一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置的制作方法

专利2022-05-09  5


1.本发明涉及一种单晶硅领域,尤其涉及一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置。


背景技术:

2.单晶硅是硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。硅单晶广泛应用于光伏太阳能电池、液晶显示等领域。目前类硅单晶的常用制造方法为定向凝固法,该方法在平底坩埚底部铺设长方体籽晶,籽晶规则排列形成籽晶层,然后通过对籽晶表面以及底部进行融化硅粉然后再定向生长类单晶硅。
3.在现有技术对该类单晶硅生产的过程中,往往由于生产过程中籽晶自身不能固定,即两块组合起来的籽晶在使用硅棒和硅粉进行融合定型的过程中,籽晶容易产生错位和缝隙填充不够完全的问题,从而影响后期类单晶硅的铸锭,使得使用该类单晶硅生产出来的产品品质大大降低。
4.因此,急需要一种能够在籽晶生产的过程中,可以使得两块籽晶在被硅棒和硅粉固定在一起同时,能够保证籽晶不会产生错位和缝隙未填充完全的装置来解决上述问题。


技术实现要素:

5.为了克服两块组合起来的籽晶在使用硅棒和硅粉进行融合定型的过程中,籽晶容易产生错位和缝隙填充不够完全的问题,从而影响后期类单晶硅的铸锭,使得使用该类单晶硅生产出来的产品品质大大降低的缺点,本发明要解决的技术问题是:提供一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置。
6.本发明的技术方案为:一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,包括有固定架、控制器、固定机构、倾斜和模拟融化结构、风力渗透和打磨机构、转向机构和封口机构;固定架与控制器相连接;固定架与倾斜和模拟融化结构相连接;倾斜和模拟融化结构与固定机构相连接;倾斜和模拟融化结构与风力渗透和打磨机构相连接;倾斜和模拟融化结构与转向机构相连接;倾斜和模拟融化结构与封口机构相连接;风力渗透和打磨机构与转向机构相连接;转向机构与封口机构相连接。
7.作为本发明的一种优选技术方案,固定机构包括有第一电动滑块、第一传动轴、第一锥齿轮、方形固定框、模拟籽晶、固定板、阻挡块和弹簧器;第一电动滑块与倾斜和模拟融化结构进行滑动连接;第一电动滑块与第一传动轴进行转动连接;第一传动轴与第一锥齿轮进行固接;第一传动轴与方形固定框进行固接;方形固定框与模拟籽晶相互接触;方形固定框与阻挡块进行固接;方形固定框与弹簧器进行固接;模拟籽晶与固定板相互接触;固定板与弹簧器进行固接;固定板与阻挡块相互接触;弹簧器在固定板的四个角均设置有一组;阻挡块在固定板的左右两侧均设置有一组;第一电动滑块、第一传动轴、第一锥齿轮、方形固定框、固定板、阻挡块和弹簧器在模拟籽晶的左右两端均设置有一组。
8.作为本发明的一种优选技术方案,倾斜和模拟融化结构包括有液压推杆、联动器、连接架、第一电动推杆和模拟融化器;液压推杆与固定架相连接;液压推杆与连接架相连接;联动器与固定架相连接;联动器与连接架相连接;液压推杆和联动器在连接架左右两侧均设置有一组;连接架与固定机构相连接;连接架与倾斜和模拟融化结构相连接;连接架与风力渗透和打磨机构相连接;连接架与转向机构相连接;连接架与封口机构相连接;连接架的上方设置有第一电动推杆;第一电动推杆通过l形连接块与固定架进行固接;第一电动推杆与模拟融化器进行固接;第一电动推杆在模拟融化器左右两侧均设置有一组。
9.作为本发明的一种优选技术方案,风力渗透和打磨机构包括有第二电动推杆、支撑板、硅棒废液收集框、定形板、风机、第一保护块、第二保护块、输风管、第一出风管、第二出风管、电机、第二传动轴、第二锥齿轮、第三锥齿轮、第一滑套、第三传动轴、第三电动推杆、第一传动轮、第二传动轮、第四传动轴、第二滑套、第四锥齿轮、第五锥齿轮、第五传动轴、第六锥齿轮、第七锥齿轮、第六传动轴、柱形打磨器、f形连接板、硅粉桶、第一硅粉补料管、第二硅粉补料管、第二电动滑块、第三传动轮和第四传动轮;第二电动推杆与连接架进行固接;第二电动推杆与支撑板进行固接;第二电动推杆在支撑板左右两侧均设置有一组;支撑板与硅棒废液收集框进行固接;支撑板与定形板进行固接;支撑板与风机进行固接;支撑板同时与第一保护块和第二保护块进行固接;支撑板与通过连接块输风管进行固接;第一保护块与第一出风管进行固接;第二保护块与第二出风管进行固接;输风管同时与第一出风管和第二出风管进行固接;第一出风管通过连接块与支撑板进行固接;第一出风管在第一保护块上一共设置有七组;第二出风管通过连接块与支撑板进行固接;第二出风管在第二保护块上一共设置有七组;支撑板的侧面设置有电机;电机与连接架相连接;电机与转向机构相连接;电机通过输出轴与第二传动轴进行固接;第二传动轴与第二锥齿轮进行固接;第二锥齿轮侧面设置有第三锥齿轮;第三锥齿轮与第一滑套进行固接;第一滑套与第三传动轴相连接;第一滑套通过连接块与第三电动推杆相连接;第三传动轴与连接架进行转动连接;第三传动轴与第一传动轮进行固接;第三电动推杆与连接架进行固接;第一传动轮外环面通过皮带与第二传动轮进行传动连接;第二传动轮与第四传动轴进行固接;第四传动轴与连接架进行转动连接;第四传动轴与第二滑套相连接;第四传动轴与第三传动轮进行固接;第二滑套与第四锥齿轮进行固接;第二滑套与f形连接板进行转动连接;第四锥齿轮与第五锥齿轮进行啮合;第五锥齿轮与第五传动轴进行固接;第五传动轴与第六锥齿轮进行固接;第五传动轴与f形连接板进行转动连接;第五传动轴通过连接块与第二电动滑块相连接;第六锥齿轮与第七锥齿轮进行啮合;第七锥齿轮与第六传动轴进行固接;第六传动轴与柱形打磨器进行固接;第六传动轴通过连接块与第二电动滑块相连接;f形连接板通过连接块与硅粉桶进行固接;硅粉桶同时与第一硅粉补料管和第二硅粉补料管进行固接;第二电动滑块与连接架进行滑动连接;第三传动轮外环面通过皮带与第四传动轮进行传动连接;第四传动轴至第二电动滑块在硅粉桶左右两侧均设置有一组,只是另一组第二电动滑块到第四传动轴的距离更近;另一组第四传动轴与第四传动轮进行固接。
