本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种辊式扩散炉。
背景技术：
参见中国发明专利201310576844.6，辊式扩散炉是一种连续扩散设备。辊式扩散炉采用若干个平行安装的陶瓷辊作为传统器件，带动硅片进行连续的扩散处理。由于陶瓷辊是直接接触硅片的器件，在使用过程中其表面容易出现划痕、缺损等损伤。为了避免带有损伤的陶瓷辊对硅片产生损坏，需要对出现损伤的陶瓷辊进行更换。但是，现有的辊式扩散炉在更换陶瓷辊时操作复杂，费时费力。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是提供一种辊式扩散炉，能够解决现有技术的不足，便于陶瓷辊的更换。
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下。
一种辊式扩散炉，包括炉体，所述炉体的后侧均匀设置有若干个齿轮，齿轮通过链条与驱动电机连接，齿轮的前侧设置有方孔，炉体的前侧设置有侧板，侧板上设置有与齿轮一一对应的轴套，侧板外侧安装有密封板，齿轮和轴套之间安装有辊子，辊子的一端设置有定位方块，定位方块卡接在方孔内，辊子的另一端设置有轴头，轴头插接固定在轴套内，辊子的轴心设置有轴向的气体输送管，侧板上安装有供气管路，供气管路与气体输送管相连通，辊子的表面设置有至少两组陶瓷辊套，相邻两组陶瓷辊套之间设置有第一间隙，位于第一间隙内的辊子表面设置有第一出气孔，每组陶瓷辊套中至少包括两个陶瓷辊套，同一组陶瓷辊套在辊子的表面环形排布安装，同一组陶瓷辊套之间设置有第二间隙，位于间隙内的辊子表面设置有第二出气孔，气体输送管与第一出气孔和第二出气孔相连通。
作为优选，所述辊子表面设置有凸台，凸台上设置有螺纹孔，陶瓷辊套上设置有与螺纹孔对应的通孔，陶瓷辊套通过螺栓穿过通孔固定在螺纹孔内，凸台的两侧设置有金属弹片，金属弹片的底部固定在辊子表面，金属弹片的顶部与陶瓷辊套相接触。
作为优选，所述第一出气孔和第二出气孔的表面固定有金属布气板。
作为优选，所述金属布气板与陶瓷辊套之间设置有第三间隙。
采用上述技术方案所带来的有益效果在于：本实用新型在扩散炉的前侧专门设计了拆装辊子的位置，不需要进入炉体内部操作。辊子采用直接插接的方式进行固定，便于在炉体外侧直接拆装操作。由于辊子的损伤主要集中在表面的陶瓷层，本实用新型将陶瓷层设计为可更换结构，可只更换出现损伤的部分，降低了设备维护成本。与此同时扩散炉的进气孔不设置在陶瓷辊套上，而是设置在陶瓷辊套之间的安装间隙中，不仅降低了陶瓷辊套的加工成本，而且便于陶瓷辊套的拆装。陶瓷辊套通过螺栓固定后，利用金属弹片对固定位置进行额外的支撑，以提高金属弹片固定位置的受力均匀度，起到保护陶瓷辊套的作用。
附图说明
图1是本实用新型一个具体实施方式的结构图。
图2是本实用新型一个具体实施方式中a-a方向的剖视图。
图3是本实用新型一个具体实施方式中陶瓷辊套固定位置的局部放大图。
具体实施方式
参照图1-3，本实用新型一个具体实施方式包括炉体1，所述炉体1的后侧均匀设置有若干个齿轮2，齿轮2通过链条3与驱动电机（图中未示出）连接，齿轮2的前侧设置有方孔5，炉体1的前侧设置有侧板6，侧板6上设置有与齿轮2一一对应的轴套7，侧板6外侧安装有密封板8，齿轮2和轴套7之间安装有辊子9，辊子9的一端设置有定位方块10，定位方块10卡接在方孔5内，辊子9的另一端设置有轴头11，轴头11插接固定在轴套7内，辊子9的轴心设置有轴向的气体输送管12，侧板6上安装有供气管路13，供气管路13与气体输送管12相连通，辊子9的表面设置有至少两组陶瓷辊套14，相邻两组陶瓷辊套14之间设置有第一间隙15，位于第一间隙15内的辊子9表面设置有第一出气孔16，每组陶瓷辊套14中至少包括两个陶瓷辊套14，同一组陶瓷辊套14在辊子9的表面环形排布安装，同一组陶瓷辊套14之间设置有第二间隙17，位于第二间隙17内的辊子9表面设置有第二出气孔18，气体输送管12与第一出气孔16和第二出气孔18相连通。