pct国内申请，说明书已公开。
技术特征：技术总结一种隧穿场效应晶体管及其制备方法，涉及场效应晶体管技术领域，可在线隧穿结构中，抑制点隧穿。隧穿场效应晶体管的制备方法包括：在衬底(10)上形成隔离结构(20)，隔离结构(20)定义出有源区(30)；形成第一介质层(41)和第一掩膜结构(50)；第一掩膜结构(50)包括外侧(51)和内层(52)，外层(51)包括第一侧壁(511)和硬掩膜(512)；对露出的有源区(30)进行工艺处理形成漏区(31)；使用第一填充物进行填充进行平坦化工艺，露出内层(52)，以去除内层(52)以及其覆盖的第一介质层(41)；对露出的有源区(30)进行工艺处理形成源区(32)；在源区(32)上形成第二介质层(42)，且第二介质层(42)的厚度小于第一介质层(41)的厚度；形成第二侧壁(513)，使用第二填充物进行填充进行平坦化工艺；去除第一侧壁(511)和第二侧壁(513)、露出的第二介质层(42)，以形成栅介质层(43)和栅极(70)。
技术研发人员：徐挽杰;蔡皓程;张臣雄
受保护的技术使用者：华为技术有限公司
技术研发日：2017.06.30
技术公布日：2019.03.05
