激光加工用工作台的制作方法

专利2022-05-09  98


本发明涉及激光加工用工作台。更详细而言,本发明涉及提高了可靠性的激光加工用工作台。



背景技术:

为了切断加工对象部件或在所述加工对象部件形成图案,利用激光加工工序。所述激光加工工序可以按照以下方式进行,即,在底座上配置所述加工对象部件,向所述加工对象部件照射激光束,并分离被所述激光束切断的所述加工对象部件。但是,在所述激光束的输出弱的情况下,无法充分切断所述加工对象部件。或者,所述加工对象部件所包含的粘接剂被所述激光束熔化后可能会扩散到被切断的切断面。由此,所述加工对象部件在被切断后可能会再次被附着。因此,在分离所述加工对象部件的过程中,存在所述加工对象部件受损或者需要附加执行所述激光束的照射工序的问题。



技术实现要素:

本发明的一目的是提供一种提高了可靠性的激光加工用工作台。

但是,本发明的目的并不限于上述的目的,在不超出本发明的思想以及领域的范围内可进行各种扩展。

为了达成本发明的一目的,本发明的各实施例涉及的激光加工用工作台可以包括:底座,支承包括第一区域和第二区域的加工对象部件;铰链部件,位于所述加工对象部件的所述第二区域的下方;以及上部结构物,包括吸附部件和第一加压部件,若使所述上部结构物朝向所述底座移动,则所述第一加压部件使所述铰链部件旋转来使所述第二区域上升,所述吸附部件吸附上升的所述第二区域。

根据一实施例,可以是,所述铰链部件包括:第一部分,与所述第一加压部件重叠;第二部分,与所述第二区域重叠;以及铰链轴,位于所述第一部分与所述第二部分之间。

根据一实施例,可以是,若所述第一加压部件向所述第一部分施加压力,则所述第一部分下降,且所述第二部分上升,并且所述第二部分使所述第二区域上升。

根据一实施例,可以是,若所述第一加压部件不向所述第一部分施加压力,则所述第一部分上升,且所述第二部分下降,并且所述第二部分的上表面低于所述底座的上表面。

根据一实施例,可以是,所述铰链部件还包括包围所述铰链轴的第一弹性体,若所述第一加压部件不向所述第一部分施加压力,则所述第一弹性体使所述第一部分上升,且使所述第二部分下降。

根据一实施例,可以是,所述铰链部件还包括配置在所述第一部分的下部的第二弹性体,当所述第一加压部件使所述铰链部件旋转时,所述第二弹性体收缩。

根据一实施例,可以是,所述铰链部件还包括配置在所述第一部分的下部的第二弹性体,若所述第一加压部件不向所述第一部分施加压力,则所述第二弹性体使所述第一部分上升,且使所述第二部分下降。

根据一实施例,可以是,所述底座包括:固定区域,支承所述第一区域,且配置有贯通部;分离区域,支承所述第二区域,且配置有所述铰链部件;以及间隔空间,位于所述固定区域与所述分离区域之间,所述激光加工用工作台还包括:吸入装置,通过所述贯通部传递吸引力来将所述第一区域吸附到所述固定区域。

根据一实施例,可以是,所述上部结构物还包括:第二加压部件,若将所述上部结构物朝向所述底座移动,则向所述第一区域施加压力。

根据一实施例,可以是,所述上部结构物还包括:第三弹性体,配置在所述第二加压部件上。

根据一实施例,可以是,若使所述上部结构物朝向所述底座移动,则所述吸附部件、所述第一加压部件以及所述第二加压部件一起移动。

根据一实施例,可以是,所述第二加压部件的底面低于所述第一加压部件的底面,并且所述第一加压部件的底面低于所述吸附部件的底面。

根据一实施例,可以是,所述铰链部件与所述吸附部件重叠。

根据一实施例,可以是,所述加工对象部件包括基板,所述第一区域是所述基板的单元区域,所述第二区域是所述基板的虚设区域。

为了达成本发明的其他目的,本发明的各实施例涉及的显示装置的制造方法可以包括:在底座上配置包括单元区域和虚设区域的基板的步骤;在所述基板上方配置包括吸附部件以及第一加压部件的上部结构物的步骤;所述第一加压部件使所述铰链部件旋转来使所述虚设区域上升的步骤;以及所述吸附部件吸附所述虚设区域的步骤。

