本实用新型涉及清洗
技术领域：
，特别涉及一种等离子清洗机。
背景技术：
：等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。现有的等离子清洗机，在对夹持治具上的基板进行清洗时，通常是将夹持治具固定安装于腔体组件上，这样造成等离子清洗机的结构较为复杂，零件较多造成等离子清洗机的制造成本高。因此，有必要提出一种等离子清洗机，以解决上述问题。技术实现要素：本实用新型的主要目的是提出一种等离子清洗机，旨在解决现有等离子清洗机结构复杂的技术问题，降低等离子清洗机的制造成本。为实现上述目的，本实用新型提出一种等离子清洗机，所述等离子清洗机包括清洗机本体、活动台、夹持治具及腔体组件。其中，所述清洗机本体包括工作台；所述活动台可活动地安装于所述工作台上，所述活动台包括第一活动台和第二活动台，所述第一活动台与所述第二活动台在所述工作台上的位置可以切换；所述夹持治具包括第一夹持治具和第二夹持治具，所述第一夹持治具安装于所述第一活动台上，所述第二夹持治具安装于所述第二活动台上；所述腔体组件可选择性地盖合于所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一而形成密封腔，以使得所述第一夹持治具和所述第二夹持治具可交替地处于所述密封腔内。可选地，所述腔体组件包括上盖腔体、下盖腔体及驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述上盖腔体和所述下盖腔体进行上升或者下降调节；所述工作台上设有工作区，所述上盖腔体设于所述工作区的上方，所述下盖腔体设于所述工作区的下方，所述第一活动台和所述第二活动台可交替地进入所述工作区，所述上盖腔体和所述下盖腔体与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一的上下两侧盖合而形成所述密封腔。可选地，所述活动台可滑动地安装于所述工作台上，以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过滑动来切换位置；或者，所述活动台可转动地安装于所述工作台上，以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过转动来切换位置。可选地，所述第一活动台包括第一活动本体和两个第一滑轨组件，两个所述第一滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上，所述第一活动本体安装于两个所述第一滑轨组件上，所述第一活动本体的两端分别与两个所述第一滑轨组件滑动连接。可选地，所述第二活动台包括第二活动本体和两个第二滑轨组件，两个所述第二滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上并位于两个所述第一滑轨组件之间，所述第二活动本体安装于两个所述第二滑轨组件上，所述第二活动本体的两端分别与两个所述第二滑轨组件滑动连接。可选地，所述活动台还包括传送机构，所述传送机构包括传送电机、传送带组件和传送固定件，所述传送固定件的数量为两个，其中一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第一活动本体固定连接，另外一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第二活动本体固定连接，所述传送电机能驱动所述传送带组件做往复运动，以使得所述第一活动本体与所述第二活动本体在所述工作台上的位置可以切换。可选地，所述上盖腔体包括上盖本体和第一电极，所述上盖本体具有空腔，所述第一电极设于所述空腔内；所述下盖腔体包括下盖本体、玻璃板和第二电极，所述玻璃板安装于所述下盖本体上，所述玻璃板上设有绝缘座，所述第二电极安装于所述绝缘座上。可选地，所述驱动装置包括上盖升降机构和下盖升降机构，所述上盖升降机构安装于所述工作台上并位于所述工作区的上方，所述上盖升降机构能驱动所述上盖腔体在所述工作区内进行上升或者下降调节，以使得所述上盖腔体可选择性地与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一盖合或者打开；所述下盖升降机构设于所述工作区的下方，所述下盖升降机构能驱动所述下盖腔体在所述工作区内进行上升或者下降调节，以使得所述下盖腔体可选择性地与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一盖合或者打开。