一种真空箱式氦检漏回收系统的制作方法

1.本发明涉及一种回收系统，具体为一种真空箱式氦检漏回收系统。


背景技术：

2.真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。
3.在真空箱氦检漏工作进行的过程中会有少量氦气流出，而氦气造价相对较贵，如果气体流出极易造成浪费，并且大尺寸工件在放入的过程中容易发生位移，影响到检测的正常进行，甚至有可能造成工件损坏，为此，我们提出一种真空箱式氦检漏回收系统。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种真空箱式氦检漏回收系统，以解决背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空箱式氦检漏回收系统，包括真空箱、第一连接阀、第二连接阀、罗茨泵、第一机械泵、氦质谱检漏仪、第三连接阀、第二机械泵、第四连接阀、充氦回收系统、第五连接阀、第六连接阀、第七连接阀、第八连接阀、第九连接阀和漏孔，所述真空箱的一端通过连接管分别固定连通有第六连接阀、第八连接阀和第九连接阀，所述第八连接阀远离真空箱的一端通过连接管与漏孔固定连通，所述第六连接阀与第九连接阀远离真空箱的一端分别通过连接管与外界的氦气和空气固定连通，所述真空箱的一端通过连接管固定连通有第一连接阀，所述真空箱与第一连接阀之间的连接管处通过三通阀固定连通有第二连接阀，所述第二连接阀远离三通阀的一端通过连接管与氦质谱检漏仪固定连通，所述第一连接阀远离真空箱的一端通过连接管依次固定连通有罗茨泵和第一机械泵，所述真空箱的一端通过连接管固定连通有三通阀，所述三通阀的一端通过连接管固定连通有第三连接阀，所述第三连接阀的一端通过连接管与第二机械泵固定连通，所述三通阀的另一连接处固定连接有两组连接管，其中一组连接管固定连通有第七连接阀，所述第七连接阀远离所述三通阀的一端与空气固定连通，所述三通阀的另一连接孔处通过连接管固定连通有另一三通阀，所述三通阀的一端通过连接管固定连通有第五连接阀，所述第五连接阀远离三通阀的一端与sf6气体固定连通，所述三通阀的另一连接处通过连接管固定连通有第四连接阀，所述第四连接阀远离三通阀的一端与充氦回收系统的一端固定连通。
6.优选的，所述真空箱由箱体、密封胶条、导轨、盛放车和限位装置组成，所述箱体的一端设置为敞开设置，所述箱体的敞开一面外壁铺设有橡胶材料制造的密封胶条，所述箱体内壁的底部固定安装有对称分布的导轨，所述导轨的顶部卡接有盛放车，所述盛放车由放置板、安装槽、限位滚轮、固定螺纹钉、安装座、支撑杆和推杆组成，所述放置板的底部且对应导轨的位置贯穿开设有安装槽，所述安装槽的内部固定安装有限位滚轮，所述限位滚轮的底部卡接于导轨的顶部，所述放置板的顶部通过多组固定螺纹钉固定安装有对称分布
的安装座，所述安装座的顶部固定安装有对称分布的支撑杆，所述支撑杆的顶部通过推杆固定连接，所述箱体内壁的底部固定安装有用于固定盛放车的限位装置。
7.优选的，所述限位装置由安装块、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、限位板、垫块、工作箱、滑板、复位弹簧、伸缩杆和滑轮组成，所述箱体内壁底部的中轴处固定安装有安装块，所述安装块的表面固定安装有第一连接杆，所述第一连接杆外表面的两端分别固定安装有水平设置的第二连接杆和倾斜设置的第三连接杆，所述箱体内壁的底部且位于第二连接杆的底部固定安装有垫块，所属于第二连接杆远离第一连接杆外表面的一端固定安装有限位板，所述箱体内壁的底部且位于第三连接杆的下方固定安装有工作箱，所述工作箱的内壁滑动连接有滑板，所述滑板的底部固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的底部固定安装于工作箱内壁的底部，所述滑板的顶部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部贯穿工作箱的顶部且延伸至工作箱的外部，所述伸缩杆的外表面固定安装有滑轮，所述滑轮的顶部与第三连接杆的底部相接触。