10.作为本发明的一种优选技术方案,转向机构包括有第五传动轮、第六传动轮、第七传动轴、第八锥齿轮、第七传动轮、第八传动轮、第八传动轴、第一平齿轮、第二平齿轮、第三滑套、第九传动轴、第四电动推杆、第九传动轮、第十传动轮、第十传动轴和第九锥齿轮;第五传动轮与电机输出轴进行固接;第五传动轮外环面通过皮带与第六传动轮进行传动连
接;第六传动轮与第七传动轴进行固接;第七传动轴与连接架进行转动连接;第七传动轴与第八锥齿轮进行固接;第七传动轴与第七传动轮进行固接;第八锥齿轮与封口机构相连接;第七传动轮外环面通过皮带与第八传动轮进行传动连接;第八传动轮与第八传动轴进行固接;第八传动轴与连接架进行转动连接;第八传动轴与第一平齿轮进行固接;第一平齿轮的侧面设置有第二平齿轮;第二平齿轮与第三滑套进行固接;第三滑套与第九传动轴相连接;第三滑套通过连接块与第四电动推杆相连接;第四电动推杆与连接架进行固接;第九传动轴与连接架进行转动连接;第九传动轴与第九传动轮进行固接;第九传动轮外环面通过皮带与第十传动轮进行传动连接;第十传动轮与第十传动轴进行固接;第十传动轴与连接架进行转动连接;第十传动轴与第九锥齿轮进行固接;第九传动轮至第九锥齿轮在第九传动轴左右两侧均设置有一组。
11.作为本发明的一种优选技术方案,封口机构包括有第十锥齿轮、第十一传动轴、第十一传动轮、第十二传动轮、第十二传动轴、第四滑套、第三平齿轮、第五电动推杆、第四平齿轮、第十三传动轴、u形封口器、第五滑套、第五平齿轮、第六电动推杆和齿盘;第十锥齿轮与第八锥齿轮进行啮合;第十锥齿轮与第十一传动轴进行固接;第十一传动轴与连接架进行转动连接;第十一传动轴与第十一传动轮进行固接;第十一传动轴与第五滑套相连接;第十一传动轮外环面通过皮带与第十二传动轮进行传动连接;第十二传动轮与第十二传动轴进行固接;第十二传动轴与连接架进行转动连接;第十二传动轴与第四滑套相连接;第四滑套与第三平齿轮进行固接;第四滑套通过连接块与第五电动推杆相连接;第三平齿轮的侧面设置有第四平齿轮;第四平齿轮与第十三传动轴进行固接;第十三传动轴通过l形连接块与u形封口器进行固接;第十三传动轴通过连接块与齿盘相连接;第五滑套与第五平齿轮进行固接;第五滑套通过连接块与第六电动推杆相连接;第六电动推杆与连接架进行固接;第五平齿轮侧面设置有齿盘;齿盘通过连接柱与连接架进行转动连接。
12.作为本发明的一种优选技术方案,七组第一出风管和第二出风管的长度刚好等于模拟籽晶的侧面缝隙长度的一半。
13.作为本发明的一种优选技术方案,当模拟籽晶上升至两组柱形打磨器之间时,模拟籽晶侧面刚好与柱形打磨器的外表面接触。
14.作为本发明的一种优选技术方案,u形封口器转动一百八十度之后,u形封口器上的两块圆柱体刚好能将模拟籽晶的两个打孔处封闭,且u形封口器两侧的块状物刚好能够将模拟籽晶的侧面缝隙盖住。
15.与现有技术相比,本发明的有益效果为:(一)、为了克服两块组合起来的籽晶在使用硅棒和硅粉进行融合定型的过程中,籽晶容易产生错位和缝隙填充不够完全的问题,从而影响后期类单晶硅的铸锭,使得使用该类单晶硅生产出来的产品品质大大降低的缺点。
16.(二)、本发明由于设计了,固定机构、倾斜和模拟融化结构、风力渗透和打磨机构、转向机构和封口机构:开始工作前,通过人工将两块用硅棒组合起来的籽晶固定在固定机构,然后外接电源,通过控制器启动装置,然后通过固定机构与倾斜和模拟融化结构共同工作将硅棒进行融化,当硅棒基本融化后,通过倾斜和模拟融化结构和风力渗透和打磨机构共同工作,使得已经融化的硅液在两块籽晶结合部位的缝隙流动,并且流动的同时,使得整个硅棒倾斜一定的江都,此时融化的硅液在风力渗透和打磨机构的风力和自身重力的作用下,不断地向夏流动,最终使得硅液充满两块籽晶结合处中间缝隙的部分位置和下方缝隙
的全部位置,然后倾斜和模拟融化结构使得籽晶恢复水平状态,然后通过风力渗透和打磨机构对籽晶的两个侧面进行打磨,即将少量溢出的硅液进行清理,防止其影响后期的类单晶硅的铸锭,并且在打磨的同时,对两块籽晶的结合处部位进行硅粉的补充,当打磨完成后,风力渗透和打磨机构恢复到原位,然后再次通过倾斜和模拟融化结构将硅粉进行融化,当硅粉基本被融化之后,通过固定机构、转向机构和封口机构共同工作,使得籽晶反转一百八十度,即使得打孔处孔洞朝下,然后再次通过倾斜和模拟融化结构使得籽晶再次倾斜一定的角度,此时硅液再次向下流动,即流动至两块籽晶结合处还未被硅液充满的另一处缝隙,当两块籽晶的结合处均充满硅液,且硅液基本固化之后,此时通过转向机构使得籽晶的打孔处空洞位置与初始位置成直角,即使得籽晶转动九十度,让上下的两个面转动至侧面,然通过固定机构和风力渗透和打磨机构共同工作,对其进行打磨,将溢出的少量硅液清除干净,当两块籽晶被彻底固定形状之后,再通过人工将其取走。
17.(三)、本发明实现了能够在两块籽晶融合定型的过程中,确保了两块籽晶不会产生错位和缝隙被硅液完全从满,并且还能够将溢出的多余硅液进行清理,确保生产出来的籽晶不会影响后期类单晶硅的生产。
附图说明