可选地，所述第一活动台包括第一安装件，所述第二活动台包括第二安装件，所述第一夹持治具安装于所述第一安装件上，所述第二夹持治具安装于所述第二安装件上，所述第一夹持治具与所述第二夹持治具相同，所述第二夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；所述清洗机本体还包括控制器和调节装置，所述调节装置安装于所述第二夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。可选地，所述第二夹持治具包括固定部和活动部，所述固定部固定安装于所述第二安装件上，所述活动部与所述固定部活动连接，所述固定部和所述活动部之间配合形成所述夹槽，所述调节装置驱动所述活动部沿所述固定部移动以调节所述夹槽的宽度。本实用新型的技术方案，通过将第一夹持治具安装于第一活动台上和第二夹持治具安装于第二活动台上，第一活动台与第二活动台在工作台上的位置可以切换，腔体组件可选择性地盖合于第一活动台和第二活动台的其中之一而形成密封腔，以使得第一夹持治具和第二夹持治具可交替地处于密封腔内，相对于现有的等离子清洗机将夹持治具固定安装于腔体组件上而言，通过第一夹持治具和第二夹持治具可交替地处于密封腔内，简化了等离子清洗机的结构，减少了零件，降低了等离子清洗机的制造成本。附图说明为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本实用新型的等离子清洗机一实施例的结构示意图；图2为图1中等离子清洗机的部分结构示意图；图3为图2中等离子清洗机的部分结构示意图；图4为图3中的结构另一视角的结构示意图；图5为图3中的结构分解后的结构示意图；图6为图5中等离子清洗机的部分结构示意图；图7为图6中的结构另一视角的结构示意图；图8为图3中的部分结构分解后的结构示意图；图9为图8中的结构另一视角的结构示意图。附图标号说明：标号名称标号名称10等离子清洗机230传送机构100清洗机本体231传送电机110上机架232传送带组件120下机架233传送固定件130工作台300夹持治具131工作区310第一夹持治具140控制器320第二夹持治具150调节装置400腔体组件200活动台410上盖腔体210第一活动台411上盖本体211第一活动本体412第一电极212第一滑轨组件420下盖腔体213第一安装件421下盖本体220第二活动台422第二电极221第二活动本体430驱动装置222第二滑轨组件431上盖升降机构223第二安装件432下盖升降机构本实用新型目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。本实用新型提供一种等离子清洗机，所述等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，所述等离子清洗机能够解决现有等离子清洗机结构复杂的技术问题，降低等离子清洗机的制造成本。请参阅图1至图3，本实用新型的等离子清洗机10的一实施例中，等离子清洗机10包括清洗机本体100、活动台200、夹持治具300及腔体组件400。其中，清洗机本体100包括工作台130；活动台200可活动地安装于工作台130上，活动台200包括第一活动台210和第二活动台220，第一活动台210与第二活动台220在工作台130上的位置可以切换；夹持治具300包括第一夹持治具310和第二夹持治具320，第一夹持治具310安装于第一活动台210上，第二夹持治具320安装于第二活动台220上；腔体组件400可选择性地盖合于第一活动台210和第二活动台220的其中之一而形成密封腔，以使得第一夹持治具310和第二夹持治具320可交替地处于密封腔内。具体说来，清洗机本体100还包括上机架110、下机架120和控制器140，上机架110罩盖于下机架120上，工作台130安装于下机架120上，工作台130呈镂空设置。控制器140包括触摸屏和控制模块，控制模块包括电控板及与电控板连接的控制按键，触摸屏安装于上机架110上，以方便对触摸屏进行操作，电控板上设有控制程序，电控板与腔体组件400电连接，通过操作触摸屏及控制按键能对腔体组件400进行控制，使得腔体组件400可选择性地盖合于第一活动台210和第二活动台220的其中之一而形成密封腔，进而使得第一夹持治具310和第二夹持治具320可交替地处于密封腔内。进一步地，活动台200可活动地安装于工作台130的方式有多种设计方式，例如但不局限于：活动台200通过滑动连接的方式安装于工作台130上，或者活动台200通过转动的方式安装于工作台130上。具体在后文还有详细介绍。等离子清洗机10还包括输送模组，输送模组安装于工作台130上，输送模组适用于将基板输送给夹持治具300，以使得夹持治具300能对基板进行夹持固定，进而方便腔体组件400对夹持治具300上的基板进行清洗。