本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种硅片烘烤用加热装置。
背景技术：
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。
目前主流的制绒方向是单面制绒技术，即将两片硅片背靠背插入花篮进行制绒；与双面制绒对比，单面制绒可以降低化学品成本的约45％，降低纯水用量约30％，同时制绒产能单小时翻倍，减少购置机台的成本。
为了检测硅片的合格率，通常在单面制绒完毕后，人工进行取片手动分片，然后甩干或吹干进行测试，这样的测试结果取决于人工对硅片处理的态度，很难有效保证数据的有效性、及时性及准确性。此外，采用人工气枪吹干耗时长，很难控制合理的出气量，碎片几率较高，且容易出现硅片表面残留的现象。
技术实现要素：
本发明的主要目的在于提供一种硅片烘烤用加热装置，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种硅片烘烤用加热装置，其包括输送构件和烘箱，所述烘箱两侧均设置有开口，所述输送构件通过烘箱两侧的开口贯穿于烘箱内腔下部，所述烘箱上端固定安装有分流罩，所述分流罩上端固定安装有电热箱，所述电热箱上端固定安装有进风罩，所述电热箱的一侧固定安装有安装板，所述安装板上端固定安装有鼓风机，所述鼓风机的出风端固定连接有排风管，所述排风管的另一端与进风罩固定连接，所述电热箱的前端固定安装有电控盒，所述电热箱内固定安装有电热网，所述烘箱前端下部和后端下部均固定安装有水平板，且水平板下端均对称固定安装有支撑脚。
优选的，所述烘箱、分流罩、电热箱和进风罩均为一体成型结构且内部相通，所述分流罩内腔前后侧壁之间共同固定有奇数个倾斜板，所述烘箱内腔上部前后侧壁之间共同固定安装有与倾斜板的数量相等的竖直板，且每个竖直板分别固定连接在其中一个倾斜板下端。
优选的，位于两侧所述倾斜板关于位于正中间的倾斜板呈左右堆成，且每两个相邻的倾斜板上端面之间的距离均相等，位于两侧的所述倾斜板分别与所述分流罩两侧内壁之间的距离相等。
优选的，所述输送构件包括四个支撑板和安装座，位于左侧的两个支撑板和位于右侧的两个支撑板相对面上部均通过轴承座转动连接有轴杆，且每个轴杆外表面均固定安装有传动辊，位于一侧的所述轴杆的一端贯穿支撑板延伸伺服电机上方并固定安装有第一皮带轮，所述安装座上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过传动轴固定连接有第二皮带轮，且第二皮带轮和第一皮带轮之间共同缠绕安装有传动皮带，两个所述传动辊之间共同缠绕安装有输送带，所述输送带的外表面等距固定安装有若干个固定件。
优选的，所述输送带外表面位于相邻两个固定件之间均开设有穿通的矩形通风槽。
优选的，所述固定件包括固定板，所述固定板靠近输送带的一端对称固定安装有两个连接柱，两个所述连接柱远离固定板的一端均固定连接在输送带外表面，所述固定板远离输送带的一端中部固定安装有固定座，且固定座的前后两端均对称固定安装有两个限位板，位于前方的两个限位板和位于后方的两个所述限位板之间均滑动连接有一个夹具，且每个夹具与固定座之间均共同固定连接有螺旋弹簧。
优选的，所述夹具包括滑块，所述螺旋弹簧与滑块固定连接，所述滑块上端固定安装有夹块，所述夹块靠近固定座的一侧开设有夹槽，所述夹槽内腔侧壁和底壁均通过强力粘合剂固定连接有硅胶软垫。
优选的，所述螺旋弹簧始终处于伸长状态。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
本发明通过设置有输送构件和烘箱，使用时接通电源，鼓风机将外界空气通过排风管和进风罩送入到加热箱内，利用电热网进行加热，然后经过若干个倾斜板进行均匀分流，伺服电机工作后能够通过皮带传动原理，使得输送带缓慢转动，在实际工作时，工作人员将硅片夹持在同一固定件中的两个夹槽内，经过竖直板引流后热风均匀吹拂在硅片上，以保证受热烘干均匀，且还能够在一定范围内适用于不同尺寸的硅片烘干工作，其适用范围更广。
附图说明
图1为本发明一种硅片烘烤用加热装置的整体结构示意图；
图2为本发明一种硅片烘烤用加热装置的分流罩和电热箱的剖面图；
图3为本发明一种硅片烘烤用加热装置的输送构件的整体结构示意图；
图4为本发明一种硅片烘烤用加热装置的固定件的整体结构示意图；
图5为本发明一种硅片烘烤用加热装置的夹具的整体结构示意图。
