交叉应用(相关申请参考)
本申请基于2020年1月31日在日本的先前申请(专利申请2020-014682)，拥于记载于该先前申请中的全部事项的优先权。
本发明涉及用于诸如硬盘驱动器的磁盘装置用悬架。
背景技术：
硬盘驱动器(hdd)一般用于个人计算机等信息处理装置中。硬盘驱动器包括绕主轴旋转的磁盘，绕枢轴旋转的滑架等。滑架具有致动臂，所述致动臂通过诸如音圈马达之类的定位马达在盘的轨道宽度方向上围绕枢轴旋转。
磁盘装置用悬架(以下简称为悬架)安装在所述致动臂上。悬架包括承载梁和与承载梁重叠配置的挠曲部。在挠曲部的尖端附近形成有万向部，万向部上设有构成磁头的滑块。滑块上设置有用于执行诸如读取或写入数据之类的访问的元件(换能器)。头部万向部组件由所述承载梁、挠曲部以及滑块等组成。
所述万向部包括搭载滑块的衔片、形成于衔片两侧的一对悬臂梁。所述一对悬臂梁分别具有向挠曲件两侧外侧突出的形状。所述一对悬臂梁的长度方向的两端部分别通过例如激光焊接等固定于承载梁上。所述一对悬臂梁分别可以在厚度方向上像弹簧一样翘曲变形，并在确保衔片的万向部运动中起到重要作用。
为了应对磁盘的记录高密度化，需要使头部万向部组件更加小型化，以及将滑块更高精度地定位于磁盘的记录面上。因此，在确保头部万向部组件的万向运动的前提下，必须尽量减挠曲件的摇晃。例如在美国专利第6，967，821号说明书和日本特开2010-86630号公报中，公开了为了抑制挠曲件的摇晃，在悬架局部设置减震材料。
为了在振动输入时减小挠曲件的振动，抑制悬臂梁的摇晃有可能是有效的。因此，考虑在悬臂梁上设置阻尼材料。换言之，通过将阻尼材料粘附到悬臂梁上，使悬臂梁和阻尼器材料一体地移动。然而，如果将阻尼材料粘附到悬臂梁上，可以抑制挠曲件的摇晃的同时存在挠曲件的刚度增加的问题。例如，将阻尼材料粘附于悬臂梁上并在悬臂梁的长度方向延伸的挠曲件与没有阻尼材料的挠曲件进行比较，由于有阻尼材料的挠曲件在俯仰(pitch)方向和翻滚(roll)方向的刚度增加。对万向部运动来说是不优选的。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种磁盘装置用悬架，其能够有效地抑制挠曲件的晃动并且还抑制挠曲件刚度的增加。
根据一实施例的磁盘装置用悬架，包括承载梁、挠曲件、第1阻尼材料和第2阻尼材料。所述承载梁具有第1表面、与第1表面相对的第2表面以及穿透第1表面至第2表面的第1开口和第2开口。所述挠曲件具有第1悬臂梁，第2悬臂梁和衔片，所述第1悬臂梁从所述承载梁的基端侧横穿所述第1开口向所述承载梁的前端侧延伸并且至少一部分与所述第1表面相对，所述第2悬臂梁从所述基端侧横穿所述第2开口向所述前端侧延伸的同时至少一部分与所述第1表面相对，所述衔片搭载于所述第1悬臂梁和所述第2悬臂梁之间。所述第1阻尼材料粘附于与所述第1开口重叠的所述第1悬臂梁的一部分上和所述第1表面上。所述第2阻尼材料粘附于与所述第2开口重叠的所述第2悬臂梁的一部分上和所述第1表面上。并且，所述承载梁的长度中，所述第1开口的所述前端侧的边缘部和所述第1阻尼材料，所述第2开口的所述前端侧的边缘部和所述第2阻尼材料均是彼此留有距离的。
所述承载梁的厚度方向中，所述第1开口的所述前端侧的边缘部和所述第1悬臂梁之间，以及所述第2开口的所述前端侧的边缘部和所述第2悬臂梁之间也可以是彼此留有距离的。
所述长度方向中，所述第1开口的所述基端侧的边缘部和所述第1阻尼材料，所述第2开口的所述基端侧的边缘部和所述第2阻尼材料也可以是彼此留有距离的。