18.图1为本发明的第一种立体结构示意图;图2为本发明的第二种立体结构示意图;图3为本发明的固定机构立体结构示意图;图4为本发明的固定机构第一种部分立体结构示意图;图5为本发明的固定机构第二种部分立体结构示意图;图6为本发明的倾斜和模拟融化结构立体结构示意图;图7为本发明的风力渗透和打磨机构第一种部分立体结构示意图;图8为本发明的风力渗透和打磨机构第二种部分立体结构示意图;图9为本发明的风力渗透和打磨机构第三种部分立体结构示意图;图10为本发明的风力渗透和打磨机构第四种部分立体结构示意图;图11为本发明的风力渗透和打磨机构第五种部分立体结构示意图;图12为本发明的转向机构立体结构示意图;图13为本发明的封口机构第一种立体结构示意图;图14为本发明的封口机构第二种立体结构示意图。
19.其中:1、固定架,2、控制器,3、固定机构,4、倾斜和模拟融化结构,5、风力渗透和打磨机构,6、转向机构,7、封口机构,301、第一电动滑块,302、第一传动轴,303、第一锥齿轮,304、方形固定框,305、模拟籽晶,306、固定板,307、阻挡块,308、弹簧器,401、液压推杆,402、联动器,403、连接架,404、第一电动推杆,405、模拟融化器,501、第二电动推杆,502、支撑板,503、硅棒废液收集框,504、定形板,505、风机,506、第一保护块,507、第二保护块,508、输风管,509、第一出风管,5010、第二出风管,5011、电机,5012、第二传动轴,5013、第二锥齿轮,5014、第三锥齿轮,5015、第一滑套,5016、第三传动轴,5017、第三电动推杆,5018、第一传动轮,5019、第二传动轮,5020、第四传动轴,5021、第二滑套,5022、第四锥齿轮,5023、第五锥齿轮,5024、第五传动轴,5025、第六锥齿轮,5026、第七锥齿轮,5027、第六传动
轴,5028、柱形打磨器,5029、f形连接板,5030、硅粉桶,5031、第一硅粉补料管,5032、第二硅粉补料管,5033、第二电动滑块,5034、第三传动轮,5035、第四传动轮,601、第五传动轮,602、第六传动轮,603、第七传动轴,604、第八锥齿轮,605、第七传动轮,606、第八传动轮,607、第八传动轴,608、第一平齿轮,609、第二平齿轮,6010、第三滑套,6011、第九传动轴,6012、第四电动推杆,6013、第九传动轮,6014、第十传动轮,6015、第十传动轴,6016、第九锥齿轮,701、第十锥齿轮,702、第十一传动轴,703、第十一传动轮,704、第十二传动轮,705、第十二传动轴,706、第四滑套,707、第三平齿轮,708、第五电动推杆,709、第四平齿轮,7010、第十三传动轴,7011、u形封口器,7012、第五滑套,7013、第五平齿轮,7014、第六电动推杆,7015、齿盘。
具体实施方式
20.首先要指出,在不同描述的实施方式中,相同部件设有相同的附图标记或者说相同的构件名称,其中,在整个说明书中包含的公开内容能够按意义转用到具有相同的附图标记或者说相同的构件名称的相同部件上。在说明书中所选择的位置说明、例如上、下、侧向等等也参考直接描述的以及示出的附图并且在位置改变时按意义转用到新的位置上。
21.实施例1一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,如图1

14所示,包括有固定架、控制器、固定机构、倾斜和模拟融化结构、风力渗透和打磨机构、转向机构和封口机构;固定架与控制器相连接;固定架与倾斜和模拟融化结构相连接;倾斜和模拟融化结构与固定机构相连接;倾斜和模拟融化结构与风力渗透和打磨机构相连接;倾斜和模拟融化结构与转向机构相连接;倾斜和模拟融化结构与封口机构相连接;风力渗透和打磨机构与转向机构相连接;转向机构与封口机构相连接。
22.工作过程:开始工作前,通过人工将两块用硅棒组合起来的籽晶固定在固定机构,然后外接电源,通过控制器启动装置,然后通过固定机构与倾斜和模拟融化结构共同工作将硅棒进行融化,当硅棒基本融化后,通过倾斜和模拟融化结构和风力渗透和打磨机构共同工作,使得已经融化的硅液在两块籽晶结合部位的缝隙流动,并且流动的同时,使得整个硅棒倾斜一定的江都,此时融化的硅液在风力渗透和打磨机构的风力和自身重力的作用下,不断地向夏流动,最终使得硅液充满两块籽晶结合处中间缝隙的部分位置和下方缝隙的全部位置,然后倾斜和模拟融化结构使得籽晶恢复水平状态,然后通过风力渗透和打磨机构对籽晶的两个侧面进行打磨,即将少量溢出的硅液进行清理,防止其影响后期的类单晶硅的铸锭,并且在打磨的同时,对两块籽晶的结合处部位进行硅粉的补充,当打磨完成后,风力渗透和打磨机构恢复到原位,然后再次通过倾斜和模拟融化结构将硅粉进行融化,当硅粉基本被融化之后,通过固定机构、转向机构和封口机构共同工作,使得籽晶反转一百八十度,即使得打孔处孔洞朝下,然后再次通过倾斜和模拟融化结构使得籽晶再次倾斜一定的角度,此时硅液再次向下流动,即流动至两块籽晶结合处还未被硅液充满的另一处缝隙,当两块籽晶的结合处均充满硅液,且硅液基本固化之后,此时通过转向机构使得籽晶的打孔处空洞位置与初始位置成直角,即使得籽晶转动九十度,让上下的两个面转动至侧面,然通过固定机构和风力渗透和打磨机构共同工作,对其进行打磨,将溢出的少量硅液清除干净,当两块籽晶被彻底固定形状之后,再通过人工将其取走;本发明实现了能够在两块籽
晶融合定型的过程中,确保了两块籽晶不会产生错位和缝隙被硅液完全从满,并且还能够将溢出的多余硅液进行清理,确保生产出来的籽晶不会影响后期类单晶硅的生产。