8.优选的，所述支撑杆和推杆的表面贯穿开设有多组泄压孔。
9.优选的，所述箱体的制造材料为不锈钢的材质，其内表面在加工后经抛光和清洗处理。
10.优选的，所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、限位板、垫块、工作箱、滑板和伸缩杆的制造材料均为刚性材料。
11.与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
12.1、本发明通过全新的回收系统检完漏后，工件内氦气利用机械泵抽出，送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐内部进行集中收集；
13.2、而设置的盛放车可以连同工件一起送入真空箱内进行工作，而在盛放车放入的过程中会挤压限位装置进行工作，从而可以使限位板翘起，从而便可以对盛放车以及盛放车顶部的工件进行有效限位，防止盛放车以及其顶部的工件在检测的时候发生位移晃动。
附图说明
14.图1为本发明系统原理示意图；
15.图2为本发明真空箱正视图结构示意图；
16.图3为本发明真空箱侧视剖视结构示意图；
17.图4为本发明a结构放大图。
18.图中：1真空箱、2第一连接阀、3第二连接阀、4罗茨泵、5第一机械泵、6氦质谱检漏仪、7第三连接阀、8第二机械泵、9第四连接阀、10充氦回收系统、11第五连接阀、12第六连接阀、13第七连接阀、14第八连接阀、15第九连接阀、16漏孔、17箱体、18密封胶条、19导轨、20盛放车、21放置板、22安装槽、23限位滚轮、24固定螺纹钉、25安装座、26支撑杆、27推杆、28限位装置、29安装块、30第一连接杆、31第二连接杆、32第三连接杆、33限位板、34垫块、35工作箱、36滑板、37复位弹簧、38伸缩杆、39滑轮、40泄压孔。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.请参阅图1
‑
4，本发明提供一种技术方案：一种真空箱式氦检漏回收系统，包括真空箱1、第一连接阀2、第二连接阀3、罗茨泵4、第一机械泵5、氦质谱检漏仪6、第三连接阀7、第二机械泵8、第四连接阀9、充氦回收系统10、第五连接阀11、第六连接阀12、第七连接阀13、第八连接阀14、第九连接阀15和漏孔16，所述真空箱1的一端通过连接管分别固定连通有第六连接阀12、第八连接阀14和第九连接阀15，所述第八连接阀14远离真空箱1的一端通过连接管与漏孔16固定连通，所述第六连接阀12与第九连接阀15远离真空箱1的一端分别通过连接管与外界的氦气和空气固定连通，所述真空箱1的一端通过连接管固定连通有第一连接阀2，所述真空箱1与第一连接阀2之间的连接管处通过三通阀固定连通有第二连接阀3，所述第二连接阀3远离三通阀的一端通过连接管与氦质谱检漏仪6固定连通，所述第一连接阀2远离真空箱1的一端通过连接管依次固定连通有罗茨泵4和第一机械泵5，所述真空箱1的一端通过连接管固定连通有三通阀，所述三通阀的一端通过连接管固定连通有第三连接阀7，所述第三连接阀7的一端通过连接管与第二机械泵8固定连通，所述三通阀的另一连接处固定连接有两组连接管，其中一组连接管固定连通有第七连接阀13，所述第七连接阀13远离所述三通阀的一端与空气固定连通，所述三通阀的另一连接孔处通过连接管固定连通有另一三通阀，所述三通阀的一端通过连接管固定连通有第五连接阀11，所述第五连接阀11远离三通阀的一端与sf6气体固定连通，所述三通阀的另一连接处通过连接管固定连通有第四连接阀9，所述第四连接阀9远离三通阀的一端与充氦回收系统10的一端固定连通。