所述第1阻尼材料和所述第1开口的所述基端侧的边缘部，所述第2阻尼材料和所述第2开口的所述基端侧边缘部也可以是彼此重叠的。
所述第1开口的所述基端侧的边缘部和所述第1悬臂梁接触，所述第2开口的所述基端侧的边缘部和所述第2悬臂梁也可以是彼此接触的。
所述第1阻尼材料和所述第2阻尼材料在所述承载梁的宽度方向中也可以是彼此留有距离的。在这种情况下，所述挠曲件也可以进一步具有在所述第1阻尼材料和所述第2阻尼材料中间穿过与所述滑块接触的配线。
所述第1悬臂梁可以具有与所述第1开口重叠的第1弯曲部，所述第2悬臂梁可以具有与所述第2开口重叠的第2弯曲部。在这种情况下，所述第1阻尼材料可以粘附于所述第1弯曲部上，所述第2阻尼材料可以粘附于所述第2弯曲部上。
所述承载梁还可以具有第1凸部和第2凸部，所述第1凸部在所述第1开口中向所述第1弯曲部突出，所述第2凸部在所述第2开口中向所述第2弯曲部突出。在这种情况下，所述第1阻尼材料可以粘附于所述第1凸部，所述第2阻尼材料可以粘附于所述第2凸部。
所述前端侧的从所述第1弯曲部的中心到所述第1阻尼材料和所述第1悬臂梁重叠的面积可以比所述基端侧的从所述第1弯曲部的中心到所述第1阻尼材料和所述第1悬臂梁重叠的面积小。并且，所述前端侧的从所述第2弯曲部的中心到所述第2阻尼材料和所述第2悬臂梁重叠的面积可以比所述基端侧的从所述第2弯曲部的中心到所述第2阻尼材料和所述第2悬臂梁重叠的面积小。
通过上述结构的磁盘装置用悬架，可以有效地抑制拥有衔片或一对悬臂梁的挠曲件的摇晃。而且，可以抑制挠曲件的刚度变大以及避免对万向部运动造成不良影响。
附图说明
作为本说明一部分的附图图示了本发明的当前优选实施例，辅助前述的发明概要以及以下优选实施例的详细说明，对本发明本质进行阐述。
图1为示出磁盘装置的一例简要立体图。
图2为图1所示磁盘装置的简要剖视图。
图3为第1实施例的磁盘装置用悬架的简要立体图。
图4为从滑块侧看图3所示的悬架的简要立体图。
图5为图4所示的悬架的简要平面图。
图6为沿图5中的f6-f6线的悬架的简要剖视图。
图7为示出第1实施例的悬架的第1减振部和第2减振部的结构的简要平面图。
图8为沿图7中的f8-f8线的第1减振部和第2减振部的简要剖视图。
图9为沿图7中的f9-f9线的第1减振部的简要剖视图。
图10为对照例的悬架的简要平面图。
图11为分别示出具有阻尼材料的悬架和不具有阻尼材料的悬架的挠曲件的刚度的示意图。
图12为用于说明第1实施例的一效果的剖视图。
图13为第2实施例的悬架的简要平面图。
具体实施方式
以下参照附图对几个实施例进行说明。
第1实施例
图1为示出磁盘装置(hdd)1的一例简要立体图。该磁盘装置1具有壳体2，绕主轴3旋转的多个磁盘4，绕枢轴5偏转的移动托架6，和驱动移动托架6的定位马达(音圈马达)7。壳体2由未图示的盖密封。
图2为示出磁盘装置1的一部分的简要剖视图。如图1和图2所示的，移动托架6上设置有多个臂(移动托架臂)8。各臂8的前端部安装有悬架10。各悬架10的前端部设置有构成磁头的滑块11。当磁盘4高速旋转时，磁盘4和滑块11之间空气流动，形成空气轴承。
当定位马达7驱动移动托架6旋转时，通过悬架10在磁盘4的径向上移动使滑块11移运到磁盘4所期望的轨道上。
图3为从滑块11的相对侧看本实施例的悬架10的简要立体图。图4为从滑块11侧看悬架10的前端侧的一部分的简要立体图。