23.其中,固定机构包括有第一电动滑块、第一传动轴、第一锥齿轮、方形固定框、模拟籽晶、固定板、阻挡块和弹簧器;第一电动滑块与倾斜和模拟融化结构进行滑动连接;第一电动滑块与第一传动轴进行转动连接;第一传动轴与第一锥齿轮进行固接;第一传动轴与方形固定框进行固接;方形固定框与模拟籽晶相互接触;方形固定框与阻挡块进行固接;方形固定框与弹簧器进行固接;模拟籽晶与固定板相互接触;固定板与弹簧器进行固接;固定板与阻挡块相互接触;弹簧器在固定板的四个角均设置有一组;阻挡块在固定板的左右两侧均设置有一组;第一电动滑块、第一传动轴、第一锥齿轮、方形固定框、固定板、阻挡块和弹簧器在模拟籽晶的左右两端均设置有一组。
24.开始工作前,通过人工将模拟籽晶放置在两组方形固定框之间,放置时,可以先将模拟籽晶的一侧方入方形固定框中,且通过一定力度的挤压,使得模拟籽晶对固定板进行挤压,即对四组弹簧器进行一定的挤压,使得模拟籽晶的另一侧能够轻易的就放置到另一组方形固定框种,然后放置完成后,通过八组弹簧器的回弹力,同时对两组固定板进行挤压,即通过两组固定板同时对模拟籽晶两端施加相同的压力,并且为了确保模拟籽晶上的两个硅棒处于两组方形固定框的中间位置,在两组固定板挤压模拟籽晶时,通过四组阻挡块将两组固定板阻挡在指定位置处,最终使得模拟籽晶两个硅棒处于两组方形固定框的中间位置,然后通过两组第一电动滑块、第一锥齿轮和第一传动轴共同工作,完成后期模拟籽晶的转向工作;该机构完成了对模拟籽晶的固定工作,以及后期对模拟籽晶的输送和转向工作。
25.其中,倾斜和模拟融化结构包括有液压推杆、联动器、连接架、第一电动推杆和模拟融化器;液压推杆与固定架相连接;液压推杆与连接架相连接;联动器与固定架相连接;联动器与连接架相连接;液压推杆和联动器在连接架左右两侧均设置有一组;连接架与固定机构相连接;连接架与倾斜和模拟融化结构相连接;连接架与风力渗透和打磨机构相连接;连接架与转向机构相连接;连接架与封口机构相连接;连接架的上方设置有第一电动推杆;第一电动推杆通过l形连接块与固定架进行固接;第一电动推杆与模拟融化器进行固接;第一电动推杆在模拟融化器左右两侧均设置有一组。
26.当模拟籽晶被固定好之后,通过两组第一电动滑块同时工作,第一传动轴至弹簧器向上运动,直至模拟籽晶运动至风力渗透和打磨机构的指定位置处,然后两组第一电动推杆同时工作,带动模拟融化器向下运动,直至运动至模拟籽晶两块硅棒的正上方,然后通过模拟融化器将模拟籽晶中的两块硅棒进行融化,当硅棒基本融化时,模拟融化器停止工作,两组第一电动推杆将模拟融化器带回原位,然后通过风力渗透和打磨机构对其进行处理,处理时两组液压推杆同时工作,使得模拟籽晶倾斜一定的角度,使得硅液更好的流动到模拟籽晶缝隙的各个位置;该机构完成了对硅棒的融化和使得模拟籽晶倾斜一定角度的工作。
27.其中,风力渗透和打磨机构包括有第二电动推杆、支撑板、硅棒废液收集框、定形板、风机、第一保护块、第二保护块、输风管、第一出风管、第二出风管、电机、第二传动轴、第二锥齿轮、第三锥齿轮、第一滑套、第三传动轴、第三电动推杆、第一传动轮、第二传动轮、第四传动轴、第二滑套、第四锥齿轮、第五锥齿轮、第五传动轴、第六锥齿轮、第七锥齿轮、第六
传动轴、柱形打磨器、f形连接板、硅粉桶、第一硅粉补料管、第二硅粉补料管、第二电动滑块、第三传动轮和第四传动轮;第二电动推杆与连接架进行固接;第二电动推杆与支撑板进行固接;第二电动推杆在支撑板左右两侧均设置有一组;支撑板与硅棒废液收集框进行固接;支撑板与定形板进行固接;支撑板与风机进行固接;支撑板同时与第一保护块和第二保护块进行固接;支撑板与通过连接块输风管进行固接;第一保护块与第一出风管进行固接;第二保护块与第二出风管进行固接;输风管同时与第一出风管和第二出风管进行固接;第一出风管通过连接块与支撑板进行固接;第一出风管在第一保护块上一共设置有七组;第二出风管通过连接块与支撑板进行固接;第二出风管在第二保护块上一共设置有七组;支撑板的侧面设置有电机;电机与连接架相连接;电机与转向机构相连接;电机通过输出轴与第二传动轴进行固接;第二传动轴与第二锥齿轮进行固接;第二锥齿轮侧面设置有第三锥齿轮;第三锥齿轮与第一滑套进行固接;第一滑套与第三传动轴相连接;第一滑套通过连接块与第三电动推杆相连接;第三传动轴与连接架进行转动连接;第三传动轴与第一传动轮进行固接;第三电动推杆与连接架进行固接;第一传动轮外环面通过皮带与第二传动轮进行传动连接;第二传动轮与第四传动轴进行固接;第四传动轴与连接架进行转动连接;第四传动轴与第二滑套相连接;第四传动轴与第三传动轮进行固接;第二滑套与第四锥齿轮进行固接;第二滑套与f形连接板进行转动连接;第四锥齿轮与第五锥齿轮进行啮合;第五锥齿轮与第五传动轴进行固接;第五传动轴与第六锥齿轮进行固接;第五传动轴与f形连接板进行转动连接;第五传动轴通过连接块与第二电动滑块相连接;第六锥齿轮与第七锥齿轮进行啮合;第七锥齿轮与第六传动轴进行固接;第六传动轴与柱形打磨器进行固接;第六传动轴通过连接块与第二电动滑块相连接;f形连接板通过连接块与硅粉桶进行固接;硅粉桶同时与第一硅粉补料管和第二硅粉补料管进行固接;第二电动滑块与连接架进行滑动连接;第三传动轮外环面通过皮带与第四传动轮进行传动连接;第四传动轴至第二电动滑块在硅粉桶左右两侧均设置有一组,只是另一组第二电动滑块到第四传动轴的距离更近;另一组第四传动轴与第四传动轮进行固接。
