本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏,属于蒸镀技术领域。
背景技术:
现有蒸发源包括加热器和隔热屏,通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用,阻止加热器的热损失,隔热屏采用多层金属组合,但金属本身具有高导热特性,其作为隔热屏使用时隔热效果较低,满足不了超高温蒸发源的需求,有鉴于此,研发一种隔热效果良好,适用于蒸发源的隔热屏是十分有必要的。
技术实现要素:
针对现有技术的不足,本实用新型提供一种蒸发源用组合隔热屏,通过pbn层和金属层的组合达到良好的隔热效果。
本实用新型的技术方案如下:
一种蒸发源用组合隔热屏,包括pbn层和金属层,pbn层和金属层交替设置,pbn的热导率为2-3w/m.k,热导率低,隔热效果好。
优选的,靠近加热器的一层为金属层,对加热器起到热反射的作用。
优选的,pbn层厚度为0.2mm-1mm。
优选的,金属层厚度为0.2mm-1mm。
优选的,pbn层设置1-4层。
优选的,金属层设置2-5层。
优选的,金属层材料选用钽、钼或不锈钢。
隔热屏使用时,将金属层一侧靠近加热器设置,通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用,减少热量散发,满足超高温蒸发源的需求。
本实用新型的有益效果在于:
1、本实用新型适用于蒸发源,通过pbn层和金属层的组合达到良好的隔热效果。
2、本实用新型结构简单,可快速生产应用。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
其中:1、金属层;2、pbn层。
具体实施方式
下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明,但不限于此。
实施例1:
本实施例提供一种蒸发源用组合隔热屏,包括pbn层2和金属层1,pbn层2和金属层1交替设置,pbn的热导率为2-3w/m.k,热导率低,隔热效果好。
靠近加热器的一层为金属层1,对加热器起到热反射的作用,pbn层2厚度为0.2mm,金属层厚度为0.2mm,pbn层设置1层,金属层设置2层,金属层材料选用钽。
隔热屏使用时,将金属层一侧靠近加热器设置,通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用,减少热量散发,满足超高温蒸发源的需求。
实施例2:
一种蒸发源用组合隔热屏,结构如实施例1所述,不同之处在于,pbn层2厚度为1mm,金属层1厚度为1mm,pbn层2设置4层,金属层1设置5层,金属层材料选用钼。
实施例3:
一种蒸发源用组合隔热屏,结构如实施例1所述,不同之处在于,pbn层2设置2层,金属层1设置2层,如图1所示,金属层材料选用不锈钢。
1.一种蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,包括pbn层和金属层,pbn层和金属层交替设置。
2.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,靠近加热器的一层为金属层。
3.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,pbn层厚度为0.2mm-1mm。
4.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,金属层厚度为0.2mm-1mm。
5.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,pbn层设置1-4层。
6.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,金属层设置2-5层。
7.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,金属层材料选用钽、钼或不锈钢。
技术总结