辊子9表面设置有凸台19，凸台19上设置有螺纹孔20，陶瓷辊套14上设置有与螺纹孔20对应的通孔21，陶瓷辊套14通过螺栓22穿过通孔21固定在螺纹孔20内，凸台19的两侧设置有金属弹片23，金属弹片23的底部固定在辊子9表面，金属弹片23的顶部与陶瓷辊套14相接触。第一出气孔16和第二出气孔18的表面固定有金属布气板24。金属布气板24与陶瓷辊套14之间设置有第三间隙4。
本实用新型的拆装过程为：拆卸密封板8，将供气管路13与气体输送管12拆开，将辊子9缓慢从炉体1内抽出；然后将出现损伤的陶瓷辊套14拆下，更换新的陶瓷辊套14，将辊子9对准轴套7缓慢插入，当定位方块10接触到方孔5时，缓慢旋转辊子9，使定位方块10卡入方孔5，重新将供气管路13与气体输送管12连接，然后安装密封板8，完成整个拆装过程。
炉体1内的其它结构装置（例如加热装置、防尘装置、排风系统等）属于本领域的公知常识，在此不再详述。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
1.一种辊式扩散炉，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的后侧均匀设置有若干个齿轮（2），齿轮（2）通过链条（3）与驱动电机连接，齿轮（2）的前侧设置有方孔（5），炉体（1）的前侧设置有侧板（6），侧板（6）上设置有与齿轮（2）一一对应的轴套（7），侧板（6）外侧安装有密封板（8），齿轮（2）和轴套（7）之间安装有辊子（9），辊子（9）的一端设置有定位方块（10），定位方块（10）卡接在方孔（5）内，辊子（9）的另一端设置有轴头（11），轴头（11）插接固定在轴套（7）内，辊子（9）的轴心设置有轴向的气体输送管（12），侧板（6）上安装有供气管路（13），供气管路（13）与气体输送管（12）相连通，辊子（9）的表面设置有至少两组陶瓷辊套（14），相邻两组陶瓷辊套（14）之间设置有第一间隙（15），位于第一间隙（15）内的辊子（9）表面设置有第一出气孔（16），每组陶瓷辊套（14）中至少包括两个陶瓷辊套（14），同一组陶瓷辊套（14）在辊子（9）的表面环形排布安装，同一组陶瓷辊套（14）之间设置有第二间隙（17），位于第二间隙（17）内的辊子（9）表面设置有第二出气孔（18），气体输送管（12）与第一出气孔（16）和第二出气孔（18）相连通。
2.根据权利要求1所述的辊式扩散炉，其特征在于：所述辊子（9）表面设置有凸台（19），凸台（19）上设置有螺纹孔（20），陶瓷辊套（14）上设置有与螺纹孔（20）对应的通孔（21），陶瓷辊套（14）通过螺栓（22）穿过通孔（21）固定在螺纹孔（20）内，凸台（19）的两侧设置有金属弹片（23），金属弹片（23）的底部固定在辊子（9）表面，金属弹片（23）的顶部与陶瓷辊套（14）相接触。
3.根据权利要求2所述的辊式扩散炉，其特征在于：所述第一出气孔（16）和第二出气孔（18）的表面固定有金属布气板（24）。
4.根据权利要求3所述的辊式扩散炉，其特征在于：所述金属布气板（24）与陶瓷辊套（14）之间设置有第三间隙（4）。
技术总结