本实用新型的技术方案，通过将第一夹持治具310安装于第一活动台210上和第二夹持治具320安装于第二活动台220上，第一活动台210与第二活动台220在工作台130上的位置可以切换，腔体组件400可选择性地盖合于第一活动台210和第二活动台220的其中之一而形成密封腔，以使得第一夹持治具310和第二夹持治具320可交替地处于密封腔内，相对于现有的等离子清洗机10将夹持治具300固定安装于腔体组件400上而言，通过第一夹持治具310和第二夹持治具320可交替地处于密封腔内，简化了等离子清洗机10的结构，减少了零件，降低了等离子清洗机10的制造成本。请参阅图2至图4，在一实施例中，为了简化等离子清洗机10的结构，可选地，腔体组件400包括上盖腔体410、下盖腔体420及驱动装置430，驱动装置430用于驱动上盖腔体410和下盖腔体420进行上升或者下降调节；工作台130上设有工作区131，上盖腔体410设于工作区131的上方，下盖腔体420设于工作区131的下方，第一活动台210和第二活动台220可交替地进入工作区131，上盖腔体410和下盖腔体420与第一活动台210和第二活动台220的其中之一的上下两侧盖合而形成密封腔。具体说来，工作台130上的工作区131为上盖腔体410与下盖腔体420盖合形成密封腔的区域，第一活动台210和第二活动台220可交替地进入工作区131，上盖腔体410设于工作区131的上方并且能进行上升或者下降调节，使得上盖腔体410能在工作区131内可选择性地盖合或者打开于第一活动台210或者第二活动台220的其中一个；下盖腔体420设于工作区131的下方并能进行上升或者下降调节，使得下盖腔体420能在工作区131内可选择性的盖合或者打开于第一活动台210或者第二活动台220的其中一个。进一步地，第一活动台210和第二活动台220可交替地进入工作区131，使得上盖腔体410和下盖腔体420可以同时盖合处于工作区131的第一活动台210的上下两侧而形成密封腔，进而使得安装于第一活动台210上的第一夹持治具310也处于密封腔内，进而方便对第一夹持治具310上的基板进行清洗；或者上盖腔体410和下盖腔体420可以同时盖合处于工作区131的第二活动台220的上下两侧而形成密封腔，进而使得安装于第二活动台220上的第二夹持治具320也处于密封腔内，进而方便对第二夹持治具320上的基板进行清洗。这样的清洗方式，相对于现有的夹持治具300固定安装于下盖腔体420而言，减少了下盖腔体420的数量，下盖腔体420的数量由两个减少为一个，进而减少了等离子清洗机10的零件，简化了等离子清洗机10的结构，降低了等离子清洗机10的制造成本，以及方便对上盖腔体410和下盖腔体420进行维护保养。请参阅图2至图4，在一实施例中，为了使第一活动台210与第二活动台220在工作台130上的位置可以切换，可选地，活动台200可滑动地安装于工作台130上，以使得第一活动台210与第二活动台220通过滑动来切换位置；或者，活动台200可转动地安装于工作台130上，以使得第一活动台210与第二活动台220通过转动来切换位置。例如，工作台130上设有两个滑轨组件，第一活动台210和第二活动台220分别安装于一个滑轨组件上，第一活动台210和第二活动台220沿着滑轨组件通过滑动的方式来切换位置；或者，工作台130上设有转动架，第一活动台210和第二活动台220分别安装于转动架的两侧，第一活动台210和第二活动台220在转动架上通过转动的方式来切换位置。请参阅图5至图7，在本实施例中，第一活动台210和第二活动台220采用滑动的方式来切换位置。具体地，第一活动台210包括第一活动本体211和两个第一滑轨组件212，两个第一滑轨组件212相对设置的安装于工作台130上，第一活动本体211安装于两个第一滑轨组件212上，第一活动本体211的两端分别与两个第一滑轨组件212滑动连接。进一步地，两个第一滑轨组件212包括两个第一滑轨和四个第一滑块，两个第一滑轨相对设置的安装于工作台130上，每两个第一滑块安装于一个第一滑轨上。第一活动本体211包括第一本体板和两个第一侧板，两个第一侧板安装于第一本体板的相对两侧，第一侧板的两端分别与两个第一滑块固定连接，第一滑块可以沿第一滑轨滑动，进而使得第一活动台210沿着第一滑轨可滑动的安装于工作台130上。此外，第一活动本体211的第一本体板和两个第一侧板之间形成有凹槽，第二活动台220可以沿着凹槽穿过，第一侧板与第一本体板之间还设有第一加强筋，第一加强筋适用于加强第一本体板与两个第一侧板之间的强度，提高了第一活动台210的稳定性。请参阅图5至图7，在本实施例中，第二活动台220包括第二活动本体221和两个第二滑轨组件222，两个第二滑轨组件222相对设置的安装于工作台130上并位于两个第一滑轨组件212之间，第二活动本体221安装于两个第二滑轨组件222上，第二活动本体221的两端分别与两个第二滑轨组件222滑动连接。