21.优选的，所述真空箱1由箱体17、密封胶条18、导轨19、盛放车20和限位装置28组成，所述箱体17的一端设置为敞开设置，所述箱体17的敞开一面外壁铺设有橡胶材料制造的密封胶条18，所述箱体17内壁的底部固定安装有对称分布的导轨19，所述导轨19的顶部卡接有盛放车20，所述盛放车20由放置板21、安装槽22、限位滚轮23、固定螺纹钉24、安装座25、支撑杆26和推杆27组成，所述放置板21的底部且对应导轨19的位置贯穿开设有安装槽22，所述安装槽22的内部固定安装有限位滚轮23，所述限位滚轮23的底部卡接于导轨19的顶部，所述放置板21的顶部通过多组固定螺纹钉24固定安装有对称分布的安装座25，所述安装座25的顶部固定安装有对称分布的支撑杆26，所述支撑杆26的顶部通过推杆27固定连接，所述箱体17内壁的底部固定安装有用于固定盛放车20的限位装置28。
22.优选的，所述限位装置28由安装块29、第一连接杆30、第二连接杆31、第三连接杆32、限位板33、垫块34、工作箱35、滑板36、复位弹簧37、伸缩杆38和滑轮39组成，所述箱体17内壁底部的中轴处固定安装有安装块29，所述安装块29的表面固定安装有第一连接杆30，所述第一连接杆30外表面的两端分别固定安装有水平设置的第二连接杆31和倾斜设置的第三连接杆32，所述箱体17内壁的底部且位于第二连接杆31的底部固定安装有垫块34，所属于第二连接杆31远离第一连接杆30外表面的一端固定安装有限位板33，所述箱体17内壁的底部且位于第三连接杆32的下方固定安装有工作箱35，所述工作箱35的内壁滑动连接有滑板36，所述滑板36的底部固定连接有复位弹簧37，所述复位弹簧37的底部固定安装于工作箱35内壁的底部，所述滑板36的顶部固定连接有伸缩杆38，所述伸缩杆38的顶部贯穿工作箱35的顶部且延伸至工作箱35的外部，所述伸缩杆38的外表面固定安装有滑轮39，所述
滑轮39的顶部与第三连接杆32的底部相接触。
23.优选的，所述支撑杆26和推杆27的表面贯穿开设有多组泄压孔40。
24.优选的，所述箱体17的制造材料为不锈钢的材质，其内表面在加工后经抛光和清洗处理。
25.优选的，所述第一连接杆30、第二连接杆31、第三连接杆32、限位板33、垫块34、工作箱35、滑板36和伸缩杆38的制造材料均为刚性材料。
26.使用时，首先，
27.一、抽真空检大漏
28.1)检漏时先将工件放在盛放车20的顶部，利用人工将工件推入真空箱1的内部，然后将工件与系统连接，随后将真空箱1的箱门关闭；
29.2)箱门关好后，打开第一连接阀2和第三连接阀7，并关闭第二连接阀3、第四连接阀9、第五连接阀11、第六连接阀12、第七连接阀13和第九连接阀15，从而便可以对真空箱1和其内部放置的工件进行抽真空，并同时监测工件内真空值和真空箱1的真空值，并保证工件内压力比真空箱1压力不超过0.05mpa；
30.3)当真空箱内压力为50pa，工件内压力抽到5000pa时保压一定时间，测量工件和真空箱1内真空值的变化，如果真空箱1内真空度变化不超过设定值说明工件无大漏，否则说明工件有大漏，系统自动给出声光报警，如果工件无大漏，继续抽真空检中、微漏。
31.二、检微漏
32.1)若没有发现大漏，当真空箱1和工件的真空值都达到要求时，对工件内充入低压氦气(如0.01mpa)，模拟工件工作环境进行检微漏。如果工件不合格系统将报警，反之系统给出提示。
