本实用新型涉及半导体加工的技术领域，特别是涉及全自动补胶机。
背景技术：
众所周知，全自动补胶机是一种用于晶圆自动补胶的辅助装置，其在半导体加工的领域中得到了广泛的使用；现有的全自动补胶机使用中发现，晶圆在初期阶段加工时，需要在其表面涂抹光刻胶，这种光刻胶是由几种原液混合而成的，目前大多数采用的是人工补胶，效率慢，不均匀容易污染浪费等等。
技术实现要素：
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种提高补胶工作效率，增加涂胶均匀度，增加对环境的保护，减少资源的浪费的全自动补胶机。
本实用新型的全自动补胶机，还包括机架、花篮移栽机构、晶圆上料架、顶升机构、气缸、氧化铝吸盘、三爪自动定心机构、xz伺服模组、回吸阀和柱塞泵，花篮移栽机构底端滑动安装在机架顶端，晶圆上料架底端安装在机架顶端，顶升机构顶端安装在机架操作台底端，气缸底端安装在机架顶端，并且气缸与晶圆上料架轴向配合安装，氧化铝吸盘右端固定在气缸左侧输出端，三爪自动定心机构固定安装在气缸左侧输出端，xz伺服模组安装在机架顶端后侧，并且回吸阀配合安装在xz伺服模组操作壁上，柱塞泵安装在xz伺服模组顶端，并且柱塞泵输出端与回吸阀连通。
本实用新型的全自动补胶机，还包括无尘布擦拭机构，无尘布擦拭机构底端沿y轴方向滑动连接在机架顶端，并且无尘布擦拭机构位于晶圆指定补胶位置。
本实用新型的全自动补胶机，还包括丙酮清洗槽和氮气喷嘴，丙酮清洗槽底端安装在机架顶端，丙酮清洗槽顶端位于设置有取放口，并且取放口位于回吸阀原点底部，氮气喷嘴底端安装在机架顶端后侧，并且氮气喷嘴输出端位于回吸阀原点位置。
本实用新型的全自动补胶机，还包括ffu过滤风机，ffu过滤风机底端支撑安装在机架顶端，并且ffu过滤风机位于补胶装置顶部。
本实用新型的全自动补胶机，还包括多个福马轮，多个福马轮顶端分别配合安装在机架底端。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为：通过花篮移栽机构使晶圆上料架与机架滑动连接，通过晶圆上料架使晶圆便于整齐摆动，通过顶升机构使晶圆上料架槽腔内的晶圆推出，通过气缸使氧化铝吸盘进行位置移动对顶升机构推出晶圆上料架内的晶圆进行吸附，通过三爪自动定心机构使氧化铝吸盘吸附的晶圆进行定心夹持，通过气缸使晶圆移动到制定位置，通过xz伺服模组使回吸阀工作位置进行调节，通过回吸阀使定位后的晶圆进行自动补胶，通过柱塞泵使回吸阀进行加压使胶水流出回吸阀内部，提高补胶工作效率，增加涂胶均匀度，增加对环境的保护，减少资源的浪费。
附图说明
图1是本实用新型的正视结构示意图；
图2是本实用新型的左视结构示意图；
图3是本实用新型的轴测结构示意图；
图4是本实用新型的俯视结构示意图；
图5是本实用新型的后视轴测示意图；
附图中标记：1、机架；2、花篮移栽机构；3、晶圆上料架；4、顶升机构；5、气缸；6、氧化铝吸盘；7、三爪自动定心机构；8、xz伺服模组；9、回吸阀；10、柱塞泵；11、无尘布擦拭机构；12、丙酮清洗槽；13、氮气喷嘴；14、ffu过滤风机；15、福马轮。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
如图1至图5所示，本实用新型的全自动补胶机，还包括机架1、花篮移栽机构2、晶圆上料架3、顶升机构4、气缸5、氧化铝吸盘6、三爪自动定心机构7、xz伺服模组8、回吸阀9和柱塞泵10，花篮移栽机构2底端滑动安装在机架1顶端，晶圆上料架3底端安装在机架1顶端，顶升机构4顶端安装在机架1操作台底端，气缸5底端安装在机架1顶端，并且气缸5与晶圆上料架3轴向配合安装，氧化铝吸盘6右端固定在气缸5左侧输出端，三爪自动定心机构7固定安装在气缸5左侧输出端，xz伺服模组8安装在机架1顶端后侧，并且回吸阀9配合安装在xz伺服模组8操作壁上，柱塞泵10安装在xz伺服模组8顶端，并且柱塞泵10输出端与回吸阀9连通；通过花篮移栽机构2使晶圆上料架3与机架1滑动连接，通过晶圆上料架3使晶圆便于整齐摆动，通过顶升机构4使晶圆上料架3槽腔内的晶圆推出，通过气缸5使氧化铝吸盘6进行位置移动对顶升机构4推出晶圆上料架3内的晶圆进行吸附，通过三爪自动定心机构7使氧化铝吸盘6吸附的晶圆进行定心夹持，通过气缸5使晶圆移动到制定位置，通过xz伺服模组8使回吸阀9工作位置进行调节，通过回吸阀9使定位后的晶圆进行自动补胶，通过柱塞泵10使回吸阀9进行加压使胶水流出回吸阀9内部，提高补胶工作效率，增加涂胶均匀度，增加对环境的保护，减少资源的浪费。