根据一实施例,可以是,所述铰链部件包括:第一部分,与所述第一加压部件接触;第二部分,与所述虚设区域接触;以及铰链轴,位于所述第一部分与所述第二部分之间,若所述第一加压部件向所述第一部分施加压力,则所述第一部分下降,且所述第二部分上升。

根据一实施例,所述上部结构物还包括第二加压部件,所述制造方法在所述第一加压部件向所述铰链部件施加压力的步骤之前,还包括所述第二加压部件向所述单元区域施加压力的步骤。

根据一实施例,所述制造方法在所述吸附部件吸附所述虚设区域的步骤之后还包括所述上部结构物上升的步骤,若所述上部结构物上升,则所述第一部分上升,且所述第二部分下降。

根据一实施例,可以是,所述第二加压部件向所述单元区域施加压力直到所述单元区域与所述虚设区域分离为止。

根据一实施例,可以是,同时执行所述第一加压部件使所述铰链部件旋转来使所述虚设区域上升的步骤和所述吸附部件吸附所述虚设区域的步骤。

(发明效果)

本发明的各实施例涉及的激光加工用工作台可以包括使加工对象部件的第二区域上升的铰链部件、吸附所述加工对象部件的所述第二区域的吸附部件以及固定所述加工对象部件的第一区域的加压部件。由此,所述激光加工用工作台可以固定所述第一区域,并使所述第二区域上升。因此,所述激光加工用工作台可以分离被激光束切断的所述第一区域和所述第二区域,因而可以防止所述第一区域受损,并且可以提高所述激光加工用工作台的可靠性。另外,利用所述激光加工用工作台的显示装置的制造方法可以按照使上部结构物下降一次后上升一次的方式执行。因此,与现有技术中的制造方法相比,无需另行追加工序,并且无需再次照射所述激光束,因而可以增加工序的效率性。

但是,本发明的效果并不限于上述的效果,在不超出本发明的思想以及领域的范围内可以进行各种扩展。

附图说明

图1是表示本发明的一实施例涉及的激光加工用工作台的图。

图2是表示图1的激光加工用工作台所支承的加工对象部件的平面图。

图3是表示图1的激光加工用工作台所包括的底座的一例的平面图。

图4是表示图1的激光加工用工作台所包括的底座的其他例的平面图。

图5是放大了图1的c区域的放大图。

图6是表示图1的激光加工用工作台所包括的上部结构物的平面图。

图7是用于说明图6的上部结构物所包括的第一加压部件的立体图。

图8至图12是用于说明利用图1的激光加工用工作台的显示装置的制造方法的图。

(符号说明)

10:激光加工用工作台;100:底座;200:上部结构物;300:加工对象部件;400:铰链部件;500:吸入装置;600:传送部;110:固定区域;120:分离区域;130:间隔空间;111:贯通孔;121:配置空间;210:吸附部件;220:第一加压部件;230:第二加压部件;240:第三弹性体;320:单元区域;340:虚设区域;cl:切割线;410:第一部分;420:第二部分;430:铰链轴;440:第一弹性体;450:第二弹性体。

具体实施方式

以下,参照附图,更详细说明本发明的各实施例。对于图上的同一构成要素使用相同的符号,并省略对同一构成要素的重复说明。

图1是表示本发明的一实施例涉及的激光加工用工作台的图,图2是表示图1的激光加工用工作台所支承的加工对象部件的平面图。例如,图2可以是从图1的第二方向d2观察加工对象部件的平面图。

参照图1以及图2,本发明的一实施例涉及的激光加工用工作台10可以包括底座100、上部结构物200以及铰链部件400。例如,所述激光加工用工作台10可以分离被激光束切断的加工对象部件300。