悬架10具有固定于移动托架6的臂8(参考图1和图2)上的基底盘20、承载梁21和挠曲件22。基底盘20上形成有轴心20a，轴心20a插入臂8上的孔8a(参考图2)中。
如图3所示，承载梁21具有前端部21a、基端部21b。在图3所示的例中，承载梁21具有从基端部21b向前端部21a头越来越细的形状。挠曲件22沿承载梁21设置。
在本实施例中，将从基端部21b向前端部21a的方向(或其反方向)定义为悬架10、承载梁21和挠曲件22等的长度方向x。以及，将与长度方向x垂直的方向定义为悬架10、承载梁21和挠曲件22等的宽度方向y。并且，将图3中承载梁21的前端附近用圆弧状箭头示出的方向定义为摇摆方向s。
承载梁21具有如图4所示的第1表面sf1、与第1表面sf1相反的图3所示的第2表面sf2。第1表面sf1为设置有挠曲件22侧的面。如图3所示，第2表面sf2上也可以设置有阻尼材料25。
形成磁头的滑块11的前端部上设置有如mr元件的能够转换磁信号和电信号的多个元件28。滑块11通过这些元件28对磁盘4进行数据写入或数据读取。滑块11、承载梁21以及挠曲件22等构成磁头万向部组件(headgimbalassembly)。
如图3所示，挠曲件22具有由薄不锈钢板制成的金属基底40。并且如图4所示，挠曲件22在与承载梁重叠的区域还具有沿金属基底40布置的第1配线和第2配线。这些配线41、42的一部分经由滑块11的端子43与滑块11的元件28电连接。
金属基底40的厚度比承载梁21的厚度小。金属基底40的厚度优选为12～25μm，在一例中为20μm。承载梁21的厚度在一例中为30μm。
第1配线41和第2配线42包括形成于金属基底40上的绝缘层，形成于绝缘层上的导体层，和覆盖导体层的覆盖层。绝缘层和覆盖层例如由聚酰亚胺制成，导体层由铜制成。
图5为从滑块11侧看悬架10的前端部附近的简要平面图。挠曲件22具有衔片45、第1悬臂梁51、和第2悬臂梁52。衔片45上搭载有滑块11。第1悬臂梁51和第2悬臂梁52分别沿宽度方向y设置于衔片45的两外侧。
第1悬臂梁51和第3悬臂梁52的形状为在宽度方向y上向衔片45的两外侧突出。衔片45、第1悬臂梁51和第2悬臂梁52为金属基底40的一部分，各自的轮廓例如通过蚀刻形成。
图6为沿图5中的f6-f6线的悬架10的简要剖视图。承载梁21的前端部21a附近形成有向衔片45突出的凹坑55。凹坑55的前端55a与衔片45连接。衔片45可以以凹坑55的前端55a为中心进行摇动，并形成所期望的万向运动。衔片45、第1悬臂梁51、第2悬臂梁52以及凹坑55等构成万向部56。
如图4和图5所示，第1悬臂梁51在衔片45一侧的外侧延整个长度方向x延伸。第2悬臂梁52在衔片45的另一侧的外侧延整个长度方向x延伸。
第1悬臂梁51具有第1基端部51a、第1基商臂51b、第1前端臂51c、第1接续部51d。第1基端部51a通过固定部61固定于承载梁21上。
第1基端臂51b从第1基端部51a向挠曲件22的前端部22a延伸。第1前端臂51c的一端与第1基端臂51b相连，另一端与前端部22a相连。第1接续部51d与第1基端臂51b的一端和衔片45的一侧部相连。前端部22a通过固定部62固定于承载梁21的前端部21a附近。
第2悬臂梁52具有和第1悬臂梁51相同的形状。即第2悬臂梁52具有第2基端部52a、第2基端臂52b、第2前端臂52c和第2接续部52d。第2基端部52a例如通过激光点焊等方式形成的固定部63固定于承载梁21上。