28.当模拟籽晶被输送至两组柱形打磨器之间,且模拟籽晶的侧面彻底与柱形打磨器的外表面接触,然后通过模拟融化器将硅棒融化,当硅棒基本融化时,两组第二电动推杆开始工作,第二电动推杆带动支撑板及与之连接的所有部件向上运动,直至第一出风管和第二出风管分别位于模拟籽晶两个侧面的位置处,且定形板刚好与模拟籽晶的底面接触,确保模拟籽晶不会因为硅棒的融化而松动变形,此时第一保护块、第二保护块、七组第一出风管和第二出风管将模拟籽晶两个侧面的缝隙封住,然后风机开始工作,通过输风管将风力分别输送至七组第一出风管和第二出风管,然后通过第一出风管和第二出风管输出的风力将模拟籽晶内部融化的硅液分别吹向两侧,并且此时两组液压推杆和联动器同时工作,使得模拟籽晶倾斜一定的角度,即在风力和硅液自身的重力下,使得硅液向模拟籽晶未打孔一侧的缝隙流去,最终使得硅液充满模拟籽晶未打孔一侧的缝隙,且模拟籽晶的水平缝隙处液有部分被硅液充满,在硅液流动的同时,有少部分会从两侧的水平缝隙处溢出,还有一小部分会通过模拟籽晶未打孔溢出的缝隙流出到底面,且通过定形板上的圆孔滴落到硅棒废液收集框中,最终溢出的硅液会有较少一部分固化在模拟籽晶的侧面和底面,然后第二电动推杆将支撑板及与之连接的所有部件带回至原位,两组液压推杆和联动器将模拟籽晶带回至水平状态,电机开始工作,电机带动第二传动轴转动,第二传动轴带动第二锥齿轮转
动,第三电动推杆带动第一滑套向靠近第二锥齿轮处运动,即带动第三锥齿轮向靠近第二锥齿轮处运动,直至第三锥齿轮与第二锥齿轮啮合,第二锥齿轮通过第三锥齿轮长度第一滑套,第一滑套带动第三传动轴转动,第三传动轴通过第一传动轮传动第二传动轮,第二传动轮带动第四传动轴转动,第四传动轴通过第二滑套传动第四锥齿轮,第四锥齿轮带动第五锥齿轮转动,第五锥齿轮通过第五传动轴传动第六锥齿轮,第六锥齿轮通过第七锥齿轮传动第六传动轴,第六传动轴带动柱形打磨器转动,同时,第四传动轴通过第三传动轮传动第四传动轮,第四传动轮带动另一组第四传动轴转动,即带动另一组柱形打磨器转动,与此同时两组第二电动滑块同时工作,带动两组第二滑套至f形连接板和硅粉桶、第一硅粉补料管和第二硅粉补料管向靠近第二传动轮方向运动,在运动的同时,柱形打磨器通过不停的转动将模拟籽晶两个侧面溢出后固化的硅液进行打磨清,当第一硅粉补料管和第二硅粉补料管刚好运动至模拟籽晶的两个打孔处正上方时,两组第二电动滑块停止工作,硅粉桶内部的电动阀门打开,使得硅粉桶内部的硅粉通过第一硅粉补料管和第二硅粉补料管掉落到模拟籽晶的两个孔内,当模拟籽晶的孔内被硅粉填满后,硅粉桶内部的电动阀门关闭,两组第二电动滑块再次工作,继续带动两组柱形打磨器向靠近第二传动轮方向运动,直至将模拟籽晶两个侧面溢出后固化的硅液彻底清除,然后第二电动滑块将柱形打磨器等部件带回至原位;该机构完成了对模拟籽晶未打孔一侧的和水平处部分缝隙的填充工作,并且有效的将侧面溢出后固化的硅液进行清理的工作。
29.其中,转向机构包括有第五传动轮、第六传动轮、第七传动轴、第八锥齿轮、第七传动轮、第八传动轮、第八传动轴、第一平齿轮、第二平齿轮、第三滑套、第九传动轴、第四电动推杆、第九传动轮、第十传动轮、第十传动轴和第九锥齿轮;第五传动轮与电机输出轴进行固接;第五传动轮外环面通过皮带与第六传动轮进行传动连接;第六传动轮与第七传动轴进行固接;第七传动轴与连接架进行转动连接;第七传动轴与第八锥齿轮进行固接;第七传动轴与第七传动轮进行固接;第八锥齿轮与封口机构相连接;第七传动轮外环面通过皮带与第八传动轮进行传动连接;第八传动轮与第八传动轴进行固接;第八传动轴与连接架进行转动连接;第八传动轴与第一平齿轮进行固接;第一平齿轮的侧面设置有第二平齿轮;第二平齿轮与第三滑套进行固接;第三滑套与第九传动轴相连接;第三滑套通过连接块与第四电动推杆相连接;第四电动推杆与连接架进行固接;第九传动轴与连接架进行转动连接;第九传动轴与第九传动轮进行固接;第九传动轮外环面通过皮带与第十传动轮进行传动连接;第十传动轮与第十传动轴进行固接;第十传动轴与连接架进行转动连接;第十传动轴与第九锥齿轮进行固接;第九传动轮至第九锥齿轮在第九传动轴左右两侧均设置有一组。
30.当模拟籽晶未打孔一侧的缝隙和部分水平缝隙被填充好之后,此时两组第一电动推杆再次带动模拟融化器向下运动,直至运动至硅粉的正上方,然后通过模拟融化器将模拟籽晶中的硅粉进行融化,当硅粉基本融化后,两组第一电动滑块同时带动第一传动轴至弹簧器向下运动,直至两组第一锥齿轮分别与两组第九锥齿轮啮合,电机通过输出轴带动第五传动轮转动,第五传动轮通过第六传动轮传动第七传动轴,第七传动轴通过第八锥齿轮带动封口机构工作,通过封口机构将模拟籽晶的两个打孔处进行封口,并且将打孔处的侧面缝隙进行封盖,然后第七传动轴通过第七传动轮传动第八传动轮,第八传动轮通过第八传动轴传动第一平齿轮,第四电动推杆开始工作,第四电动推杆带动第三滑套向上运动,即带动第二平齿轮向上运动,直至第二平齿轮与第一平齿轮啮合,第一平齿轮通过第二平
齿轮传动第三滑套,第三滑套通过第九传动轴传动第九传动轮,第九传动轮带动第十传动轮转动,第十传动轮通过第十传动轴传动第九锥齿轮,第九锥齿轮通过第一锥齿轮传动第一传动轴,第一传动轴带动方形固定框至弹簧器转动一百八十度,同时,另一组通过对应的第九传动轮传动第十传动轮,最后通过该组第九锥齿轮传动对应一组的第一锥齿轮,最终使得模拟籽晶转动一百八十度;该机构完成了对模拟籽晶的转向工作。
31.其中,封口机构包括有第十锥齿轮、第十一传动轴、第十一传动轮、第十二传动轮、第十二传动轴、第四滑套、第三平齿轮、第五电动推杆、第四平齿轮、第十三传动轴、u形封口器、第五滑套、第五平齿轮、第六电动推杆和齿盘;第十锥齿轮与第八锥齿轮进行啮合;第十锥齿轮与第十一传动轴进行固接;第十一传动轴与连接架进行转动连接;第十一传动轴与第十一传动轮进行固接;第十一传动轴与第五滑套相连接;第十一传动轮外环面通过皮带与第十二传动轮进行传动连接;第十二传动轮与第十二传动轴进行固接;第十二传动轴与连接架进行转动连接;第十二传动轴与第四滑套相连接;第四滑套与第三平齿轮进行固接;第四滑套通过连接块与第五电动推杆相连接;第三平齿轮的侧面设置有第四平齿轮;第四平齿轮与第十三传动轴进行固接;第十三传动轴通过l形连接块与u形封口器进行固接;第十三传动轴通过连接块与齿盘相连接;第五滑套与第五平齿轮进行固接;第五滑套通过连接块与第六电动推杆相连接;第六电动推杆与连接架进行固接;第五平齿轮侧面设置有齿盘;齿盘通过连接柱与连接架进行转动连接。