具体说来，两个第二滑轨组件222包括两个第二滑轨和四个第二滑块，两个第二滑轨相对设置的安装于工作台130上并位移两个第一滑轨之间，每两个第二滑块安装于一个第二滑轨上。第二活动本体221包括第二本体板，第二本体板的相对两端分别安装于两个第二滑块上，以使得第二活动本体221沿着第二滑轨可滑动的安装于工作台130上。第二本体板与第一本体板均呈镂空设置。第二活动台220在工作台130上的高度尺寸小于第一活动台210的凹槽的高度尺寸，使得第二活动台220可以穿过第一活动台210的凹槽，进而实现了第一活动台210与第二活动台220在工作台130上的位置可以切换的功能。请参阅图5至图7，在一实施例中，活动台200还包括传送机构230，传送机构230包括传送电机231、传送带组件232和传送固定件233，传送固定件233的数量为两个，其中一个传送固定件233安装于传送带组件232上并与第一活动本体211固定连接，另外一个传送固定件233安装于传送带组件232上并与第二活动本体221固定连接，传送电机231能驱动传送带组件232做往复运动，以使得第一活动本体211与第二活动本体221在工作台130上的位置可以切换。具体说来，传送电机231与控制器140电连接，传送带组件232包括传送带和传送轴，传送轴的数量为两个，两个传动轴设于传动带的两端，传动电机与其中一个传动轴连接并固定安装于工作台130上，传送电机231能驱动传送轴转动以带动传送带做往复运动。进一步地，第一活动本体211的第一侧板靠近传送带的一侧设有第一固定槽，其中一个传动固定件安装于第一固定槽内并与传送带固定连接，第二活动本体221的第二本体板靠近传送带的一侧设有第二固定槽，另外一个传送固定件233安装于第二固定槽内并与传送带固定连接，进而使得传动带能带动第一活动本体211和第二活动本体221移动。当传送电机231驱动传送带做往复运动时，第一活动本体211和第二活动本体221在工作台130上的位置可以随着传动带的往复运动进行切换，进而实现了第一活动本体211与第二活动本体221自动切换位置的功能。这样的切换方式，结构简单，占用空间小。请参阅图8和图9，在一实施例中，上盖腔体410包括上盖本体411和第一电极412，上盖本体411具有空腔，第一电极412设于空腔内；下盖腔体420包括下盖本体421、玻璃板和第二电极422，玻璃板安装于下盖本体421上，玻璃板上设有绝缘座，第二电极422安装于绝缘座上。具体说来，上盖腔体410盖合于下盖腔体420上，第一电极412作为阳极电极，第二电极422作为阴极电机，下盖本体421下方设有射频电源，射频电源通过导管与下盖本体421连接，下盖本体421上还设有气体导入孔，气体导入孔与下机架120内的储气罐通过气体导管连接，储气罐内可以储存氧、氩、氢等工作气体，具体在本实施例中为氩气。进一步地，等离子清洗机10利用射频电源产生的阴极电极和阳极电极之间的高压交变电场将氩气震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后对基板上的有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从而达到对基板表面进行清洗的目的。此外，玻璃板为绝缘体，在第二电极422的下方形成阻隔，能够减弱第二电极422下方的电场，这样，在相同的清洗时间下，使用的射频电源的功率更小，清洗时材料的温度更低，射频电源的寿命更长。请参阅图3至图5，在一实施例中，驱动装置430包括上盖升降机构431和下盖升降机构432，上盖升降机构431安装于工作台130上并位于工作区131的上方，上盖升降机构431能驱动上盖腔体410在工作区131内进行上升或者下降调节，以使得上盖腔体410可选择性地与第一活动台210和第二活动台220的其中之一盖合或者打开；下盖升降机构432设于工作区131的下方，下盖升降机构432能驱动下盖腔体420在工作区131内进行上升或者下降调节，以使得下盖腔体420可选择性地与第一活动台210和第二活动台220的其中之一盖合或者打开。具体说来，上盖升降机构431包括上盖安装架、上盖滑动机构、上盖移动气缸和上盖连接组件，上盖安装架安装于工作台130上，上盖滑动机构和上盖移动气缸均安装于上盖安装架上，上盖连接组件安装于上盖安装架上并与上盖腔体410连接，上盖移动气缸能驱动上盖腔体410进行上升或者下降调节。进一步地，下盖升降机构432包括下盖安装架、下盖移动气缸和下盖连接组件，下盖安装架安装于清洗机本体100内，下盖移动气缸安装于下盖安装架上，下盖连接组件安装于下盖安装架上并与下盖腔体420连接，下盖移动气缸能驱动下盖腔体420进行上升或者下降调节。