一种蒸发源用组合隔热屏的制作方法

专利2022-05-09  49


本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏,属于蒸镀技术领域。



背景技术:

现有蒸发源包括加热器和隔热屏,通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用,阻止加热器的热损失,隔热屏采用多层金属组合,但金属本身具有高导热特性,其作为隔热屏使用时隔热效果较低,满足不了超高温蒸发源的需求,有鉴于此,研发一种隔热效果良好,适用于蒸发源的隔热屏是十分有必要的。



技术实现要素:

针对现有技术的不足,本实用新型提供一种蒸发源用组合隔热屏,通过pbn层和金属层的组合达到良好的隔热效果。

本实用新型的技术方案如下:

一种蒸发源用组合隔热屏,包括pbn层和金属层,pbn层和金属层交替设置,pbn的热导率为2-3w/m.k,热导率低,隔热效果好。

优选的,靠近加热器的一层为金属层,对加热器起到热反射的作用。

优选的,pbn层厚度为0.2mm-1mm。

优选的,金属层厚度为0.2mm-1mm。

优选的,pbn层设置1-4层。

优选的,金属层设置2-5层。

优选的,金属层材料选用钽、钼或不锈钢。

隔热屏使用时,将金属层一侧靠近加热器设置,通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用,减少热量散发,满足超高温蒸发源的需求。

本实用新型的有益效果在于:

1、本实用新型适用于蒸发源,通过pbn层和金属层的组合达到良好的隔热效果。

2、本实用新型结构简单,可快速生产应用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图;

其中:1、金属层;2、pbn层。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明,但不限于此。

实施例1:

本实施例提供一种蒸发源用组合隔热屏,包括pbn层2和金属层1,pbn层2和金属层1交替设置,pbn的热导率为2-3w/m.k,热导率低,隔热效果好。

靠近加热器的一层为金属层1,对加热器起到热反射的作用,pbn层2厚度为0.2mm,金属层厚度为0.2mm,pbn层设置1层,金属层设置2层,金属层材料选用钽。

隔热屏使用时,将金属层一侧靠近加热器设置,通过隔热屏达到热反射和阻止热传导的作用,减少热量散发,满足超高温蒸发源的需求。

实施例2:

一种蒸发源用组合隔热屏,结构如实施例1所述,不同之处在于,pbn层2厚度为1mm,金属层1厚度为1mm,pbn层2设置4层,金属层1设置5层,金属层材料选用钼。

实施例3:

一种蒸发源用组合隔热屏,结构如实施例1所述,不同之处在于,pbn层2设置2层,金属层1设置2层,如图1所示,金属层材料选用不锈钢。


技术特征:

1.一种蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,包括pbn层和金属层,pbn层和金属层交替设置。

2.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,靠近加热器的一层为金属层。

3.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,pbn层厚度为0.2mm-1mm。

4.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,金属层厚度为0.2mm-1mm。

5.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,pbn层设置1-4层。

6.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,金属层设置2-5层。

7.如权利要求1所述的蒸发源用组合隔热屏,其特征在于,金属层材料选用钽、钼或不锈钢。

技术总结
本实用新型涉及一种蒸发源用组合隔热屏,属于蒸镀技术领域。隔热屏包括PBN层和金属层,PBN层和金属层交替设置,PBN的热导率为2‑3W/M.K,热导率低,隔热效果好。本实用新型适用于蒸发源,通过PBN层和金属层的组合达到良好的隔热效果。

技术研发人员:刘汝强;王殿春;赵旭荣
受保护的技术使用者:山东国晶新材料有限公司
技术研发日:2020.09.25
技术公布日:2021.08.03

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