如上所述，第1悬臂梁51的长度方向x上的两端部通过固定部61、62支撑。并且，第2悬臂梁52的长度方向x上的两端部通过固定部62、63支撑。由此，位于第1悬臂梁51的固定部61、62之间的部分，以及位于第2悬臂梁52的固定部62、63之间的部分可以在金属基底40的厚度方向上弯曲。由此，衔片45可以由第1悬臂梁51和第2悬臂梁52弹性支撑，以凹坑55为支点进行摇动。
万向部56上搭载有第1微驱动元件65和第2微驱动元件66。这些微驱动元件65、66分别由压电材料制成，设置于滑块11的两侧。第1微驱动元件65的两端部65a、65b分别固定于衔片45的驱动支撑部71、72上。第2微驱动元件66的两端部66a、66b分别固定于衔片45的驱动支撑部72、73上。
微驱动元件65、66具有使衔片沿摇摆方向s(参照图3)旋转的功能。在图4及图5的示例中，在衔片45的一侧和第1悬臂梁51之间设置有抑制衔片45过度摇晃的限制构件75。在衔片45的另一侧和第2悬臂梁52之间也设置有限制构件76。
如图5所示，本实施例的悬架10具有抑制挠曲件22振动的第1减振部80和第2减振部90。第1减振部80设置于第1悬臂梁51的第1基端部51a附近，第2减振部90设置于第2悬臂梁52的第2基端部52a附近。
图7为示出第1减振部80和第2减振部90附近的悬架10的结构的简要平面图。在以下说明中，将图3所示的承载梁21的基端部21b所在侧称为基端侧，将图3所示的承载梁21的前端部21a所在侧称为前端侧。
如图7所示，承载梁21在第1基端部51a附近具有第1开口81。第1开口81具有基端侧边缘部81a、前端侧边缘部81b。第1开口81的一部分被第1阻尼材料82填充。第1开口81和第1阻尼材料82构成第1减振部80。
第1基端臂51b从基端侧朝向前端侧横穿第1开口81。即第1基端臂51b与边缘部81a、81b重叠。并且，第1基端臂51b在与第1开口81重叠的位置具有第1弯曲部51e。第1基端臂51b在第1弯曲部51e到基端侧中，朝位于宽度方向y的中心c1的方向延伸，在第1弯曲部51e到前端侧中，朝远离中心c1的方向延伸。
第1配线41的一部分与第1开口81重叠。第1配线41在第1开口81和中心c1之间具有第1弯曲部41a。第1弯曲部41a与第1基端臂51b的第1弯曲部51e在宽度方向y上并列。
第1配线41从基端侧向第1弯曲部41a与中心c1之间的距离越来越小地延伸，从第1弯曲部41a向前端侧的另一弯曲部与中心c1之间的距离越来越大地延伸。通过设置第1弯曲部41a，在第1开口81和第1配线41之间形成第1表面sf1的空间83。
承载梁21在第1开口81中具有向第1弯曲部51e突出的第1凸部81c。第1凸部81c在宽度方向y中与第1基端臂51b之间留有距离。在图7的示例中，第1凸部81c的边缘部呈光滑的曲线状。但是，第1凸部81c的形状不限于此。
第1阻尼材料82粘附于与第1开口81重叠的第1基端臂51b的一部分以及第1表面sf1上。在图7的示例中，第1阻尼材料82在宽度方向y上横穿第1开口81。即长度方向x中，第1阻尼材料82和边缘部81a之间有间距的同时，第1阻尼材料82和边缘部81b之间也有间距。由此，第1阻尼材料82和边缘部81a之间，以及第1阻尼材料82和边缘部81b之间形成第1开口81的未被第1阻尼材料82填充的区域。