所述加工对象部件300可以在第三方向d3以及与所述第三方向d3垂直的第四方向d4上分别具有一定的宽度。另外,所述加工对象部件300可以在与所述第三方向d3以及所述第四方向d4垂直的第二方向d2上具有一定的厚度。

在一实施例中,所述加工对象部件300可以是用于实现显示装置的构成。例如,所述显示装置可以是有机发光显示装置、液晶显示装置等。在该情况下,所述加工对象部件300可以包括由玻璃或者塑料形成的基板以及配置在所述基板上且具有发光元件的显示面板。另外,所述加工对象部件300还可以包括粘接剂(例如,透光性粘接剂(opticallyclearadhesive))。例如,在所述基板为柔性塑料基板的情况下,所述粘接剂可以配置在支承所述基板的保护膜与所述基板之间。

所述加工对象部件300可以被划分为由切割线cl定义的第一区域以及包围所述第一区域的第二区域。例如,所述第一区域可以通过所述激光加工用工作台10被固定在所述底座100上。所述第二区域可以通过所述激光加工用工作台10上升,由此可以与所述第一区域分离。在一实施例中,所述第一区域可以是所述显示装置的单元区域320,所述第二区域可以是所述显示装置的虚设区域340。

例如,可以在所述底座100的上部配置激光扫描器(例如,图8的激光扫描器1000),所述激光扫描器可以沿着所述切割线cl照射激光束(例如,图8的激光束1100)。所述激光束向所述切割线cl提供热,从而可以切断所述单元区域320和所述虚设区域340。

在一实施例中,图2的a区域可以是与所述上部结构物200的吸附部件210接触的区域。另外,图2的b区域可以是与所述上部结构物200的第二加压部件230接触的区域。对此,将参照图6来详细说明。

另一方面,即便是通过所述激光束进行加工,所述单元区域320和所述虚设区域340也有可能不会被充分切断。例如,可能会因所述激光束的输出不充分,导致所述单元区域320和所述虚设区域340不被切断。或者,在所述加工对象部件300包括所述粘接剂的情况下,所述单元区域320和所述虚设区域340之间的所述粘接剂可能会因所述激光束而熔化。由此,所述粘接剂可能会扩散到所述单元区域320与所述虚设区域340之间,从而再次使所述单元区域320和所述虚设区域340粘接。

在利用现有技术中的激光加工用工作台制造所述显示装置的情况下,当分离未被充分切断的所述单元区域320和所述虚设区域340时,所述单元区域320可能会受损。另外,为了充分切断所述单元区域320和所述虚设区域340,所述激光扫描器需要进一步照射所述激光束。

图3是表示图1的激光加工用工作台所包括的底座的一例的平面图,图4是表示图1的激光加工用工作台所包括的底座的其他例的平面图,图5是放大了图1的c区域的放大图。例如,图3以及图4可以是从图1的第二方向d2观察底座的平面图。

参照图1以及图3,所述底座100可以具有实质上平坦的上表面,以便可以支承所述加工对象部件300。所述底座100可以包括固定区域110以及分离区域120。在所述固定区域110上可以配置所述加工对象部件300的单元区域320,在所述分离区域120上可以配置所述虚设区域340。另外,在所述底座100的外部可以配置一个以上的吸入装置500。

在所述底座100的所述固定区域110可以配置一个以上的贯通部111。例如,所述贯通部111可以在所述第二方向d2上贯通所述底座100。由此,所述贯通部111的一端可以与所述加工对象部件300接触,所述贯通部111的另一端可以与所述吸入装置500连接。例如,所述吸入装置500可以是真空装置。所述吸入装置500可以向所述贯通部111传递吸引力,通过所述吸引力,所述单元区域320可以被吸附到所述底座100。由此,所述单元区域320可以在分离所述虚设区域340的期间被固定在所述固定区域110上。

在所述底座100的所述分离区域120可以设置一个以上的配置空间121。在一实施例中,所述配置空间121可以设置成与图2的所述a区域对应。具体而言,所述配置空间121可以设置成与所述上部结构物200的所述吸附部件210对应。例如,所述配置空间121可以是具有一定体积的长方体形状的空的空间。在所述配置空间121的内部可以配置所述铰链部件400。