32.当模拟籽晶运动至第一锥齿轮刚好与第九锥齿轮啮合时,第八锥齿轮带动第十锥齿轮转动,第十锥齿轮通过第十一传动轴传动第十一传动轮,第十一传动轮带动第十二传动轮转动,第十二传动轮通过第十二传动轴传动第四滑套,第五电动推杆开始工作,第五电动推杆带动第四滑套向靠近第四平齿轮方向运动,即带动第三平齿轮向靠近第四平齿轮方向运动,直至第三平齿轮与第四平齿轮啮合,第四滑套带动第三平齿轮转动,第三平齿轮通过第四平齿轮传动第十三传动轴,第十三传动轴带动u形封口器转动一百八十度,使得u形封口器上的两个柱形块刚好将模拟籽晶的两个孔封闭,同时u形封口器两侧的块状物将模拟籽晶的侧面靠近打孔处的缝隙盖住,然后在模拟籽晶转动一百八十度时,第十一传动轴通过第五滑套传动第五平齿轮,第六电动推杆开始工作,第六电动推杆带动第五滑套向远离第十锥齿轮方向运动,即带动第五平齿轮向远离第十锥齿轮方向运动,直至第五平齿轮与齿盘啮合,第五平齿轮带动齿盘转动,齿盘带动第四平齿轮至u形封口器也同时转动一百八十度,使得u形封口器始终与模拟籽晶接触,然后两组液压推杆和联动器再次使得模拟籽晶倾斜一定的角度,使得模拟籽晶内融化的硅液再次由于自身的重力流入到模拟籽晶打孔一面的缝隙中,直至打孔一面的缝隙完全被硅液填满,最终使得少量溢出的硅液固化在模拟籽晶的打孔一面,然后电机反转,齿盘将第四平齿轮至u形封口器带回原位,带回原位后,第三平齿轮再次与第四平齿轮啮合,第四平齿轮将u形封口器带回至初始状态,与此同时,通过电机,第九锥齿轮带动模拟籽晶转动九十度,使得模拟籽晶打孔的一面与另一面变成侧面,然后通过第一电动滑块带动模拟籽晶向上运动,直至运动至模拟籽晶初次与柱形打磨器接触的状态,然后柱形打磨器再次通过电机的工作完成其初次与模拟籽晶接触时的打磨工作,直至将模拟籽晶打孔一面与未打孔一面的溢出固化的硅液清除,然后第一电动滑块将模拟籽晶带回至初始位置,待模拟籽晶彻底定型后,再由人工将其取走;该机构完成了对模拟籽晶的打孔处封口的工作,有效的防止了硅液从打孔处流出。
33.其中,七组第一出风管和第二出风管的长度刚好等于模拟籽晶的侧面缝隙长度的一半。
34.使得第一出风管和第二出风管能够刚好使得模拟籽晶缝隙的硅液分别向两侧流动,最终使得模拟籽晶未打孔一侧的缝隙完全被硅液填满。
35.其中,当模拟籽晶上升至两组柱形打磨器之间时,模拟籽晶侧面刚好与柱形打磨器的外表面接触。
36.使得柱形打磨器尴尬后能将模拟籽晶各个面溢出固化的硅液清除。
37.其中,u形封口器转动一百八十度之后,u形封口器上的两块圆柱体刚好能将模拟籽晶的两个打孔处封闭,且u形封口器两侧的块状物刚好能够将模拟籽晶的侧面缝隙盖住。
38.有效的防止硅液从模拟籽晶的打孔处和侧面流出。
39.应当理解,以上的描述仅仅用于示例性目的,并不意味着限制本发明。本领域的技术人员将会理解,本发明的变型形式将包含在本文的权利要求的范围内。

技术特征:
1.一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,包括有固定架(1)和控制器(2),其特征是:还包括有:固定机构(3)、倾斜和模拟融化结构(4)、风力渗透和打磨机构(5)、转向机构(6)和封口机构(7);固定架(1)与控制器(2)相连接;固定架(1)与倾斜和模拟融化结构(4)相连接;倾斜和模拟融化结构(4)与固定机构(3)相连接;倾斜和模拟融化结构(4)与风力渗透和打磨机构(5)相连接;倾斜和模拟融化结构(4)与转向机构(6)相连接;倾斜和模拟融化结构(4)与封口机构(7)相连接;风力渗透和打磨机构(5)与转向机构(6)相连接;转向机构(6)与封口机构(7)相连接。2.如权利要求1所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:固定机构(3)包括有第一电动滑块(301)、第一传动轴(302)、第一锥齿轮(303)、方形固定框(304)、模拟籽晶(305)、固定板(306)、阻挡块(307)和弹簧器(308);第一电动滑块(301)与倾斜和模拟融化结构(4)进行滑动连接;第一电动滑块(301)与第一传动轴(302)进行转动连接;第一传动轴(302)与第一锥齿轮(303)进行固接;第一传动轴(302)与方形固定框(304)进行固接;方形固定框(304)与模拟籽晶(305)相互接触;方形固定框(304)与阻挡块(307)进行固接;方形固定框(304)与弹簧器(308)进行固接;模拟籽晶(305)与固定板(306)相互接触;固定板(306)与弹簧器(308)进行固接;固定板(306)与阻挡块(307)相互接触;弹簧器(308)在固定板(306)的四个角均设置有一组;阻挡块(307)在固定板(306)的左右两侧均设置有一组;第一电动滑块(301)、第一传动轴(302)、第一锥齿轮(303)、方形固定框(304)、固定板(306)、阻挡块(307)和弹簧器(308)在模拟籽晶(305)的左右两端均设置有一组。3.