察窗右侧设置有控制装置。
为了实现更好的固定，本实用新型改进有，所述固定座两侧设置有支撑杆，所述支撑杆一端与固定座焊接连接，另一端与机体顶端焊接连接。
为了实现更好的放置晶圆，本实用新型改进有，所述放置槽内底端设置有数个大小相同的卡槽，所述卡槽的大小与晶圆相适配。
为了实现更好的控制，本实用新型改进有，所述变速装置和加热器均匀控制装置电性连接，
为了实现更好的观察，本实用新型改进有，所述观察窗为钢化透明玻璃材质。
为了实现更好的使用，本实用新型改进有，所述加热器为加热电丝，所述电机为伺服电机。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆浸泡装置，具备以下有益效果：
该晶圆浸泡装置，在使用时，通过电机带动传动杆和搅拌叶，并配合加热器，使晶圆在储液槽内部得以快速和均匀的进行浸泡，并且搅拌叶的搅拌效果可以避免化学液在储液槽底部沉淀，提高浸泡装置的实用性，在片盒内的放置槽，将晶圆放在放置槽底端的卡槽内，卡槽与晶圆大小相适配，晶圆固定在卡槽内部，可以避免晶圆滑出。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型图1中a处的局部放大结构示意图；
图3为本实用新型图1的外部结构示意图；
图中：1.机体；2.安装箱；3.底座；4.气缸；5.支撑柱；6.固定座；7.伸缩杆；8.片盒；9.放置槽；10.传片口；11.电机；12.变速装置；13.传动杆；14.搅拌叶；15.储液槽；16.加热器；17.卡槽；18.观察窗；19.控制装置。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，一种晶圆浸泡装置，包括机体1，所述机体1底部设置有安装箱2，安装箱2底端设置有底座3，所述机体1上设置有气缸4，气缸4底端设置有固定座6，所述机体1内部设置有伸缩杆7，伸缩杆7一端穿过固定座6与气缸4连接，所述伸缩杆7底端设置有片盒8，片盒8一侧设置有放置槽9，所述机体1右侧设置有传片口10，所述安装箱2内部设置有储液槽15，储液槽15内部两端设置有加热器16，所述储液槽15内部设置有传动杆13，传动杆13上设置有搅拌叶14，所述安装箱2左侧设置有电机11，电机11一端设置有变速装置12，所述传动杆13一端与变速装置12连接，所述安装箱2外设置有观察窗18，观察窗18右侧设置有控制装置19。
为了实现更好的固定，本实用新型改进有，所述固定座6两侧设置有支撑杆5，所述支撑杆5一端与固定座6焊接连接，另一端与机体1顶端焊接连接。
为了实现更好的放置晶圆，本实用新型改进有，所述放置槽9内底端设置有数个大小相同的卡槽17，所述卡槽17的大小与晶圆相适配。
为了实现更好的控制，本实用新型改进有，所述变速装置12和加热器16均匀控制装置19电性连接，
为了实现更好的观察，本实用新型改进有，所述观察窗18为钢化透明玻璃材质。
为了实现更好的使用，本实用新型改进有，所述加热器16为加热电丝，所述电机11为伺服电机。
综上所述，该晶圆浸泡装置的工作原理和工作过程为，在使用时，首先将晶圆通过设备的机械臂放在片盒8的放置槽9内部，在放置槽9底端设置的卡槽17与晶圆大小相适配，放满晶圆后，通过气缸4使伸缩杆7进行下降至储液槽15内部进行浸泡，卡槽17可以将晶圆固定住，避免晶圆滑出，所述晶圆通过片盒8在储液槽15内，储液槽15内部两端设置的加热器16可以对化学液进行加热，并配合电机11带动传动杆13和搅拌叶14对化学液进行缓速的搅拌，使化学液对晶圆进行快速的均匀的进行浸泡，提高浸泡装置的工作效率，并且搅拌叶14的搅拌效果可以避免化学液在储液槽15底部沉淀，提高浸泡装置的实用性，所述机体1外部设置的观察窗18可以实时观察浸泡装置内部的情况，可以根据实际情况进行调整，提高了方便性，并通过控制装置19可以控制变速装置12，调整电机11的转动速度，也可以通过控制装置19调整加热器温度的高低，使浸泡装置使用起来更加方便快捷。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种晶圆浸泡装置，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)底部设置有安装箱(2)，安装箱(2)底端设置有底座(3)，所述机体(1)上设置有气缸(4)，气缸(4)底端设置有固定座(6)，所述机体(1)内部设置有伸缩杆(7)，伸缩杆(7)一端穿过固定座(6)与气缸(4)连接，所述伸缩杆(7)底端设置有片盒(8)，片盒(8)一侧设置有放置槽(9)，所述机体(1)右侧设置有传片口(10)，所述安装箱(2)内部设置有储液槽(15)，储液槽(15)内部两端设置有加热器(16)，所述储液槽(15)内部设置有传动杆(13)，传动杆(13)上设置有搅拌叶(14)，所述安装箱(2)左侧设置有电机(11)，电机(11)一端设置有变速装置(12)，所述传动杆(13)一端与变速装置(12)连接，所述安装箱(2)外设置有观察窗(18)，观察窗(18)右侧设置有控制装置(19)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡装置，其特征在于：所述固定座(6)两侧设置有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)一端与固定座(6)焊接连接，另一端与机体(1)顶端焊接连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡装置，其特征在于：所述放置槽(9)内底端设置有数个大小相同的卡槽(17)，所述卡槽(17)的大小与晶圆相适配。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡装置，其特征在于：所述电机(11)和加热器(16)均匀控制装置(19)电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆浸泡装置，其特征在于：所述观察窗(18)为钢化透明玻璃材质。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆浸泡装置，其特征在于：所述加热器(16)为加热电丝，所述电机(11)为伺服电机(11)。
技术总结