在所述底座100的所述固定区域110与所述分离区域120之间可以设置间隔空间130。例如,所述间隔空间130可以在所述第二方向d2上贯通所述底座100。

在一实施例中,所述间隔空间130可以沿着所述加工对象部件300的所述切割线cl配置。例如,所述加工对象部件300可以在所述底座100上被配置成所述切割线cl和所述间隔空间130彼此重叠。由此,所述激光束可以经过所述切割线cl照射到所述间隔空间130的内部。因此,所述间隔空间130可以防止朝向所述切割线cl照射的所述激光束从所述底座100反射的情况。另外,所述底座100可以由黑色实现,使得可以抑制所述激光束的反射。

参照图1以及图3,所述铰链部件400可以配置在所述配置空间121的内部。因此,所述铰链部件400可以配置成与图2的所述a区域对应。

所述铰链部件400可以包括第一部分410、与所述第一部分410相反的第二部分420以及位于所述第一部分410与所述第二部分420之间的铰链轴430。

在一实施例中,所述第一部分410可以与所述上部结构物200的第一加压部件220重叠。所述第二部分420可以与所述虚设区域340接触。另外,所述第二部分420可以与所述上部结构物200的所述吸附部件210重叠。

在一实施例中,若将所述上部结构物200朝向所述底座100移动,则所述第一加压部件220使所述铰链部件400旋转来使所述虚设区域340上升,所述吸附部件210可以吸附所述虚设区域340。例如,若所述第一加压部件220下降而与所述第一部分410接触,则所述第一加压部件220可以向所述第一部分410施加压力。由此,所述第一部分410可以下降。若所述第一部分410下降,则以所述铰链轴430为基准,所述第二部分420可以上升。通过所述第二部分420上升,从而所述第二部分420可以使所述虚设区域340上升。另外,所述吸附部件210可以吸附所述虚设区域340。

在一实施例中,如图3所示,所述铰链部件400的所述铰链轴430可以在水平方向(例如,所述第三方向d3)上延伸。在其他实施例中,所述铰链部件400的所述铰链轴430可以在垂直方向(例如,所述第四方向d4)上延伸。

在又一其他实施例中,如图4所示,所述铰链部件400’的所述铰链轴430’可以在所述第三方向d3与所述第四方向d4之间的任意方向上延伸。

虽然在图3以及图4中表示了在所述水平方向或者所述任意方向上延伸的所述铰链轴(430或者430’),但是本发明并不限于此。例如,所述铰链轴延伸的方向可以是能够随着所述第二部分420的上升使所述虚设区域340上升的适当方向中的一个方向。另外,如图4所示,在所述激光加工用工作台10包括多个所述铰链部件400’的情况下,所述铰链轴延伸的方向可以彼此不同。

图5是放大了图1的c区域的放大图。

参照图1以及图5,所述铰链部件400还可以包括包围所述铰链轴430的第一弹性体440以及配置在所述第一部分410的下部的第二弹性体450。

在一实施例中,若所述第一加压部件220向所述第一部分410施加压力,则所述第一部分410可以下降,且所述第二部分420可以上升。例如,所述第一部分410的上表面410_t可以低于所述底座100的上表面100_t,所述第二部分420的上表面420_t可以高于所述底座100的所述上表面100_t。由此,所述第二部分420可以使所述虚设区域340上升。

相反,如图1以及图5所示,若所述第一加压部件220不向所述第一部分410施加压力,则所述第一部分410可以上升,且所述第二部分420可以下降。由此,所述第一部分410的所述上表面410_t可以高于所述底座100的所述上表面100_t,所述第二部分420的所述上表面420_t可以低于所述底座100的所述上表面100_t。

在一实施例中,所述第一弹性体440可以向所述铰链轴430提供弹性力。由此,若所述第一加压部件220不向所述第一部分410施加压力,则所述第一弹性体440可以使所述第一部分410上升,且使所述第二部分420下降。