图中：1、烘箱；2、输送构件；21、支撑板；22、传动辊；23、轴杆；24、输送带；25、固定件；251、固定板；252、连接柱；253、固定座；254、限位板；255、螺旋弹簧；256、夹具；2561、滑块；2562、夹块；2563、夹槽；2564、硅胶软垫；26、安装座；27、传动皮带；28、伺服电机；29、矩形通风槽；3、分流罩；4、进风罩；5、电热箱；6、排风管；7、鼓风机；8、电控盒；9、安装板；10、电热网；11、竖直板；12、倾斜板；13、支撑脚；14、水平板。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1-5所示，一种硅片烘烤用加热装置，其包括输送构件2和烘箱1，烘箱1两侧均设置有开口，输送构件2通过烘箱1两侧的开口贯穿于烘箱1内腔下部，烘箱1上端固定安装有分流罩3，分流罩3上端固定安装有电热箱5，电热箱5上端固定安装有进风罩4，电热箱5的一侧固定安装有安装板9，安装板9上端固定安装有鼓风机7，鼓风机7的出风端固定连接有排风管6，排风管6的另一端与进风罩4固定连接，电热箱5的前端固定安装有电控盒8，电热箱5内固定安装有电热网10，烘箱1前端下部和后端下部均固定安装有水平板14，且水平板14下端均对称固定安装有支撑脚13。
烘箱1、分流罩3、电热箱5和进风罩4均为一体成型结构且内部相通，分流罩3内腔前后侧壁之间共同固定有奇数个倾斜板12，烘箱1内腔上部前后侧壁之间共同固定安装有与倾斜板12的数量相等的竖直板11，且每个竖直板11分别固定连接在其中一个倾斜板12下端。
应当说明的是，在本发明中，位于两侧倾斜板12关于位于正中间的倾斜板12呈左右堆成，且每两个相邻的倾斜板12上端面之间的距离均相等，位于两侧的倾斜板12分别与分流罩3两侧内壁之间的距离相等；另外，竖直板11与倾斜板12为一体成型结构，可以看出，鼓风机7将外界空气通过排风管6和进风罩4送入到电热箱5内，利用电热网10进行加热，然后经过若干个倾斜板12进行均匀分流，并且经过竖直板11引流，从而使得热风均匀吹拂在硅片上，以保证受热烘干均匀。
输送构件2包括四个支撑板21和安装座26，位于左侧的两个支撑板21和位于右侧的两个支撑板21相对面上部均通过轴承座转动连接有轴杆23，且每个轴杆23外表面均固定安装有传动辊22，位于一侧的轴杆23的一端贯穿支撑板21延伸伺服电机28上方并固定安装有第一皮带轮，安装座26上端固定安装有伺服电机28，伺服电机28的输出端通过传动轴固定连接有第二皮带轮，且第二皮带轮和第一皮带轮之间共同缠绕安装有传动皮带27，两个传动辊22之间共同缠绕安装有输送带24，输送带24的外表面等距固定安装有若干个固定件25。
应当注意的是，本发明中伺服电机28采用慢速电机，其工作后能够通过皮带传动原理，使得输送带24缓慢转动。另外，输送带24外表面位于相邻两个固定件25之间均开设有穿通的矩形通风槽29，提高了空气流动的效率，进而提高硅片的烘干效率。
固定件25包括固定板251，固定板251靠近输送带24的一端对称固定安装有两个连接柱252，两个连接柱252远离固定板251的一端均固定连接在输送带24外表面，固定板251远离输送带24的一端中部固定安装有固定座253，且固定座253的前后两端均对称固定安装有两个限位板254，位于前方的两个限位板254和位于后方的两个限位板254之间均滑动连接有一个夹具256，且每个夹具256与固定座253之间均共同固定连接有螺旋弹簧255。
夹具256包括滑块2561，螺旋弹簧255与滑块2561固定连接，滑块2561上端固定安装有夹块2562，夹块2562靠近固定座253的一侧开设有夹槽2563，夹槽2563内腔侧壁和底壁均通过强力粘合剂固定连接有硅胶软垫2564。
由上述可以看出，在实际工作时，工作人员将硅片夹持在同一固定件25中的两个夹槽2563内，具体操作为：先向两侧分开夹块2562，其带动滑块2561滑动，使螺旋弹簧255伸长，然后将待进行烘干的硅片放置于两个夹槽2563内，缓慢松开两个夹块2562，此时螺旋弹簧255回弹，进而将硅片夹紧，利用硅胶软垫2564能够对硅片起到良好的保护作用，避免硅片在夹持过程中受到损坏。另外，本发明中螺旋弹簧255始终处于伸长状态，其始终能够对滑块2561施加拉力，以保证能够价格硅片夹紧；采用上述固定件25，还能够在一定范围内适用于不同尺寸的硅片烘干工作，其适用范围更广。
需要说明的是，本发明为一种硅片烘烤用加热装置，使用时接通电源，鼓风机7将外界空气通过排风管6和进风罩4送入到电热箱5内，利用电热网10进行加热，然后经过若干个倾斜板12进行均匀分流，伺服电机28工作后能够通过皮带传动原理，使得输送带24缓慢转动，工作人员先向两侧分开夹块2562，其带动滑块2561滑动，使螺旋弹簧255伸长，然后将待进行烘干的硅片放置于两个夹槽2563内，缓慢松开两个夹块2562，此时螺旋弹簧255回弹，进而将硅片夹紧，经过竖直板11引流后热风均匀吹拂在硅片上，以保证受热烘干均匀。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
