输送装置和输送方法与流程

专利2022-05-09  4



1.本公开涉及一种输送装置和输送方法。更具体地,本公开涉及在半导体装置或显示装置的制造过程中用于输送物体的输送装置和输送方法。


背景技术:

2.通常,用于执行诸如沉积、曝光、蚀刻、清洁等的制造工艺的装置可以在用于制造半导体装置或显示装置的洁净室中以多行和多列布置。另外,用于将诸如半导体晶片或显示基板的材料供应到制造装置的材料输送装置可以设置在洁净室中。
3.例如,可以在洁净室中设置架空式起重运输(oht)装置、轨道车辆(rgv)装置、自动引导车辆(agv)装置、包括多个传送器的输送装置等。特别地,可以通过连接多个用于在制造装置之间输送物体的传送器来配置输送装置,并且可以通过连接到传送器的控制单元来控制传送器的运行。


技术实现要素:

4.本发明的实施例提供了一种能够更有效地控制用于输送物体的传送器(传送带)的运行的输送装置和输送方法。
5.根据本发明的一个方面,一种输送装置可以包括:输送轨道,其包括用于输送物体的多个传送器;上调度器,其创建用于输送物体的输送路径并且创建用于控制构成输送路径的多个传送器的运行的输送信息;以及多个下调度器,每个下调度器从上调度器接收输送信息,并分别基于输送信息来控制传送器的运行。
6.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括基于相应传送器的预定数量的上游传送器的速度信息。
7.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括物体的位置信息。
8.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括直接位于相应传送器后面的传送器的速度信息。
9.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括关于基于相应传送器的预定数量的下游传送器是否正常运行的信息。
10.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括直接位于相应传送器前面的传送器的速度信息,并且每个下调度器可以将相应传送器的速度控制为等于直接位于相应传送器前面的传送器的速度。
11.根据本发明的一些实施例,每个传送器可包括用于检测在每个传送器的两个端部上的物体的第一传感器,以及用于检测在每个传送器的中央部分上的物体的第二传感器。
12.根据本发明的一些实施例,每个传送器可以包括用于检测在每个传送器上方是否存在障碍物的障碍传感器。
13.根据本发明的一些实施例,当在任一传送器上方检测到障碍物时,与检测到障碍
物的传送器相相应下调度器可以将障碍物检测信号发送至上调度器,上调度器可以将障碍物检测信号发送到与位于检测到障碍物的传送器前面的上游传送器相相应下调度器,并且与上游传送器相相应下调度器可以控制上游传送器的运行,使得物体在检测到障碍物的传送器的位置前方停止。
14.根据本发明的一些实施例,输送轨道可以包括彼此相交的第一输送轨道和第二输送轨道,并且位于第一输送轨道和第二输送轨道的交点处的传送器可以配置为可旋转。
15.根据本发明的一些实施例,当朝着交点移动的第一物体和第二物体分别存在于第一输送轨道和第二输送轨道上时,上调度器可以确定第一物体和第二物体的输送顺序,以防止第一物体和第二物体在交点处发生碰撞。
16.根据本发明的另一方面,一种输送方法可以包括创建用于在包括彼此连接的多个传送器的输送轨道上输送物体的输送路径,创建用于控制构成所述输送路径的传送器的运行的输送信息,并根据输送信息控制每个传送器的运行以输送物体。
17.根据本发明的一些实施例,可以根据物体的位置、构成输送路径的每个传送器的速度、传送器是否正常运行以及传送器周围是否存在障碍物来实时更新输送信息。
18.根据本发明的一些实施例,输送方法还可以包括将输送信息提供给下调度器,以控制每个传送器的运行。
19.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括基于相应传送器的预定数量的上游传送器的速度信息。
20.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括物体的位置信息。
21.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括直接位于相应传送器后面的传送器的速度信息。
22.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括关于基于相应传送器的预定数量的下游传送器是否正常运行的信息。
23.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括直接位于相应传送器前面的传送器的速度信息,并且每个下调度器可以将相应传送器的速度控制为等于直接位于相应传送器前面的传送器的速度。
24.根据本发明的一些实施例,提供给每个下调度器的输送信息可以包括关于在每个传送器上方是否存在障碍物的信息。