第1阻尼材料82粘附于含有第1弯曲部51e的第1基端臂51b上的区域。并且，第1阻尼材料82的一部分粘附于空间83中，第1阻尼材料82的另一部分粘附于含有第1凸部81c的第1表面sf1上的区域。通过以上这种使第1阻尼材料82和第1凸部81c重叠，增加第1阻尼材料82和第1表面sf1的接触面积，可以提高第1阻尼材料82的粘附强度。
在图7的示例中，第1阻尼材料82中的从第1基端臂51b到中心c1侧的宽度在长度方向x上逐渐减小。由此，可以防止第1阻尼材料82和第1配线41的接触。
并且，在图7的示例中，第1阻尼材料82粘附于第1基端臂51b中的主要是第1弯曲部51e到基端侧部分。即从第1弯曲部51e的中心c2到前端侧的第1阻尼材料82和第1基端臂51b重叠的面积比从中心c2到基端侧的第1阻尼材料82和第1基端臂51b的重叠面积小。
第2减振部90具有和第1减振部80相同的结构。即第2减振部90具有形成于承载梁21的第2开口91和填充第2开口91的一部分的第2阻尼材料92。
第2基端臂52b从基端侧向前端侧横穿第2开口91，第2开口91的基端侧的边缘部91a和前端侧的边缘部91b重叠。并且，第2基端臂52b在与第2开口91重叠处具有第2弯曲部52e。第2配线42在第2开口91和中心c1之间具有第2弯曲部42a，该第2弯曲部42a到第2开口91和第2配线42之间形成第1表面sf1上的空间93。承载梁21在第2开口91中具有向第2基端臂52b的第2弯曲部52e突出的第2凸部91c。第2阻尼材料92与空间93和第2凸部91c重叠。
在图7的示例中，第2配线42、第2基端臂52b、第2开口91和第2阻尼材料92和第1配线41、第1基端臂51b、第1开口81和第1阻尼材料82具有以中心c1为中心的线对称形状。
如图7所示，还可以在第1基端部51a附近的第1基端臂51b上设置第1补强部84。同样地，也可以在第2基端部52a附近的第2基端臂52b上设置第2补强部94。这些补强部84、94例如是与在将悬架10组装到磁盘装置时使用的运载梳形件(shippingcomb)等工具相接触的部分，起到抑制运载梳形件对各个构件造成损坏的作用。
补强部84、94例如和配线41、42一样具有绝缘层、导体层和覆盖层构成的层积结构。在图7的示例中，第1补强部84和第1开口81的边缘部81a重叠，但是不与第1阻尼材料82重叠。同样地，第2补强部94与第2开口91的边缘部91a重叠，但不与第2阻尼材料92重叠。
图8为沿图7中的f8-f8线的第1减振部80和第2减振部90的简要剖视图。图9为沿图7中的f9-f9线的第1减振部80的简要剖视图。如图8所示，第1阻尼材料82具有粘附于第1表面sf1和第1基端臂51b的粘弹性层(viscoselasticmateriallayer)82a和约束板(constrainedplate)82b。同样地，第2阻尼材料92也具有粘附于第1表面sf1和第2基端臂52b的粘弹性层92a和约束板92b。
粘弹性层82a、92a例如由弯形时可以发挥粘性抵抗的高分子材料(例如丙烯酸树脂)制成，具有粘性。粘弹性层82a、92a的厚度例如为51μm。约束板82b、92b例如由聚酯等合成树脂制成，分别沿承载梁21的厚度方向z层积于粘弹性层82a、92a上。约束板82b、92b的厚度例如和粘弹性层82a、92a相同为51μm。
如图7和图8所示，第1阻尼材料82和第2阻尼材料92在宽度方向y上分开。并且，上述配线41、42穿过这些阻尼材料82、92之间。通过这样的结构，由于配线41、42不受阻尼材料82、92的约束，因此可以抑制挠曲件22的刚度的提高。