请参阅图5至图7，在一实施例中，为了提高了夹持治具300的兼容性，可选地，第一活动台210包括第一安装件213，第二活动台220包括第二安装件223，第一夹持治具310安装于第一安装件213上，第二夹持治具320安装于第二安装件223上，第一夹持治具310与第二夹持治具320相同，第二夹持治具320具有夹槽，夹槽的宽度可调；清洗机本体100还包括控制器140和调节装置150，调节装置150安装于第二夹持治具320的一侧，调节装置150与控制器140电连接，调节装置150用于调节夹槽的宽度。具体说来，第一安装件213安装于第一本体板上，第二安装件223安装于第二本体板上，第一安装件213和第二安装件223都呈镂空设置。第一夹持治具310与第二夹持治具320相同，便于夹持治具300对基板进行交替更换，缩短了腔体组件400换料的闲置时间，提高了生产效率。进一步地，调节装置150包括治具调节件、水平位移机构和升降机构，治具调节件安装于水平位移机构上，水平位移机构安装于升降机构上，治具调节件设于第二安装件223的下方，水平位移机构和升降机构分别与控制器140电连接，以使得治具调节件能穿过第二安装件223而调节夹槽的宽度。通过控制器140能控制调节装置150自动的对夹槽宽度进行调节，使得夹持治具300的夹槽具有不同的宽度，进而使得夹持治具300能夹持不同宽度尺寸的基板，提高了夹持治具300的兼容性，以及提高了等离子清洗机10的适用性。其中，水平位移机构包括第一直线模组、水平移动件和第一拖链组件，治具调节件安装于第一直线模组上，第一直线模组安装于水平移动件上，第一拖链组件与水平移动件连接，第一直线模组与第一拖链组件的移动方向相同，第一直线模组和第一拖链组件共同驱动治具调节件沿水平方向移动。升降机构包括支撑件、第二直线模组、升降移动件和第二拖链组件，第二直线模组安装于支撑件上并与升降移动件连接，第二拖链组件与升降移动件连接，第二直线模组与第二拖链组件的移动方向相同，水平位移机构安装于升降移动件上，第二直线模组和第二拖链组件共同驱动水平位移机构进行上升或者下降调节。请参阅图5至图7，在一实施例中，第二夹持治具320包括固定部和活动部，固定部固定安装于第二安装件223上，活动部与固定部活动连接，固定部和活动部之间配合形成夹槽，调节装置150驱动活动部沿固定部移动以调节夹槽的宽度。具体说来，固定部包括固定框和固定杆，固定杆安装于固定框的一侧；活动部包括活动框和活动杆，活动杆安装于活动框的一侧并与固定杆安装于固定框的一侧相同，固定杆与活动杆之间形成夹槽，活动框可活动地安装于固定框内，以使得夹槽的宽度可调。进一步地，固定部包括固定框和固定杆，固定杆安装于固定框的一侧；活动部包括活动框和活动杆，活动杆安装于活动框的一侧并与固定杆安装于固定框的一侧相同，固定杆与活动杆之间形成夹槽，活动框可移动地安装于固定框内，以使得夹槽的宽度可调。通过驱动活动部移动来调节夹槽宽度的方式简单，易于操作。以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的
技术领域：
均包括在本实用新型的专利保护范围内。当前第1页1 2 3
技术特征：1.一种等离子清洗机，其特征在于，所述等离子清洗机包括：
清洗机本体，所述清洗机本体包括工作台；
活动台，所述活动台可活动地安装于所述工作台上，所述活动台包括第一活动台和第二活动台，所述第一活动台与所述第二活动台在所述工作台上的位置可以切换；
夹持治具，所述夹持治具包括第一夹持治具和第二夹持治具，所述第一夹持治具安装于所述第一活动台上，所述第二夹持治具安装于所述第二活动台上；以及
腔体组件，所述腔体组件可选择性地盖合于所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一而形成密封腔，以使得所述第一夹持治具和所述第二夹持治具可交替地处于所述密封腔内。
2.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述腔体组件包括上盖腔体、下盖腔体及驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述上盖腔体和所述下盖腔体进行上升或者下降调节；
所述工作台上设有工作区，所述上盖腔体设于所述工作区的上方，所述下盖腔体设于所述工作区的下方，所述第一活动台和所述第二活动台可交替地进入所述工作区，所述上盖腔体和所述下盖腔体与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一的上下两侧盖合而形成所述密封腔。