33.2)对于不合格产品，系统发出报警信号，然后对真空箱1充入大气，同时向工件内充入氦气至压力为150000pa(绝压)(此过程也需保持工件内外压差不大于0.05mpa)，然后中止检测程序，将工件从真空箱1内移出，人工对可疑点如接头、焊缝等进行检测，以确定漏点(建议需方另备寻找漏点用吸枪检漏仪，此设备未含)。如果没有小漏，系统自动进入下一步程序。
34.三、氦气回收
35.微漏检测合格后，自动进入回收程序。检完漏后，工件内氦气利用第一机械泵5和第二机械泵8抽出，送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。当储气罐内压力或浓度底于规定值时，需补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
36.而当盛放车20工作的时候，首先需要将工件放置于放置板21的顶部，随后推动支撑杆26和推杆27，放置板21和其底部的限位滚轮23便会沿着导轨19的表面进行移动，而在移动的过程中放置板21的另一端会挤压倾斜设置的第三连接杆32向下移动，从而便可以使第一连接杆30沿着安装块29的内部进行转动，从而使原本水平状态下的第二连接杆31和限位板33向上翘起，在盛放车20完全放入之后便可以使限位板33的顶部搭接于放置板21的侧壁，从而便可以对盛放车20以及其顶部的工件进行限位，当检测完成之后拉出盛放车20时复位弹簧37会为滑板36、伸缩杆38和滑轮39提供一定的回复力，从而使第三连接杆32逐渐回复至翘起状态，并使第二连接杆31和限位板33逐渐下降呈现水平状态，从而便可以使盛放车20沿着导轨19脱离箱体17的内部。
37.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种真空箱式氦检漏回收系统，包括真空箱(1)、第一连接阀(2)、第二连接阀(3)、罗茨泵(4)、第一机械泵(5)、氦质谱检漏仪(6)、第三连接阀(7)、第二机械泵(8)、第四连接阀(9)、充氦回收系统(10)、第五连接阀(11)、第六连接阀(12)、第七连接阀(13)、第八连接阀(14)、第九连接阀(15)和漏孔(16)，其特征在于：所述真空箱(1)的一端通过连接管分别固定连通有第六连接阀(12)、第八连接阀(14)和第九连接阀(15)，所述第八连接阀(14)远离真空箱(1)的一端通过连接管与漏孔(16)固定连通，所述第六连接阀(12)与第九连接阀(15)远离真空箱(1)的一端分别通过连接管与外界的氦气和空气固定连通，所述真空箱(1)的一端通过连接管固定连通有第一连接阀(2)，所述真空箱(1)与第一连接阀(2)之间的连接管处通过三通阀固定连通有第二连接阀(3)，所述第二连接阀(3)远离三通阀的一端通过连接管与氦质谱检漏仪(6)固定连通，所述第一连接阀(2)远离真空箱(1)的一端通过连接管依次固定连通有罗茨泵(4)和第一机械泵(5)，所述真空箱(1)的一端通过连接管固定连通有三通阀，所述三通阀的一端通过连接管固定连通有第三连接阀(7)，所述第三连接阀(7)的一端通过连接管与第二机械泵(8)固定连通，所述三通阀的另一连接处固定连接有两组连接管，其中一组连接管固定连通有第七连接阀(13)，所述第七连接阀(13)远离所述三通阀的一端与空气固定连通，所述三通阀的另一连接孔处通过连接管固定连通有另一三通阀，所述三通阀的一端通过连接管固定连通有第五连接阀(11)，所述第五连接阀(11)远离三通阀的一端与sf6气体固定连通，所述三通阀的另一连接处通过连接管固定连通有第四连接阀(9)，所述第四连接阀(9)远离三通阀的一端与充氦回收系统(10)的一端固定连通。2.