一种晶圆衬底基片定位架的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆衬底基片技术领域，具体为一种晶圆衬底基片定位架。


背景技术：

2.衬底基片作为重要的晶圆半导体器件生产原料，在生产制备的过程中需要经过多次技术处理，首先需要对晶圆衬底基片表面均匀喷洒抛光液，进行化学抛光，化学抛光10分钟
‑
20分钟后，然后再将晶圆衬底基片浸泡在保护液中，浸泡15分钟
‑
30分钟，最后再将晶圆衬底基片放入硝酸钾钢化液中进行化学强化，工序较多，工艺复杂周期长。
3.传统的晶圆沉底基片在后续加工过程中，均将晶圆衬底基片放置在托盘架中，使得晶圆衬底基片上下两表面处理强化不均，降低晶圆衬底基片的合格率，造成返工，降低生产效率，增加运营成本。因此，我们提出一种晶圆衬底基片定位架。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆衬底基片定位架，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.设计一种晶圆衬底基片定位架，包括基座，所述基座顶部四角均设有四根立柱，四根所述立柱内部均连接有安装腔，所述安装腔顶部均安装有转子，所述转子内部设有螺纹孔，所述螺纹孔内部安装有螺纹杆，靠近所述基座中心位置的螺纹杆端头均连接有夹持块，所述夹持块上均安装有缓冲棉；
7.与所述夹持块垂直的转子侧壁上设有第一定位孔，与所述第一定位孔呈中心对称的转子侧壁上连接有第二定位孔，所述立柱顶部均设有定位销，所述定位销贯穿立柱顶部，且定位销连通安装腔。
8.优选的，所述转子与立柱之间的连接处均安装有轴承。
9.优选的，远离所述夹持块一侧的螺纹杆端头连接有旋钮。
10.优选的，靠近所述旋钮一侧的螺纹杆上安装有锁定螺母。
11.优选的，所述第一定位孔与第二定位孔的孔径一致，且均略大于定位销的外径。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆衬底基片定位架，通过设置螺纹杆、夹持块、缓冲棉，能够通过两夹持块夹持晶圆衬底基片两边，达到夹持定位晶圆衬底基片的效果；通过设置转子，能够通过转子旋转驱动螺纹杆转动，进而使得夹持块做180度旋转，达到使晶圆衬底基片上下表面翻转的效果；通过设置第一定位孔、第二定位孔、定位销，能够将定位销插在定位孔中，达到固定转子，防止转子无故旋转的效果，使得该晶圆衬底基片定位架，操作简单，能够有效避免晶圆衬底基片上下表面处理不均，保证晶圆衬底基片合格率，提高生产效率，降低生产运营成本。
附图说明
13.图1为本实用新型提出的一种晶圆衬底基片定位架的结构示意图。
14.图中：基座1、立柱2、安装腔3、转子4、轴承5、螺纹孔6、螺纹杆7、夹持块8、缓冲棉9、旋钮10、锁定螺母11、第一定位孔12、第二定位孔13、定位销14。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆衬底基片定位架，包括基座1，基座1顶部四角均设有四根立柱2，四根立柱2内部均连接有安装腔3，安装腔3顶部均安装有转子4，转子4内部设有螺纹孔6，螺纹孔6内部安装有螺纹杆7，靠近基座1中心位置的螺纹杆7端头均连接有夹持块8，夹持块8上均安装有缓冲棉9，缓冲棉9能够避免晶圆衬底基片与夹持块8直接接触，防止晶圆衬底基片损坏。
17.与夹持块8垂直的转子4侧壁上设有第一定位孔12，与第一定位孔12呈中心对称的转子4侧壁上连接有第二定位孔13，立柱2顶部均设有定位销14，定位销14贯穿立柱2顶部，且定位销14连通安装腔3。