25.本发明的以上概述并非旨在描述本发明的每个示出的实施例或每个实施方式。以下的详细描述和权利要求更具体地举例说明了这些实施例。附图的简要说明
26.通过以下结合附图的描述,可以更详细地理解本发明的实施例,其中:
27.图1是示出根据本发明的实施例的输送装置及输送方法的示意图;
28.图2是示出图1所示的传送器的示意图;
29.图3是示出提供给图1所示的下调度器的输送信息的示意图;
30.图4是示出图1中所示的输送轨道的另一示例的示意图;和
31.图5是示出图1中所示的输送轨道的又一示例的示意图。
32.尽管各种实施例可以进行各种修改和替代形式,但是其细节已经通过示例在附图
中示出并且将被详细描述。然而,应当理解,其意图不是将要求保护的发明限于所描述的特定实施例。相反,本发明旨在覆盖落入由权利要求书限定的主题的实质和范围内的所有修改、等同形式和替代形式。
具体实施例
33.在下文中,参考附图更详细地描述本发明的实施例。然而,本发明不限于以下描述的实施例,并且可以以各种其他形式实现。提供以下实施例不是为了完全完成本发明,而是为了将本发明的范围完全传达给本领域技术人员。
34.在说明书中,当一个部件被称为在另一部件或层之上或连接至另一部件或层时,它可以直接在另一部件或层之上或与其连接,或者也可以存在中间部件或层。与此不同,将理解的是,当将一个组件称为直接在另一组件或层上或直接连接到另一组件或层时,这意味着不存在中间组件。而且,尽管在本发明的各种实施例中使用诸如第一、第二和第三的术语来描述各种区域和层,但是这些区域和层不限于这些术语。
35.以下使用的术语仅用于描述特定实施例,而不限制本发明。另外,除非在此另外定义,否则包括技术或科学术语在内的所有术语可以具有本领域技术人员通常理解的相同含义。
36.参考理想实施例的示意图描述了本发明的实施例。因此,可以从附图的形式预期制造方法的改变和/或允许的误差。因此,本发明的实施例不限于附图中的特定形式或区域来描述,而是包括形式的偏差。所述区域可以完全是示意性的,并且它们的形式可以不描述或描绘任何给定区域中的精确形式或结构,并且不旨在限制本发明的范围。
37.图1是示出根据本发明的实施例的输送装置和输送方法的示意图。
38.参照图1,根据本发明的实施例的输送装置100和输送方法可以用于在半导体装置或显示装置的制造过程中输送物体10。例如,输送装置100和输送方法可以用于在半导体装置的制造过程中输送容纳半导体晶片的容器10。
39.输送装置100可以包括构成输送轨道(输送通道)102的多个传送器(如传送带)110。例如,尽管未详细示出,但是输送轨道102可以被配置为连接用于存储容器10的储料器装置和多个处理装置,并且在储料器装置和输送装置100之间以及在输送装置100和处理装置之间设置另外的输送机器人或另外的传送器,用于输送物体10。
40.输送装置100可以包括用于控制每个传送器110的运行的下调度器120和用于控制物体10的整体输送的上调度器130。上调度器130可以创建用于输送物体10的输送路径,并且可以创建用于控制构成输送路径的传送器110的运行的多个输送信息。例如,上调度器130可以创建多个输送路径以将容器10从储料器装置输送至处理装置、从处理装置至储料器装置或在处理装置之间输送。此外,当输送路径彼此重叠或相交时,上调度器130可以确定容器10的输送顺序。
41.下调度器120可以分别与传送器110连接,并且可以基于从上调度器130提供的输送信息来分别控制传送器110的运行。例如,输送信息可以包括待输送的物体10的位置信息、各传送器110的速度信息等。此外,可以根据物体10的位置、构成输送路径的每个传送器110的速度、传送器110是否正常运行、在传送器110周围是否存在障碍物等来实时更新输送信息。
42.图2是示出图1所示的传送器的示意图。
43.参照图2,每个传送器110可以包括用于检测物体10的进入和离开的第一传感器112和用于获取物体10的位置信息的第二传感器114。例如,每个传送器110可以包括用于检测在每个传送器110的两个端部上的物体10的第一传感器112和用于检测在每个传送器110的中央部分上的物体10的第二传感器114。
44.光学传感器或红外传感器可以用作第一传感器112和第二传感器114,并且可以根据来自第一传感器112和第二传感器114的信号来检测物体10的位置。下调度器120可以根据来自第一传感器112和第二传感器114的信号检测物体10的位置。此外,如上所述获取的位置信息可以被发送到上调度器130,并且还可以从上调度器130发送到需要物体10的位置信息的下调度器120。
45.每个传送器110可以包括用于检测传送器110周围的障碍物的障碍传感器116。例如,每个传送器110可以包括用于检测在每个传送器上方是否存在障碍物的障碍传感器116。当在物体10的输送过程中检测到障碍物时,为了防止与障碍物的碰撞,下调度器120可以控制传送器110的运行,使得物体10停在位于检测到障碍物的传送器110的正前方的传送器110(以下称“正前方传送器”)上。
46.图3是示出提供给图1所示的下调度器的输送信息的示意图。
47.参照图3,提供给每个下调度器120的输送信息包括基于相应传送器110的预定数量的上游传送器110的速度信息。例如,可以将从第n