如权利要求2所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:倾斜和模拟融化结构(4)包括有液压推杆(401)、联动器(402)、连接架(403)、第一电动推杆(404)和模拟融化器(405);液压推杆(401)与固定架(1)相连接;液压推杆(401)与连接架(403)相连接;联动器(402)与固定架(1)相连接;联动器(402)与连接架(403)相连接;液压推杆(401)和联动器(402)在连接架(403)左右两侧均设置有一组;连接架(403)与固定机构(3)相连接;连接架(403)与倾斜和模拟融化结构(4)相连接;连接架(403)与风力渗透和打磨机构(5)相连接;连接架(403)与转向机构(6)相连接;连接架(403)与封口机构(7)相连接;连接架(403)的上方设置有第一电动推杆(404);第一电动推杆(404)通过l形连接块与固定架(1)进行固接;第一电动推杆(404)与模拟融化器(405)进行固接;第一电动推杆(404)在模拟融化器(405)左右两侧均设置有一组。4.如权利要求3所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:风力渗透和打磨机构(5)包括有第二电动推杆(501)、支撑板(502)、硅棒废液收集框(503)、定形板(504)、风机(505)、第一保护块(506)、第二保护块(507)、输风管(508)、第一出风管(509)、第二出风管(5010)、电机(5011)、第二传动轴(5012)、第二锥齿轮(5013)、第三锥齿轮(5014)、第一滑套(5015)、第三传动轴(5016)、第三电动推杆(5017)、第一传动轮(5018)、第二传动轮(5019)、第四传动轴(5020)、第二滑套(5021)、第四锥齿轮(5022)、第五锥齿轮(5023)、第五传动轴(5024)、第六锥齿轮(5025)、第七锥齿轮(5026)、第六传动轴(5027)、柱形打磨器(5028)、f形连接板(5029)、硅粉桶(5030)、第一硅粉补料管(5031)、第二硅粉补料管(5032)、第二电动滑块(5033)、第三传动轮(5034)和第四传动轮(5035);第二电动推杆(501)与连接架(403)进行固接;第二电动推杆(501)与支撑板(502)进行固接;第二电动推杆(501)在支撑板(502)左右两侧均设置有一组;支撑板(502)与硅棒废液收集框(503)进行
固接;支撑板(502)与定形板(504)进行固接;支撑板(502)与风机(505)进行固接;支撑板(502)同时与第一保护块(506)和第二保护块(507)进行固接;支撑板(502)与通过连接块输风管(508)进行固接;第一保护块(506)与第一出风管(509)进行固接;第二保护块(507)与第二出风管(5010)进行固接;输风管(508)同时与第一出风管(509)和第二出风管(5010)进行固接;第一出风管(509)通过连接块与支撑板(502)进行固接;第一出风管(509)在第一保护块(506)上一共设置有七组;第二出风管(5010)通过连接块与支撑板(502)进行固接;第二出风管(5010)在第二保护块(507)上一共设置有七组;支撑板(502)的侧面设置有电机(5011);电机(5011)与连接架(403)相连接;电机(5011)与转向机构(6)相连接;电机(5011)通过输出轴与第二传动轴(5012)进行固接;第二传动轴(5012)与第二锥齿轮(5013)进行固接;第二锥齿轮(5013)侧面设置有第三锥齿轮(5014);第三锥齿轮(5014)与第一滑套(5015)进行固接;第一滑套(5015)与第三传动轴(5016)相连接;第一滑套(5015)通过连接块与第三电动推杆(5017)相连接;第三传动轴(5016)与连接架(403)进行转动连接;第三传动轴(5016)与第一传动轮(5018)进行固接;第三电动推杆(5017)与连接架(403)进行固接;第一传动轮(5018)外环面通过皮带与第二传动轮(5019)进行传动连接;第二传动轮(5019)与第四传动轴(5020)进行固接;第四传动轴(5020)与连接架(403)进行转动连接;第四传动轴(5020)与第二滑套(5021)相连接;第四传动轴(5020)与第三传动轮(5034)进行固接;第二滑套(5021)与第四锥齿轮(5022)进行固接;第二滑套(5021)与f形连接板(5029)进行转动连接;第四锥齿轮(5022)与第五锥齿轮(5023)进行啮合;第五锥齿轮(5023)与第五传动轴(5024)进行固接;第五传动轴(5024)与第六锥齿轮(5025)进行固接;第五传动轴(5024)与f形连接板(5029)进行转动连接;第五传动轴(5024)通过连接块与第二电动滑块(5033)相连接;第六锥齿轮(5025)与第七锥齿轮(5026)进行啮合;第七锥齿轮(5026)与第六传动轴(5027)进行固接;第六传动轴(5027)与柱形打磨器(5028)进行固接;第六传动轴(5027)通过连接块与第二电动滑块(5033)相连接;f形连接板(5029)通过连接块与硅粉桶(5030)进行固接;硅粉桶(5030)同时与第一硅粉补料管(5031)和第二硅粉补料管(5032)进行固接;第二电动滑块(5033)与连接架(403)进行滑动连接;第三传动轮(5034)外环面通过皮带与第四传动轮(5035)进行传动连接;第四传动轴(5020)至第二电动滑块(5033)在硅粉桶(5030)左右两侧均设置有一组,只是另一组第二电动滑块(5033)到第四传动轴(5020)的距离更近;另一组第四传动轴(5020)与第四传动轮(5035)进行固接。5.如权利要求4所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:转向机构(6)包括有第五传动轮(601)、第六传动轮(602)、第七传动轴(603)、第八锥齿轮(604)、第七传动轮(605)、第八传动轮(606)、第八传动轴(607)、第一平齿轮(608)、第二平齿轮(609)、第三滑套(6010)、第九传动轴(6011)、第四电动推杆(6012)、第九传动轮(6013)、第十传动轮(6014)、第十传动轴(6015)和第九锥齿轮(6016);第五传动轮(601)与电机(5011)输出轴进行固接;第五传动轮(601)外环面通过皮带与第六传动轮(602)进行传动连接;第六传动轮(602)与第七传动轴(603)进行固接;第七传动轴(603)与连接架(403)进行转动连接;第七传动轴(603)与第八锥齿轮(604)进行固接;第七传动轴(603)与第七传动轮(605)进行固接;第八锥齿轮(604)与封口机构(7)相连接;第七传动轮(605)外环面通过皮带与第八传动轮(606)进行传动连接;第八传动轮(606)与第八传动轴(607)进行固接;第八传动轴(607)与连接架(403)进行转动连接;第八传动轴(607)与第一平齿轮(608)进行固接;第一
