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一种阵列型mems多气体传感器的实现方法技术领域.本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种阵列型mems多气体传感器的实现方法。背景技术.气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器，随着微器件应用范围不断扩大，对气体传感器的微