本实用新型的全自动补胶机，还包括无尘布擦拭机构11，无尘布擦拭机构11底端沿y轴方向滑动连接在机架1顶端，并且无尘布擦拭机构11位于晶圆指定补胶位置；通过无尘布擦拭机构11使晶圆补胶过程中外溢的胶进行清洁，提高资源利用率，增加装置整洁性，减少胶水造成的污染。
本实用新型的全自动补胶机，还包括丙酮清洗槽12和氮气喷嘴13，丙酮清洗槽12底端安装在机架1顶端，丙酮清洗槽12顶端位于设置有取放口，并且取放口位于回吸阀9原点底部，氮气喷嘴13底端安装在机架1顶端后侧，并且氮气喷嘴13输出端位于回吸阀9原点位置；通过氮气喷嘴13使回吸阀9内残留的胶进行排出，通过丙酮清洗槽12使残留胶水进集中回收处理，减少回吸阀9腔内胶水凝固造成堵塞，减少资源浪费和环境污染，提高使用适应性。
本实用新型的全自动补胶机，还包括ffu过滤风机14，ffu过滤风机14底端支撑安装在机架1顶端，并且ffu过滤风机14位于补胶装置顶部；通过ffu过滤风机14使补胶过程中材料自身的异味进行吸附，减少异味对环境的污染，降低使用局限性。
本实用新型的全自动补胶机，还包括多个福马轮15，多个福马轮15顶端分别配合安装在机架1底端；通过多个福马轮15配合使装置工作时稳定支撑、移动时降低操作难度，提高装置工作摆放适应性，增加移动操作便捷性。
本实用新型的全自动补胶机，其在工作时，首先启动福马轮15对装置进行异味吸附，之后将晶圆依次摆放入晶圆上料架3槽内部，然后通过顶升机构4将晶圆上料架3中的晶圆托举起，然后气缸5通过调动氧化铝吸盘6使顶升机构4托起的晶圆进行吸附，之后通过三爪自动定心机构7将晶圆定心夹紧，然后通过柱塞泵10将回吸阀9中的胶向外输送，之后通过xz伺服模组8带动回吸阀9移动对通过气缸5移动到制定位置的晶圆进行补胶处理，然后通过无尘布擦拭机构11对补胶过程中外溢的胶进行擦拭，当涂胶完成后回吸阀9回到原点位置，之后通过氮气喷嘴13对回吸阀9中残留胶进行清理并在丙酮清洗槽12中回收即可。
本实用新型的全自动补胶机，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本实用新型的全自动补胶机的气缸5和ffu过滤风机14为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
1.全自动补胶机，其特征在于，还包括机架(1)、花篮移栽机构(2)、晶圆上料架(3)、顶升机构(4)、气缸(5)、氧化铝吸盘(6)、三爪自动定心机构(7)、xz伺服模组(8)、回吸阀(9)和柱塞泵(10)，花篮移栽机构(2)底端滑动安装在机架(1)顶端，晶圆上料架(3)底端安装在机架(1)顶端，顶升机构(4)顶端安装在机架(1)操作台底端，气缸(5)底端安装在机架(1)顶端，并且气缸(5)与晶圆上料架(3)轴向配合安装，氧化铝吸盘(6)右端固定在气缸(5)左侧输出端，三爪自动定心机构(7)固定安装在气缸(5)左侧输出端，xz伺服模组(8)安装在机架(1)顶端后侧，并且回吸阀(9)配合安装在xz伺服模组(8)操作壁上，柱塞泵(10)安装在xz伺服模组(8)顶端，并且柱塞泵(10)输出端与回吸阀(9)连通。
2.如权利要求1所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括无尘布擦拭机构(11)，无尘布擦拭机构(11)底端沿y轴方向滑动连接在机架(1)顶端，并且无尘布擦拭机构(11)位于晶圆指定补胶位置。
3.如权利要求2所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括丙酮清洗槽(12)和氮气喷嘴(13)，丙酮清洗槽(12)底端安装在机架(1)顶端，丙酮清洗槽(12)顶端位于设置有取放口，并且取放口位于回吸阀(9)原点底部，氮气喷嘴(13)底端安装在机架(1)顶端后侧，并且氮气喷嘴(13)输出端位于回吸阀(9)原点位置。
4.如权利要求3所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括ffu过滤风机(14)，ffu过滤风机(14)底端支撑安装在机架(1)顶端，并且ffu过滤风机(14)位于补胶装置顶部。
5.如权利要求4所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括多个福马轮(15)，多个福马轮(15)顶端分别配合安装在机架(1)底端。
技术总结