在其他实施例中,所述第二弹性体450可以向所述第一部分410提供弹性力。在所述第一加压部件220使所述铰链部件400旋转时,所述第二弹性体450可以收缩。另外,若所述第一加压部件220不向所述第一部分410施加压力,则所述第二弹性体450可以被释放。由此,所述第二弹性体450可以使所述第一部分410上升,且使所述第二部分420下降。

所述铰链部件400可以通过所述第一加压部件220、所述第一弹性体440以及第二弹性体450,反复顺时针方向上的旋转和逆时针方向上的旋转。例如,图5所示的所述铰链部件400可以通过所述第一加压部件220在逆时针方向上旋转,并且通过所述第一弹性体440和所述第二弹性体450在顺时针方向上旋转。

另一方面,在其他实施例中,所述激光加工用工作台10也可以不包括所述第一弹性体440和所述第二弹性体450。例如,所述第一弹性体440和所述第二弹性体450可以是用于使所述铰链部件400反复进行旋转的各种手段中的一个手段。

在一实施例中,所述铰链轴430可以位于与所述底座100的所述上表面100_t相同的高度上。另外,可以拆卸以及附着所述铰链轴430。可以将所述铰链轴430拆卸后附着到期望的配置空间121,从而可将所述铰链部件400配置到期望的位置。

图6是表示图1的激光加工用工作台所包括的上部结构物的平面图,图7是用于说明图6的上部结构物所包括的第一加压部件的立体图。例如,图6可以是从图1的第一方向d1观察上部结构物的平面图。

参照图1、图6以及图7,所述上部结构物200可以位于所述底座100的上部。所述上部结构物200可以包括至少一个所述吸附部件210、至少一个所述第一加压部件220、至少一个所述第二加压部件230以及至少一个第三弹性体240。

在一实施例中,所述上部结构物200可以与传送部600连接。所述传送部600可以传送所述上部结构物200。例如,所述传送部600可以使所述上部结构物200上升(例如,在所述第一方向d1)或者下降(例如,在所述第二方向d2)。另外,所述传送部600可以在所述第三方向d3或者所述第四方向d4上传送所述上部结构物200。

所述吸附部件210可以吸附所述加工对象部件300的所述虚设区域340。在一实施例中,所述吸附部件210可以是拾取器(picker)。例如,随着所述上部结构物200下降,所述吸附部件210可以与所述虚设区域340接触。然后,所述吸附部件210吸入所述虚设区域340,从而吸附所述虚设区域340。为此,所述吸附部件210可以与图2的所述a区域接触。

所述第一加压部件220可以向所述铰链部件400施加压力。例如,随着所述上部结构物200下降,所述第一加压部件220可以与所述铰链部件400的所述第一部分410接触。随着所述上部结构物200继续下降,所述第一加压部件220可以向所述第一部分410施加压力。由此,所述铰链部件400可以旋转。例如,所述铰链部件400中,所述第一部分410可以下降,所述第二部分420可以上升。

例如,如图7所示,所述第一加压部件220可以包括:与所述铰链部件400接触的各腿部221;以及配置在各所述腿部221上而连接各所述腿部221的主体222。在所述主体222的中央部可以设置开口,在所述开口可以配置所述吸附部件210以及所述第二加压部件230。

所述第二加压部件230可以向所述加工对象部件300的所述单元区域320施加压力。例如,随着所述上部结构物200下降,所述第二加压部件230可以与所述单元区域320接触。为此,所述第二加压部件230可以与图2的所述b区域接触。另外,所述第二加压部件230可以固定所述单元区域320,使得在所述虚设区域340上升的期间所述单元区域320不会上升。

所述第三弹性体240可以配置在所述第二加压部件230与所述传送部600之间。所述第三弹性体240可以在所述第二加压部件230向所述单元区域320施加压力的期间防止所述单元区域320受损。例如,随着所述第三弹性体240收缩,所述第二加压部件230可以向所述单元区域320施加仅能固定所述单元区域320程度的适当的压力。