4传送器110到第n传送器110的速度信息提供给第n下调度器120,以控制第n传送器110的运行。此外,可以将位于第n传送器110的正后方的第n 1传送器110(以下称为“正后方传送器”)的速度信息提供给第n下调度器120。
48.传输路径可以包括加速部分、恒速部分和减速部分。当第n传送器110被包括在恒速部分中时,第n

1传送器110和第n 1传送器110的速度可以相同,并且第n传送器110的速度可以控制为与第n

1传送器110和第n 1传送器110相同。例如,第n

1传送器110和第n 1传送器可以以第三速度(例如,大约1.0m/s的速度)运行,且第n下调度器120可以以第三速度控制第n传送器110。此时,输送信息可以包括物体10的位置信息。第n传送器110可以在停止状态下等待直到物体10到达预定位置,并且可以在在预定位置检测到物体10(例如,在第n

4传送器110上检测到物体10)之后从停止状态加速到第三速度。
49.当第n传送器110被包括在加速部分中时,第n 1传送器110的速度可以高于第n

1传送器110的速度。例如,处于起始位置的第一传送器110可以从静止状态加速到第一速度,例如大约0.2m/s的速度,并且可以以第一速度将物体10输送到第二传送器110。第二传送器110可以第一速度接收物体10,加速到第二速度,例如大约0.6m/s的速度,然后可以第二速度将物体10输送到第三传送器110。第三传送器110可以第二速度接收物体10,加速到第三速度,例如大约1.0m/s的速度,然后以第三速度将物体10输送到第四传送器110。也就是说,第n传送器110可以以与第n