1.一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于,其包括输送构件(2)和烘箱(1)，所述烘箱(1)两侧均设置有开口，所述输送构件(2)通过烘箱(1)两侧的开口贯穿于烘箱(1)内腔下部，所述烘箱(1)上端固定安装有分流罩(3)，所述分流罩(3)上端固定安装有电热箱(5)，所述电热箱(5)上端固定安装有进风罩(4)，所述电热箱(5)的一侧固定安装有安装板(9)，所述安装板(9)上端固定安装有鼓风机(7)，所述鼓风机(7)的出风端固定连接有排风管(6)，所述排风管(6)的另一端与进风罩(4)固定连接，所述电热箱(5)的前端固定安装有电控盒(8)，所述电热箱(5)内固定安装有电热网(10)，所述烘箱(1)前端下部和后端下部均固定安装有水平板(14)，且水平板(14)下端均对称固定安装有支撑脚(13)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于：所述烘箱(1)、分流罩(3)、电热箱(5)和进风罩(4)均为一体成型结构且内部相通，所述分流罩(3)内腔前后侧壁之间共同固定有奇数个倾斜板(12)，所述烘箱(1)内腔上部前后侧壁之间共同固定安装有与倾斜板(12)的数量相等的竖直板(11)，且每个竖直板(11)分别固定连接在其中一个倾斜板(12)下端。
3.根据权利要求2所述的一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于：位于两侧所述倾斜板(12)关于位于正中间的倾斜板(12)呈左右堆成，且每两个相邻的倾斜板(12)上端面之间的距离均相等，位于两侧的所述倾斜板(12)分别与所述分流罩(3)两侧内壁之间的距离相等。
4.根据权利要求1所述的一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于：所述输送构件(2)包括四个支撑板(21)和安装座(26)，位于左侧的两个支撑板(21)和位于右侧的两个支撑板(21)相对面上部均通过轴承座转动连接有轴杆(23)，且每个轴杆(23)外表面均固定安装有传动辊(22)，位于一侧的所述轴杆(23)的一端贯穿支撑板(21)延伸伺服电机(28)上方并固定安装有第一皮带轮，所述安装座(26)上端固定安装有伺服电机(28)，所述伺服电机(28)的输出端通过传动轴固定连接有第二皮带轮，且第二皮带轮和第一皮带轮之间共同缠绕安装有传动皮带(27)，两个所述传动辊(22)之间共同缠绕安装有输送带(24)，所述输送带(24)的外表面等距固定安装有若干个固定件(25)。
5.根据权利要求2所述的一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于：所述输送带(24)外表面位于相邻两个固定件(25)之间均开设有穿通的矩形通风槽(29)。
6.根据权利要求1所述的一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于：所述固定件(25)包括固定板(251)，所述固定板(251)靠近输送带(24)的一端对称固定安装有两个连接柱(252)，两个所述连接柱(252)远离固定板(251)的一端均固定连接在输送带(24)外表面，所述固定板(251)远离输送带(24)的一端中部固定安装有固定座(253)，且固定座(253)的前后两端均对称固定安装有两个限位板(254)，位于前方的两个限位板(254)和位于后方的两个所述限位板(254)之间均滑动连接有一个夹具(256)，且每个夹具(256)与固定座(253)之间均共同固定连接有螺旋弹簧(255)。
7.根据权利要求6所述的一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于：所述夹具(256)包括滑块(2561)，所述螺旋弹簧(255)与滑块(2561)固定连接，所述滑块(2561)上端固定安装有夹块(2562)，所述夹块(2562)靠近固定座(253)的一侧开设有夹槽(2563)，所述夹槽(2563)内腔侧壁和底壁均通过强力粘合剂固定连接有硅胶软垫(2564)。
8.根据权利要求6所述的一种硅片烘烤用加热装置，其特征在于：所述螺旋弹簧(255)始终处于伸长状态。
技术总结