在一实施例中,若所述上部结构物200移动,则所述吸附部件210、所述第一加压部件220、所述第二加压部件230以及所述第三弹性体240可以一体地移动。例如,若所述上部结构物200朝向所述底座100移动,则所述吸附部件210、所述第一加压部件220、所述第二加压部件230以及所述第三弹性体240可以一体地朝向所述底座100移动。

在一实施例中,所述第二加压部件230的底面230_l可以低于所述第一加压部件220的底面220_l。例如,随着所述上部结构物200下降,可以是所述第二加压部件230固定所述单元区域320之后,所述第一加压部件220向所述第一部分410施加压力。因此,可以固定所述单元区域320后分离所述虚设区域340。

在一实施例中,所述第一加压部件220的所述底面220_l可以低于所述吸附部件210的底面210_l。例如,随着所述上部结构物200下降,可以在所述第一加压部件220充分使所述第一部分410下降之后,所述吸附部件210吸附所述虚设区域340。由此,可以在所述第二部分420使所述虚设区域340上升之后,所述吸附部件210吸附所述虚设区域340。或者,可以是所述第二部分420使所述虚设区域340上升,与此同时所述吸附部件210吸附所述虚设区域340。

图8至图12是用于说明利用了图1的激光加工用工作台的显示装置的制造方法的图。

参照图1以及图8,可以在所述底座100上配置所述加工对象部件300。例如,所述加工对象部件300可以是用于制造显示装置的基板。可以在所述底座100的所述固定区域110配置所述加工对象部件300的所述单元区域320,在所述底座100的所述分离区域120配置所述加工对象部件300的所述虚设区域340。另外,在所述加工对象部件300的上部配置的所述激光扫描器1000可以朝向所述加工对象部件300的所述切割线cl照射所述激光束1100。由此,可以切断所述加工对象部件300。

参照图1以及图9,所述上部结构物200可以在所述第二方向d2上下降。如上所述,所述上部结构物200可以包括所述吸附部件210、所述第一加压部件220、所述第二加压部件230以及所述第三弹性体240。在一实施例中,随着所述上部结构物200下降,所述吸附部件210、所述第一加压部件220、所述第二加压部件230以及所述第三弹性体240可以一起下降。

参照图1以及图10,随着所述上部结构物200下降,所述第二加压部件230可以向所述单元区域320施加压力。所述第二加压部件230可以与所述底座100的贯通孔111一起固定所述单元区域320。在该情况下,为了防止所述单元区域320受损,所述第三弹性体240可以收缩。

参照图1以及图11,随着所述上部结构物200下降,所述第一加压部件220可以向所述铰链部件400的所述第一部分410施加压力。由此,所述第一部分410可以下降,所述第二弹性体450可以收缩。另外,以所述铰链轴430为基准,所述第二部分420可以上升。由此,所述第二部分420可以与所述虚设区域340接触。另外,随着所述上部结构物200下降,所述吸附部件210可以吸附所述虚设区域340。

在一实施例中,可以同时执行所述第二部分使所述虚设区域340上升的动作和所述吸附部件210吸附所述虚设区域340的动作。另外,所述第二加压部件230可以向所述单元区域320施加压力直到所述单元区域320和所述虚设区域340完全分离为止。

参照图1以及图12,所述上部结构物200可以上升。随着所述上部结构物200上升,被所述吸附部件210吸附的所述虚设区域340也可以一起上升。另外,通过所述底座100的贯通孔111以及所述上部结构物200的所述第二加压部件230可以固定所述单元区域320。因此,所述加工对象部件300可以被分离为所述单元区域320和所述虚设区域340。

另外,随着所述上部结构物200上升,所述第一加压部件220也可以一起上升。由此,所述第二弹性体450可以使所述铰链部件400的所述第一部分410上升。因此,以所述铰链轴430为基准,所述第二部分420可以下降,所述激光加工用工作台10可以再次执行上述的动作。