3.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述活动台可滑动地安装于所述工作台上，以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过滑动来切换位置；或者，所述活动台可转动地安装于所述工作台上，以使得所述第一活动台与所述第二活动台通过转动来切换位置。
4.如权利要求3所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第一活动台包括第一活动本体和两个第一滑轨组件，两个所述第一滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上，所述第一活动本体安装于两个所述第一滑轨组件上，所述第一活动本体的两端分别与两个所述第一滑轨组件滑动连接。
5.如权利要求4所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第二活动台包括第二活动本体和两个第二滑轨组件，两个所述第二滑轨组件相对设置的安装于所述工作台上并位于两个所述第一滑轨组件之间，所述第二活动本体安装于两个所述第二滑轨组件上，所述第二活动本体的两端分别与两个所述第二滑轨组件滑动连接。
6.如权利要求5所述的等离子清洗机，其特征在于，所述活动台还包括传送机构，所述传送机构包括传送电机、传送带组件和传送固定件，所述传送固定件的数量为两个，其中一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第一活动本体固定连接，另外一个所述传送固定件安装于所述传送带组件上并与所述第二活动本体固定连接，所述传送电机能驱动所述传送带组件做往复运动，以使得所述第一活动本体与所述第二活动本体在所述工作台上的位置可以切换。
7.如权利要求2所述的等离子清洗机，其特征在于，所述上盖腔体包括上盖本体和第一电极，所述上盖本体具有空腔，所述第一电极设于所述空腔内；所述下盖腔体包括下盖本体、玻璃板和第二电极，所述玻璃板安装于所述下盖本体上，所述玻璃板上设有绝缘座，所述第二电极安装于所述绝缘座上。
8.如权利要求2所述的等离子清洗机，其特征在于，所述驱动装置包括上盖升降机构和下盖升降机构，所述上盖升降机构安装于所述工作台上并位于所述工作区的上方，所述上盖升降机构能驱动所述上盖腔体在所述工作区内进行上升或者下降调节，以使得所述上盖腔体可选择性地与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一盖合或者打开；所述下盖升降机构设于所述工作区的下方，所述下盖升降机构能驱动所述下盖腔体在所述工作区内进行上升或者下降调节，以使得所述下盖腔体可选择性地与所述第一活动台和所述第二活动台的其中之一盖合或者打开。
9.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第一活动台包括第一安装件，所述第二活动台包括第二安装件，所述第一夹持治具安装于所述第一安装件上，所述第二夹持治具安装于所述第二安装件上，所述第一夹持治具与所述第二夹持治具相同，所述第二夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；所述清洗机本体还包括控制器和调节装置，所述调节装置安装于所述第二夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。
10.如权利要求9所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第二夹持治具包括固定部和活动部，所述固定部固定安装于所述第二安装件上，所述活动部与所述固定部活动连接，所述固定部和所述活动部之间配合形成所述夹槽，所述调节装置驱动所述活动部沿所述固定部移动以调节所述夹槽的宽度。
技术总结本实用新型提出一种等离子清洗机。等离子清洗机包括清洗机本体、活动台、夹持治具及腔体组件。其中，清洗机本体包括工作台；活动台可活动地安装于工作台上，活动台包括第一活动台和第二活动台，第一活动台与第二活动台在工作台上的位置可以切换；夹持治具包括第一夹持治具和第二夹持治具，第一夹持治具安装于第一活动台上，第二夹持治具安装于第二活动台上；腔体组件可选择性地盖合于第一活动台和第二活动台的其中之一而形成密封腔，以使得第一夹持治具和第二夹持治具可交替地处于密封腔内。本实用新型的等离子清洗机，能够解决现有等离子清洗机结构复杂的技术问题，降低等离子清洗机的制造成本。
技术研发人员：叶贤斌;李文强;杨建新;张凯
受保护的技术使用者：深圳泰德半导体装备有限公司
技术研发日：2020.09.23
技术公布日：2021.08.03