1传送器相同的速度运行以从第n

1传送器110接收物体10,然后可以加速至与第n 1传送器110相同的速度以将物体10输送到第n 1传送器110。与上述相反,当第n传送器110被包括在减速部中时,可以与加速部相反地控制传送器110的运行。
50.提供给每个下调度器120的输送信息可以包括关于基于相应传送器的预定数量的下游传送器是否正常运行的信息。例如,关于从第n 1到第n 4传送器110是否正常运行的信息可以被提供给第n传送器110。例如,当第n 4传送器110处于不工作状态时,减速可以从在
第n传送器110开始,至少可以在第n 3传送器110停止物体10的移动。当传送器110中的一个发生异常运行时,上调度器130可以将有关异常运行状态的信息提供给下调度器120,用于控制上游传送器110,使得物体10停在发生运行异常的传送器110的前方。
51.提供给每个下调度器120的输送信息可以包括关于在传送器110上方是否存在障碍物的信息。例如,当在任何一个传送器110上方检测到障碍物时,对应于到检测到障碍物的传送器110的下调度器120将障碍物检测信号发送到上调度器130。上调度器130可以将障碍物检测信号发送到与位于检测到障碍物所在的传送器110前面的上游传送器110相相应下调度器120。对应于上游传送器110的下调度器120可以控制上游传送器110的运行,使得物体在检测到障碍物的传送器110前面停止。例如,当通过第n 1传送器110的障碍物检测传感器116检测到障碍物时,连接到第n传送器110的下调度器120可以使第n传送器110停止,以防止物体10与障碍物之间发生碰撞。
52.图4是示出图1中所示的输送轨道的另一示例的示意图。
53.参照图4,输送轨道104可包括在第一方向(例如,在x轴方向上)彼此连接的第一传送器140以及在第二方向(例如,在y轴方向上)彼此连接的第二传送器142。此外,输送轨道104可以包括用于连接第一传送器140和第二传送器142的第三传送器144,并且第三传送器144可以配置为可旋转的,以改变物体10的移动方向。例如,当物体10的输送路径包括第一传送器140和第二传送器142时,可以控制物体10的输送以在第一方向上移动并在第三传送器144上停止,并且在第三传送器144旋转之后可以控制物体10的输送开始和在第二方向上移动。
54.图5是示出图1中所示的输送轨道的又一示例的示意图。
55.参照图5,输送轨道106可包括彼此相交的第一输送轨道150和第二输送轨道152。例如,第一输送轨道150可以包括彼此连接的第一传送器160,且第二输送轨道152可以包括彼此连接的第二传送器162。配置为可旋转的第三传送器164可以设置在第一输送轨道150和第二输送轨道152的交点处。
56.特别地,当在第一输送轨道150和第二输送轨道152上分别存在朝向交点移动的第一物体20和第二物体22时,上调度器130可以确定第一物体20和第二物体22的输送顺序,以防止第一物体20与第二物体22在交点处碰撞。例如,上调度器130可以向与第一传送器160和第三传送器164连接的下调度器120提供用于控制第一传送器160和第三传送器164的运行的输送信息,从而第一物体20在第二物体22之前经过第三传送器164。此外,上调度器130可以向与第二传送器162连接的下调度器120提供用于控制第二传送器162的运行的输送信息,使得第二物体22在第三传送器164正前方停止。在第一物体20经过第三传送器164之后,可以旋转第三传送器164以输送第二物体22,然后可以通过第三传送器164和第二传送器162输送第二物体22。
57.根据本发明的实施例,上调度器130可以创建用于输送物体10的输送路径,并创建用于控制传送器110的运行的输送信息,下调度器120可以基于所述输送信息控制每个传送器110的运行。因此,与使用单个控制器控制多个传送器的运行的现有技术相比,可以更有效地执行物体10的输送。特别地,可以以多种方式设置物体10的输送路径,并且即使当输送轨道的布局改变时,也不必像现有技术那样改变和应用控制软件,因此,输送装置100的输送效率可以大大提高。
58.尽管已经参考特定实施例描述了本发明的示例实施例,但是它们不限于此。因此,本领域技术人员将容易理解,在不脱离所附权利要求的实质和范围的情况下,可以对其进行各种修改和改变。