本发明的一实施例涉及的所述激光加工用工作台10可以包括所述底座100、所述上部结构物200以及所述铰链部件400。由此,可以分离即便是利用了所述激光束1100的加工也没能充分切断的所述单元区域320和所述虚设区域340。具体而言,所述激光加工用工作台10可以固定所述单元区域320,并使所述虚设区域340上升。因此,所述激光加工用工作台10可以防止所述单元区域320受损,并且可提高所述激光加工用工作台10的可靠性。另外,利用了所述激光加工用工作台10的显示装置的制造方法可以通过使上部结构物200下降一次之后上升一次来执行所有工序。因此,与现有技术中的制造方法相比,无需另行追加工序,不需要再次照射所述激光束1100,因而可以增加工序的效率性。

(产业上的可利用性)

本发明可以适用于显示装置以及包括显示装置的电子设备。例如,本发明可以适用于高分辨率智能电话、移动电话、智能平板、智能手表、台式pc、车辆用导航仪系统、电视机、计算机监控器、笔记本电脑等中。

以上,参照本发明的各示例性实施例进行了说明,但是本领域技术人员应该能够理解在不超出权利要求书记载的本发明的思想以及领域的范围内可以对本发明进行各种修改以及变更。


技术特征:

1.一种激光加工用工作台,包括:

底座,支承包括第一区域和第二区域的加工对象部件;

铰链部件,位于所述加工对象部件的所述第二区域的下方;以及

上部结构物,包括吸附部件和第一加压部件,

若使所述上部结构物朝向所述底座移动,则所述第一加压部件使所述铰链部件旋转来使所述第二区域上升,所述吸附部件吸附上升的所述第二区域。

2.根据权利要求1所述的激光加工用工作台,其特征在于,

所述铰链部件包括:

第一部分,与所述第一加压部件重叠;

第二部分,与所述第二区域重叠;以及

铰链轴,位于所述第一部分与所述第二部分之间。

3.根据权利要求2所述的激光加工用工作台,其特征在于,

若所述第一加压部件向所述第一部分施加压力,则所述第一部分下降,且所述第二部分上升,并且所述第二部分使所述第二区域上升。

4.根据权利要求2所述的激光加工用工作台,其特征在于,

若所述第一加压部件不向所述第一部分施加压力,则所述第一部分上升,且所述第二部分下降,并且所述第二部分的上表面低于所述底座的上表面。

5.根据权利要求4所述的激光加工用工作台,其特征在于,

所述铰链部件还包括包围所述铰链轴的第一弹性体,

若所述第一加压部件不向所述第一部分施加压力,则所述第一弹性体使所述第一部分上升,且使所述第二部分下降。

6.根据权利要求4所述的激光加工用工作台,其特征在于,

所述铰链部件还包括配置在所述第一部分的下部的第二弹性体,

当所述第一加压部件使所述铰链部件旋转时,所述第二弹性体收缩。

7.根据权利要求1所述的激光加工用工作台,其特征在于,

所述上部结构物还包括:第二加压部件,若将所述上部结构物朝向所述底座移动,则向所述第一区域施加压力。

8.根据权利要求7所述的激光加工用工作台,其特征在于,

所述上部结构物还包括:第三弹性体,配置在所述第二加压部件上。

9.根据权利要求7所述的激光加工用工作台,其特征在于,

若使所述上部结构物朝向所述底座移动,则所述吸附部件、所述第一加压部件以及所述第二加压部件一起朝向所述底座移动。

10.根据权利要求1所述的激光加工用工作台,其特征在于,

所述加工对象部件包括基板,

所述第一区域是所述基板的单元区域,所述第二区域是所述基板的虚设区域所述底座包括:

固定区域,支承所述第一区域,且配置有贯通部;

分离区域,支承所述第二区域,且配置有所述铰链部件;以及

间隔空间,位于所述固定区域与所述分离区域之间。

技术总结
激光加工用工作台包括:底座,支承包括第一区域和第二区域的加工对象部件;铰链部件,位于加工对象部件的第二区域的下方;以及上部结构物,包括吸附部件和第一加压部件。若使上部结构物朝向底座移动,则第一加压部件使铰链部件旋转来使第二区域上升,吸附部件吸附上升的第二区域。

技术研发人员:金钟协;韩相善
受保护的技术使用者:三星显示有限公司
技术研发日:2020.06.01
技术公布日:2021.08.03

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