平齿轮(608)的侧面设置有第二平齿轮(609);第二平齿轮(609)与第三滑套(6010)进行固接;第三滑套(6010)与第九传动轴(6011)相连接;第三滑套(6010)通过连接块与第四电动推杆(6012)相连接;第四电动推杆(6012)与连接架(403)进行固接;第九传动轴(6011)与连接架(403)进行转动连接;第九传动轴(6011)与第九传动轮(6013)进行固接;第九传动轮(6013)外环面通过皮带与第十传动轮(6014)进行传动连接;第十传动轮(6014)与第十传动轴(6015)进行固接;第十传动轴(6015)与连接架(403)进行转动连接;第十传动轴(6015)与第九锥齿轮(6016)进行固接;第九传动轮(6013)至第九锥齿轮(6016)在第九传动轴(6011)左右两侧均设置有一组。6.如权利要求5所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:封口机构(7)包括有第十锥齿轮(701)、第十一传动轴(702)、第十一传动轮(703)、第十二传动轮(704)、第十二传动轴(705)、第四滑套(706)、第三平齿轮(707)、第五电动推杆(708)、第四平齿轮(709)、第十三传动轴(7010)、u形封口器(7011)、第五滑套(7012)、第五平齿轮(7013)、第六电动推杆(7014)和齿盘(7015);第十锥齿轮(701)与第八锥齿轮(604)进行啮合;第十锥齿轮(701)与第十一传动轴(702)进行固接;第十一传动轴(702)与连接架(403)进行转动连接;第十一传动轴(702)与第十一传动轮(703)进行固接;第十一传动轴(702)与第五滑套(7012)相连接;第十一传动轮(703)外环面通过皮带与第十二传动轮(704)进行传动连接;第十二传动轮(704)与第十二传动轴(705)进行固接;第十二传动轴(705)与连接架(403)进行转动连接;第十二传动轴(705)与第四滑套(706)相连接;第四滑套(706)与第三平齿轮(707)进行固接;第四滑套(706)通过连接块与第五电动推杆(708)相连接;第三平齿轮(707)的侧面设置有第四平齿轮(709);第四平齿轮(709)与第十三传动轴(7010)进行固接;第十三传动轴(7010)通过l形连接块与u形封口器(7011)进行固接;第十三传动轴(7010)通过连接块与齿盘(7015)相连接;第五滑套(7012)与第五平齿轮(7013)进行固接;第五滑套(7012)通过连接块与第六电动推杆(7014)相连接;第六电动推杆(7014)与连接架(403)进行固接;第五平齿轮(7013)侧面设置有齿盘(7015);齿盘(7015)通过连接柱与连接架(403)进行转动连接。7.如权利要求6所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:七组第一出风管(509)和第二出风管(5010)的长度刚好等于模拟籽晶(305)的侧面缝隙长度的一半。8.如权利要求7所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:当模拟籽晶(305)上升至两组柱形打磨器(5028)之间时,模拟籽晶(305)侧面刚好与柱形打磨器(5028)的外表面接触。9.如权利要求8所述的一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,其特征在于:u形封口器(7011)转动一百八十度之后,u形封口器(7011)上的两块圆柱体刚好能将模拟籽晶(305)的两个打孔处封闭,且u形封口器(7011)两侧的块状物刚好能够将模拟籽晶(305)的侧面缝隙盖住。
技术总结
本发明涉及一种单晶硅领域,尤其涉及一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置。本发明要解决的技术问题是:提供一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置。本发明的技术方案为:一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置,包括有固定机构、倾斜和模拟融化结构、风力渗透和打磨机构和封口机构等;倾斜和模拟融化结构与固定机构相连接;倾斜和模拟融化结构与风力渗透和打磨机构相连接;倾斜和模拟融化结构与封口机构相连接。本发明实现了能够在两块籽晶融合定型的过程中,确保了两块籽晶不会产生错位和缝隙被硅液完全从满,并且还能够将溢出的多余硅液进行清理,确保生产出来的籽晶不会影响后期类单晶硅的生产。类单晶硅的生产。类单晶硅的生产。


技术研发人员:李泽
受保护的技术使用者:李泽
技术研发日:2021.03.10
技术公布日:2021/7/15

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