技术特征:
1.一种输送装置,包括:输送轨道,其包括用于输送物体的多个传送器;上调度器,其创建用于输送所述物体的输送路径并且创建用于控制构成所述输送路径的传送器的运行的输送信息;以及多个下调度器,每个所述下调度器从所述上调度器接收所述输送信息,并分别基于所述输送信息来控制所述传送器的运行。2.如权利要求1所述的输送装置,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括基于相应传送器的预定数量的上游传送器的速度信息。3.如权利要求1所述的输送装置,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括所述物体的位置信息。4.如权利要求1所述的输送装置,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括直接位于相应传送器后面的传送器的速度信息。5.如权利要求1所述的输送装置,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括关于基于相应传送器的预定数量的下游传送器是否正常运行的信息。6.如权利要求1所述的输送装置,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括直接位于相应传送器前面的传送器的速度信息,并且每个所述下调度器将所述相应传送器的速度控制为等于直接位于所述相应传送器前面的传送器的速度。7.如权利要求1所述的输送装置,其中每个所述传送器包括:用于检测在每个所述传送器的两个端部上的所述物体的第一传感器;和用于检测在每个所述传送器的中央部分上的所述物体的第二传感器。8.如权利要求1所述的输送装置,其中每个所述传送器包括:用于检测在该传送器上方是否存在障碍物的障碍传感器。9.如权利要求8所述的输送装置,其中当在任一所述传送器上方检测到障碍物时,与检测到所述障碍物的所述传送器相应的下调度器将障碍物检测信号发送至所述上调度器,所述上调度器将所述障碍物检测信号发送到与位于检测到所述障碍物的所述传送器前面的上游传送器相对应的下调度器,并且与所述上游传送器相应的所述下调度器控制所述上游传送器的运行,使得所述物体在检测到所述障碍物的所述传送器的前方停止。10.如权利要求1所述的输送装置,其中所述输送轨道包括彼此相交的第一输送轨道和第二输送轨道,而且位于所述第一输送轨道和所述第二输送轨道的交点处的传送器配置为能旋转。11.如权利要求10所述的输送装置,其中当朝着所述交点移动的第一物体和第二物体分别存在于所述第一输送轨道和所述第二输送轨道上时,所述上调度器确定所述第一物体和所述第二物体的输送顺序,以防止所述第一物体和所述第二物体在所述交点处发生碰撞。12.一种输送方法,包括:创建用于在包括彼此连接的多个传送器的输送轨道上输送物体的输送路径;创建用于控制构成所述输送路径的传送器的运行的输送信息;并且
根据所述输送信息控制每个所述传送器的运行以输送所述物体。13.如权利要求12所述的输送方法,其中根据所述物体的位置、构成所述输送路径的每个所述传送器的速度、所述传送器是否正常运行以及所述传送器周围是否存在障碍物来实时更新所述输送信息。14.如权利要求12所述的输送方法,还包括将所述输送信息提供给下调度器,以控制每个所述传送器的运行。15.如权利要求14所述的输送方法,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括基于相应传送器的预定数量的上游传送器的速度信息。16.如权利要求14所述的输送方法,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括所述物体的位置信息。17.如权利要求14所述的输送方法,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括直接位于相应传送器后面的传送器的速度信息。18.如权利要求14所述的输送方法,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括关于基于相应传送器的预定数量的下游传送器是否正常运行的信息。19.如权利要求14所述的输送方法,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括直接位于相应传送器前面的传送器的速度信息,并且每个所述下调度器将所述相应传送器的速度控制为等于直接位于所述相应传送器前面的所述传送器的速度。20.如权利要求14所述的输送方法,其中提供给每个所述下调度器的所述输送信息包括关于在该传送器上方是否存在障碍物的信息。
技术总结
公开了用于输送物体的装置和方法。所述装置包括:输送轨道,其包括用于输送物体的多个传送器;上调度器,其创建用于输送物体的输送路径并且创建用于控制构成输送路径的多个传送器的运行的输送信息;以及多个下调度器,每个下调度器从上调度器接收输送信息,并分别基于输送信息来控制传送器的运行。于输送信息来控制传送器的运行。于输送信息来控制传送器的运行。


技术研发人员:朴炯珍
受保护的技术使用者:细美事有限公司
技术研发日:2020.12.29
技术公布日:2021/7/15

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