18.具体的，该晶圆衬底基片定位架在使用过程中，首先手持晶圆衬底基片，通过旋转两侧的旋钮10，进而将螺纹杆7向晶圆衬底基片靠近，使得两侧夹持块8紧贴晶圆衬底基片，将晶圆衬底基片固定在定位架上，然后对晶圆衬底基片进行喷洒抛光液，当顶面喷洒完成之后，再取下定位销14，旋转转子4,至180度，使得晶圆沉底基片底面朝上，再进行喷洒抛光液，进而进行加工处理，最后当加工进行一段时间后，再将旋转前后两侧的旋钮10，将螺纹杆7靠近晶圆衬底基片，进而将前后两夹持块8紧贴杂晶圆衬底基片前后两侧壁上，再旋转左右两侧的旋钮10，将夹持块8从晶圆衬底基片上取下，再将晶圆衬底基片进行加工处理，操作简单，能够有效避免晶圆衬底基片上下表面处理不均，保证晶圆衬底基片合格率，提高生产效率，降低生产运营成本。
19.进一步的说，转子4与立柱2之间的连接处均安装有轴承5。
20.进一步的说，远离夹持块8一侧的螺纹杆7端头连接有旋钮10。
21.进一步的说，靠近旋钮10一侧的螺纹杆7上安装有锁定螺母11。
22.进一步的说，第一定位孔12与第二定位孔13的孔径一致，且均略大于定位销14的外径，便于定位销14穿插在第一定位孔12、第二定位孔13内部。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种晶圆衬底基片定位架，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)顶部四角均设有四根立柱(2)，四根所述立柱(2)内部均连接有安装腔(3)，所述安装腔(3)顶部均安装有转子(4)，所述转子(4)内部设有螺纹孔(6)，所述螺纹孔(6)内部安装有螺纹杆(7)，靠近所述基座(1)中心位置的螺纹杆(7)端头均连接有夹持块(8)，所述夹持块(8)上均安装有缓冲棉(9)；与所述夹持块(8)垂直的转子(4)侧壁上设有第一定位孔(12)，与所述第一定位孔(12)呈中心对称的转子(4)侧壁上连接有第二定位孔(13)，所述立柱(2)顶部均设有定位销(14)，所述定位销(14)贯穿立柱(2)顶部，且定位销(14)连通安装腔(3)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底基片定位架，其特征在于：所述转子(4)与立柱(2)之间的连接处均安装有轴承(5)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底基片定位架，其特征在于：远离所述夹持块(8)一侧的螺纹杆(7)端头连接有旋钮(10)。4.根据权利要求3所述的一种晶圆衬底基片定位架，其特征在于：靠近所述旋钮(10)一侧的螺纹杆(7)上安装有锁定螺母(11)。5.根据权利要求1所述的一种晶圆衬底基片定位架，其特征在于：所述第一定位孔(12)与第二定位孔(13)的孔径一致，且均略大于定位销(14)的外径。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆衬底基片定位架，包括基座，所述基座顶部四角均设有四根立柱，四根所述立柱内部均连接有安装腔，所述安装腔顶部均安装有转子，所述转子内部设有螺纹孔，所述螺纹孔内部安装有螺纹杆，靠近所述基座中心位置的螺纹杆端头均连接有夹持块，夹持块上均安装有缓冲棉；与所述夹持块垂直的转子侧壁上设有第一定位孔，与所述第一定位孔呈中心对称的转子侧壁上连接有第二定位孔，立柱顶部均设有定位销，所述定位销贯穿立柱顶部。使得该晶圆衬底基片定位架，操作简单，能够有效避免晶圆衬底基片上下表面处理不均，保证晶圆衬底基片合格率，提高生产效率，降低生产运营成本。成本。成本。


技术研发人员：高奕恒 高昆钰 高璐 张睿欣 曹红霞
受保护的技术使用者：蒙锐（上海）光电科技有限公司
技术研发日：2021.01.12
技术公布日：2021/9/10