本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种硅片承载台升降驱动机构及转换装置。
背景技术：
在半导体器件的实际生产中，根据需要有时只需选取硅片盒内的部分硅片，比如，于半导体生产过程中，较为常见的情况为，需对硅片盒内奇数卡槽内的硅片与偶数卡槽内的硅片分别进行不同的工艺流程，此时只需选取奇数卡槽内的硅片或只选取偶数卡槽内的硅片。
为了提高选择效率，人们设计了能够自动选取指定硅片盒内的部分硅片的硅片转换装置，升降驱动机构是硅片转换装置的常用机构，用于驱动硅片承载台的升降动作。目前，现有硅片承载台的升降驱动机构普遍没有安全防护机构，升降过程中，硅片承载台上的硅片一旦碰到障碍物，升降驱动机构不能及时停止，就会使硅片受损，造成一定的经济损失。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种硅片承载台升降驱动机构，以解决现有技术中硅片承载台的升降驱动机构存在安全防护性差的问题。
本实用新型的另一目的在于针对上述问题，提供一种硅片转换装置，以解决现有技术中硅片转换装置存在安全防护性差的问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
一种硅片承载台升降驱动机构，其包括机架、升降支架、硅片承载台和驱动装置，所述机架上能升降地装配有升降支架，所述升降支架的顶部固定有硅片承载台，所述硅片承载台的两侧对应设置有若干个硅片卡槽，其中，所述驱动装置包括电机、第一配重块、第二配重块和平面皮带，所述电机固定于机架上，所述第一配重块固定于升降支架的底部，所述电机的输出轴上安装有皮带轮，所述平面皮带的一端固定于第一配重块上，另一端绕过皮带轮并固定于第二配重块上，所述硅片承载台上升过程中遇到一定阻力时平面皮带在皮带轮上打滑，所述机架上安装有导向部件，所述第二配重块装配于所述导向部件上。
作为本实用新型的一种优选方案，所述升降支架竖直设置，且其外侧面上沿高度方向固定有导轨，配合导轨于所述机架上固定有滑块，所述滑块装配于所述导轨上。
作为本实用新型的一种优选方案，所述导向部件包括两根间隔固定于所述机架上的导向杆，所述第二配重块上对应开设有两个导向孔，第二配重块通过导向孔装配于导向杆上。
作为本实用新型的一种优选方案，所述皮带轮的两侧均设置有用于对平面皮带限位的侧挡板。
一种硅片转换装置，其中，所述硅片转换装置包括上述硅片承载台升降驱动机构。
本实用新型的有益效果为，所述硅片承载台升降驱动机构不仅结构简单，设计巧妙；而且升降过程平稳，硅片承载台上升过程中遇到一定阻力时平面皮带在皮带轮上打滑，进而能够避免硅片承载台上的硅片受损，提高了硅片转换装置的安全防护性。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式提供的硅片承载台升降驱动机构的正视图；
图2是本实用新型具体实施方式提供的硅片承载台升降驱动机构的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当部件被称为“固定于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者也可以存在居中的部件。当一个部件被认为是“连接”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者可能同时存在居中部件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参照图1和图2所示，于本实施例中，一种硅片转换装置包括硅片承载台升降驱动机构，硅片承载台升降驱动机构包括机架1、升降支架2、硅片承载台3和电机4，机架1上能升降地装配有升降支架2，升降支架2沿竖直方向设置且其顶部固定有硅片承载台3，硅片承载台3的两侧对应设置有若干个硅片卡槽5，升降支架2的外侧面上沿高度方向固定有导轨6，配合导轨6于机架1上固定有滑块，滑块装配于导轨6上。
电机4横向固定于机架1上，第一配重块7固定于升降支架2的底部，电机4的输出轴上安装有皮带轮8，平面皮带9的一端固定于第一配重块7上，另一端绕过皮带轮8并固定于第二配重块10上，机架1上间隔固定有两根导向杆11，第二配重块10上对应导向杆11间隔开设有两个导向孔，第二配重块10通过导向孔装配于导向杆11上，皮带轮8的两侧均设置有用于对平面皮带9限位的侧挡板。
通过对电机4、皮带轮8和平面皮带9进行适配设计，使硅片承载台3上升过程中遇到一定阻力m时平面皮带9在皮带轮8上打滑，不会进一步上升，避免硅片承载台上的硅片在上升过程中碰到障碍物时受损。
以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书界定。
1.一种硅片承载台升降驱动机构，其包括机架、升降支架、硅片承载台和驱动装置，所述机架上能升降地装配有升降支架，所述升降支架的顶部固定有硅片承载台，所述硅片承载台的两侧对应设置有若干个硅片卡槽，其特征在于：所述驱动装置包括电机、第一配重块、第二配重块和平面皮带，所述电机固定于机架上，所述第一配重块固定于升降支架的底部，所述电机的输出轴上安装有皮带轮，所述平面皮带的一端固定于第一配重块上，另一端绕过皮带轮并固定于第二配重块上，所述机架上安装有导向部件，所述第二配重块装配于所述导向部件上。
2.根据权利要求1所述的硅片承载台升降驱动机构，其特征在于：所述升降支架竖直设置，且其外侧面上沿高度方向固定有导轨，配合导轨于所述机架上固定有滑块，所述滑块装配于所述导轨上。
3.根据权利要求1所述的硅片承载台升降驱动机构，其特征在于：所述导向部件包括两根间隔固定于所述机架上的导向杆，所述第二配重块上对应开设有两个导向孔，第二配重块通过导向孔装配于导向杆上。
4.根据权利要求1所述的硅片承载台升降驱动机构，其特征在于：所述皮带轮的两侧均设置有用于对平面皮带限位的侧挡板。
5.一种硅片转换装置，其特征在于：其包括上述权利要求1-4任一项所述的硅片承载台升降驱动机构。
技术总结