如图9所示，第1基端臂51b被第1阻尼材料82押入第1开口81内。第1基端臂51b从第1阻尼材料82到前端侧(图中右方)朝离开承载梁21的方向逐渐离开地倾斜。
如上所述，第1阻尼材料82不与第1开口81的边缘部81b重叠。因此，在边缘部81b附近，第1基端臂51b没有强烈押入承载梁21中。特别地在本实施例中，在边缘部81b附近第1基端臂51b不与承载梁21接触。即边缘部81b和第1基端臂51b之间形成有厚度方向z上的间隙g。
另一方面，第1阻尼材料82到基端侧(图中左方)中，在第1开口81附近，第1悬臂梁51通过上述固定部61固定于承载梁21上。并且，在第1开口81中，第1基端臂51b被第1阻尼材料82压入图中下方。因此，边缘部81a的附近第1基端臂51b被压靠在承载梁21上。
第2减振部90的剖面结构和图9所示的第1减振部80的剖面结构相同。即第2开口91的边缘部91b和第2基端臂52b之间形成有间隙g。另一方面，在第2开口91的边缘部91a附近第2基端臂52b被压靠在承载梁21上。
接下来继续对本实施例的悬架10的作用进行说明。
当通过定位马达7偏转移动托架6时，通过悬架10在磁盘4的径向上的移动，可以使磁头滑块11可以移动到磁盘4的记录面上的期望轨道上。当将电压施加到微驱动元件65、66上时，通过微驱动元件65、66根据电压的变形，可以使承载梁21在图3所示的摇摆方向s上微小移动。
本实施例的悬架10在一对悬臂梁51、52的基端部51a、52a附近(根部)分别具有减振部80、90。当从外部输入使挠曲件22振动的能时，减振部80、90的阻尼材料82、92的各自的粘弹性层82a、92a变形，由于构成粘弹性层82a、92a的分子的摩擦而生成内部阻力。由此振动能转换成热能，因此可以抑制挠曲件22的摇晃。
下面参照对照例对本实施例的悬架10的效果进行进一步的说明。图10为对照例的悬架200的简要平面图。该悬架200与本实施例同样具有承载梁201、包含第1悬臂梁211和第2悬臂梁212的挠曲件210，和万向部220。第1悬臂梁211具有第1基端臂211a，第2悬臂梁212具有第2基端臂212a。
进一步地，第1悬臂梁211上设置第1阻尼材料213，第2悬臂梁212上设置第2阻尼材料214。第1阻尼材料213粘附于第1基端臂211a的大部分区域。第2阻尼材料214粘附于第2基端臂212a的大部分区域。阻尼材料213、214未粘附于承戴梁201上。
即使是像这种结构的悬架200，也可以抑制万向部220的摇晃。但是，和以下将要说明的不具有阻尼材料213、214的悬架相比，挠曲件的刚度升高。
图11为分别示出具有如图10所示的阻尼材料213、214的悬架200和不具有阻尼材料的悬架的挠曲件的刚度的示意图。图11中的e、f分别为图10中所示的对照例的悬架200的俯仰方向的刚度和翻滚方向的刚度。图11中的g、h分别为不具有阻尼材料213、214的悬架的俯仰方向的刚度和翻滚方向的刚度。
从该图中可知，具有阻尼材料213、214的悬架200中的挠曲件和不具有阻尼材料213、214的相比刚度e、f均增加了13％。像这样的刚度的增加会对悬架200的万向运动造成不良影响。
与此相反，在本实施例的悬架10中，在悬臂梁51、52的根部附近的承载梁21上设置开口81、91，将阻尼材料82、92粘附于和这些开口81、91重叠的悬臂梁51、52的一部分和承载梁21上。如果设置有像这样的阻尼材料82、92的悬臂梁51、52区域是有限的，则与对照例的结构相比可以缓解对挠曲件22的刚度的影响。