根据权利要求1所述的一种真空箱式氦检漏回收系统，其特征在于：所述真空箱(1)由箱体(17)、密封胶条(18)、导轨(19)、盛放车(20)和限位装置(28)组成，所述箱体(17)的一端设置为敞开设置，所述箱体(17)的敞开一面外壁铺设有橡胶材料制造的密封胶条(18)，所述箱体(17)内壁的底部固定安装有对称分布的导轨(19)，所述导轨(19)的顶部卡接有盛放车(20)，所述盛放车(20)由放置板(21)、安装槽(22)、限位滚轮(23)、固定螺纹钉(24)、安装座(25)、支撑杆(26)和推杆(27)组成，所述放置板(21)的底部且对应导轨(19)的位置贯穿开设有安装槽(22)，所述安装槽(22)的内部固定安装有限位滚轮(23)，所述限位滚轮(23)的底部卡接于导轨(19)的顶部，所述放置板(21)的顶部通过多组固定螺纹钉(24)固定安装有对称分布的安装座(25)，所述安装座(25)的顶部固定安装有对称分布的支撑杆(26)，所述支撑杆(26)的顶部通过推杆(27)固定连接，所述箱体(17)内壁的底部固定安装有用于固定盛放车(20)的限位装置(28)。3.根据权利要求2所述的一种真空箱式氦检漏回收系统，其特征在于：所述限位装置(28)由安装块(29)、第一连接杆(30)、第二连接杆(31)、第三连接杆(32)、限位板(33)、垫块(34)、工作箱(35)、滑板(36)、复位弹簧(37)、伸缩杆(38)和滑轮(39)组成，所述箱体(17)内壁底部的中轴处固定安装有安装块(29)，所述安装块(29)的表面固定安装有第一连接杆(30)，所述第一连接杆(30)外表面的两端分别固定安装有水平设置的第二连接杆(31)和倾斜设置的第三连接杆(32)，所述箱体(17)内壁的底部且位于第二连接杆(31)的底部固定安装有垫块(34)，所属于第二连接杆(31)远离第一连接杆(30)外表面的一端固定安装有限位板(33)，所述箱体(17)内壁的底部且位于第三连接杆(32)的下方固定安装有工作箱(35)，所述工作箱(35)的内壁滑动连接有滑板(36)，所述滑板(36)的底部固定连接有复位弹簧(37)，所述复位弹簧(37)的底部固定安装于工作箱(35)内壁的底部，所述滑板(36)的顶部
固定连接有伸缩杆(38)，所述伸缩杆(38)的顶部贯穿工作箱(35)的顶部且延伸至工作箱(35)的外部，所述伸缩杆(38)的外表面固定安装有滑轮(39)，所述滑轮(39)的顶部与第三连接杆(32)的底部相接触。4.根据权利要求2所述的一种真空箱式氦检漏回收系统，其特征在于：所述支撑杆(26)和推杆(27)的表面贯穿开设有多组泄压孔(40)。5.根据权利要求1所述的一种真空箱式氦检漏回收系统，其特征在于：所述箱体(17)的制造材料为不锈钢的材质，其内表面在加工后经抛光和清洗处理。6.根据权利要求3所述的一种真空箱式氦检漏回收系统，其特征在于：所述第一连接杆(30)、第二连接杆(31)、第三连接杆(32)、限位板(33)、垫块(34)、工作箱(35)、滑板(36)和伸缩杆(38)的制造材料均为刚性材料。
技术总结
本发明公开了一种真空箱式氦检漏回收系统，所述真空箱的一端通过连接管分别固定连通有第六连接阀、第八连接阀和第九连接阀，所述第八连接阀远离真空箱的一端通过连接管与漏孔固定连通。本发明通过全新的回收系统检完漏后，工件内氦气利用机械泵抽出，送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐内部进行集中收集；而设置的盛放车可以连同工件一起送入真空箱内进行工作，而在盛放车放入的过程中会挤压限位装置进行工作，从而可以使限位板翘起，从而便可以对盛放车以及盛放车顶部的工件进行有效限位，防止盛放车以及其顶部的工件在检测的时候发生位移晃动。工件在检测的时候发生位移晃动。工件在检测的时候发生位移晃动。


技术研发人员：刘勇
受保护的技术使用者：安徽博为光电科技有限公司
技术研发日：2021.03.02
技术公布日：2021/6/24