而且在本实施例中，如图7所示的第1阻尼材料82和边缘部81b、以及第2阻尼材料92和边缘部91b是彼此分开的。如果是像这样的结构，如以下将要说明的，可以抑制阻尼材料81、92的粘附位置的不均匀导致的挠曲件22的振动模式频率的不均匀。
图12为用于说明上述效果的图，示出了第1阻尼材料82与第1开口81的边缘部81b在厚度方向z上重叠状态下的剖面。在边缘部81b附近，第1基端臂51b通过第1阻尼材料82抵接在承载梁21的第1表面sf1上。图中的p表示被第1阻尼材料82和承载梁21夹住的第1基端臂51b的部分中位于最前端侧(图中右方)的点(以下称为约束点)。
当制造悬架1时第1阻尼材料82的前端侧的端部82c的位置如果如虚线所示变化的话，约束点p的位置也会发生变化。并且挠曲件22的振动模式频率也会根据约束点p的位置产生变化。因此，第1阻尼材料82的粘附位置的错位会导致制造的悬架10的性能的不稳定。第2阻尼材料92也会产生相同的问题。
另一方面，如果如本实施例的，第1阻尼材料82和边缘部81b，以及第2阻尼材料92和边缘部91b分别在长度方向x上分开的话，边缘部81b、91b附近不会产生约束点。因此，可以避免因阻尼材料82、92的粘附位置的错位导致的振动模式频率的变动。
并且，如用图9说明的，如果边缘部81b和第1基端臂51b之间形成有间隙g，边缘部91b和第2基端臂52b之间形成有间隙g，则可以使挠曲件22的振动模式频率更加稳定。
并且，从挠曲件22的振动模式频率或刚度的观点出发，如图7所示的，优选阻尼材料82、92粘附于臂51b、52b主要是弯曲部51e、52e到基端侧的部分上。
即，当第1阻尼材料82粘附于第1基端臂51b中的面积为第1弯曲部51e到前端侧部分较大时，可能会使挠曲件22的振动模式频率波动，或使挠曲件22的刚度不按所希望的上升。与此相反，由于第1基端臂51b中的第1弯曲部51e到基端侧的部分靠近是原先的约束点的固定部61，因此即使粘附第1阻尼材料82所述振动模式频率的波动或刚度的上升也较难以产生。第2基端臂52b和第2阻尼材料92之间也是同样的。
除了上述之外，本实施例还可以获得各种良好的效果。
第2实施例
对第2实施例进行说明。未特别言及的结构和效果与第1实施例相同。
图13为第2实施例的悬架10的一部分的简要平面图。该悬架10的第1开口81和第2开口92的形状和图7的示例不同。
即，在图13所示的悬架10中，第1开口81的基端侧的边缘部81a与第1阻尼材料82重叠。并且，第2开口91的基端侧的边缘部91a与第2阻尼材料92重叠。但是，第1开口81的前端侧的边缘部81b和第1阻尼材料82，以及第2开口91的前端侧的边缘部91b和第2阻尼材料92和图7所示的示例相同在长度方向x上分开。
在图13的示例中，在边缘部81a附近第1基端臂51b夹在承载梁21和第1阻尼材料82之间。同样地，在边缘部91a附近第2基端臂52b夹在承载梁21和第2阻尼材料92之间。由此，在边缘部81a、91a附近臂51b、52b被稳定地限制住，从而抑制挠曲件22的振动模式频率的波动。
另外，边缘部81a、91a位于靠近没有阻尼材料82、92时是原先约束点的固定部61、62的位置。因此，如图13示例所示臂51b、52b即使分别被约束于边缘部81a、91a附近，对挠曲件22的振动模式频率的波动造成的影响也是小的。
在实施以上各实施例公开的发明时，从承载梁或挠曲件的形状、第1减振部和第2减振部的设置等具体方式到构成磁盘装置用的悬架的各元件的具体方式都是可以变更的。例如，可以使用第1阻尼材料82和第2阻尼材料92彼此一体连接成一个的阻尼材料。另外，也可以在不具有微驱动元件65、66的悬架中设置和各实施例相同的第1减振部和第2减振部。
1.一种磁盘装置用悬架，包括：
承载梁，所述承载梁具有第1表面、和第1表面相对的第2表面，穿过所述第1表面和第2表面的第1开口和第2开口，
挠曲件，所述挠曲件具有第1悬臂梁，第2悬臂梁和衔片，所述第1悬臂梁的至少一部分与所述第1表面相对的同时在从所述承载梁的基端侧向前端侧的方向上横穿所述第1开口，所述第2悬臂梁的至少一部分与所述第1表面相对的同时在从所述基端侧向所述前端侧的方向上横穿所述第2开口，所述衔片搭载于设置于所述第1悬臂梁和所述第2悬臂梁之间的滑块上，
第1阻尼材料，所述第1阻尼材料粘附于与所述第1开口重叠的，所述第1悬臂梁的一部分和所述第1表面上，
第2阻尼材料，所述第2阻尼材料粘附于与所述第2开口重叠的，所述第2悬臂梁的一部分和所述第1表面上，
在所述承载梁的长度方向中，所述第1开口的所述前端侧的边缘部和所述第1阻尼材料间隔一段距离，
在所述长度方向中，所述第2开口的所述前端侧的边缘部和所述第2阻尼材料间隔一段距离。
2.根据权利要求1所述的磁盘装置用悬架，在所述承载梁的厚度方向中，在所述第1开口的所述前端侧的边缘部和所述第1悬臂梁之间，以及所述第2开口的所述前端侧的边缘部和所述第2悬臂梁之间分别形成有间隙。
3.根据权利要求1或2所述的磁盘装置用悬架，
在所述长度方向中，所述第1开口的所述基端侧的边缘部和所述第1阻尼材料间隔一段距离，
在所述长度方向中，所述第2开口的所述基端侧的边缘部和所述第2阻尼材料间隔一段距离。
4.根据权利要求1或2所述的磁盘装置用悬架，
所述第1阻尼材料与所述第1开口的所述基端侧的边缘部重叠，
所述第2阻尼材料与所述第2开口的所述基端侧的边缘部重叠。
5.根据权利要求3所述的磁盘装置用悬架，
所述第1开口的所述基端侧的边缘部和所述第1悬臂梁接触，
所述第2开口的所述基端侧的边缘部和所述第2悬臂梁接触。
6.根据权利要求1所述磁盘装置用悬架，
所述第1阻尼材料和所述第2阻尼材料在所述承载梁的宽度方向中间隔一段距离，
所述挠曲件还包括从所述第1阻尼材料和所述第2阻尼材料之间穿过的与所述滑块相连接的配线。
7.根据权利要求1所述的磁盘装置用悬架，
所述第1悬臂梁具有与所述第1开口重叠的第1弯曲部，
所述第2悬臂梁具有与所述第2开口重叠的第2弯曲部，
所述第1阻尼材料粘附于所述第1弯曲部上，
所述第2阻尼材料粘附于所述第2弯曲部上。
8.根据权利要求7所述的磁盘装置用悬架，
所述承载梁具有在所述第1开口中向所述第1弯曲部突出的第1凸部，和在所述第2开口中向所述第2弯曲部突出的第2凸部，
所述第1阻尼材料粘附于所述第1凸部，
所述第2阻尼材料粘附于所述第2凸部。
9.根据权利要求7或8所述的磁盘装置用悬架，
从所述第1弯曲部的中心到所述前端侧所述第1阻尼材料和所述第1悬臂梁重叠的面积比从所述中心到所述基端侧所述第1阻尼材料和所述第1悬臂梁重叠的面积小，
从所述第2弯曲部的中心到所述前端侧所述第2阻尼材料和所述第2悬臂梁重叠的面积比从所述中心到所述基端侧所述第2阻尼材料和所述第2悬臂梁重叠的面积小。
技术总结